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- [发明专利]一种用于微光刻的照明光学系统-CN200910198739.7无效
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胡斌
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上海微电子装备有限公司
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2009-11-13
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2011-05-18
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G03F7/20
- 一种用于微光刻的照明光学系统，依次包含：照明光源；一组会聚透镜，对照明光源发出的光进行会聚并改变会聚后光源的数值孔径；积分棒，接收来自照明光源的光，光线经过积分棒匀光后，在积分棒出射端形成均匀照明面；中继透镜组，将从积分棒出射端出射的光会聚至掩模版上得到所需的照明视场；可变的孔径光阑，位于中继透镜组中改变掩模版上照明视场的数值孔径；掩模版，放置在中继透镜的焦平面上，在掩模版上形成所需的照明视场，其中，一组会聚透镜中各会聚透镜的数值孔径不同，根据照明视场的数值孔径更换不同数值孔径的会聚透镜和孔径光阑，孔径光阑的孔径大小与会聚透镜的数值孔径匹配，从而不损失照明能量。
- 一种用于微光照明光学系统
- [发明专利]防止近场记录的光头被污染的装置-CN01138691.6无效
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金洙京;宋寅相
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LG电子株式会社
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2001-12-28
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2002-08-21
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G11B7/12
- 一种近场记录光头的防止污染装置,包括浮动块,它由在机匣上的悬挂装置支撑,具有供光源竖直穿过的会聚孔会聚透镜,安装在浮动块的会聚孔的下部,会聚从光源产生的光并在记录介质上表面上形成光点;和一个透镜的污染物除去单元,除去粘着到会聚透镜上的外来物。在近场记录或再现中,与记录介质表面相互作用当中,安装在浮动块上的会聚透镜的表面受到污染物污染时,能够容易地清洁透镜表面,以便及时除去透镜表面的污染。
- 防止近场记录光头污染装置
- [发明专利]测量装置和测量方法-CN202110538600.3在审
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加藤隆介;高桥知隆
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株式会社三丰
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2021-05-18
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2021-11-23
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G01B11/02
- 测量装置(100)包括激光器装置(111)、将激光束分成参考光和测量光的分支部(120)、将测量光会聚到待测量对象(10)上的会聚部(140)、调节会聚部(140)会聚测量光的焦点位置的控制部(160)，以及距离计算部(117)，该距离计算部基于参考光和测量光之间的光程差来计算距待测量对象(10)的距离，其中，会聚部(140)包括第一透镜(141)和对应性计算部(145)，该对应性计算部基于第一透镜(141)的位置和距待测量对象(10)的距离来计算会聚部(140)的焦点位置和第一透镜(141)的位置之间的对应性。
- 测量装置测量方法
- [发明专利]会聚离子束装置-CN202011022919.2在审
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石井晴幸;上本敦;麻畑达也
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日本株式会社日立高新技术科学
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2020-09-25
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2021-03-26
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H01J37/08
- 提供如下的会聚离子束装置：能够针对会聚离子束的多个照射位置，分别自动且高精度地与共心高度对齐。会聚离子束装置具有电子束镜筒、会聚离子束镜筒、以及能够以倾斜轴为中心倾斜且能够沿高度方向移动的试样载台，其中，会聚离子束装置还具有：坐标取得单元，在试样上指定了照射会聚离子束的多个照射位置时，其取得各照射位置的平面坐标；移动量计算单元，其根据平面坐标，针对各照射位置计算使所述试样载台移动到共心高度以使所述共心高度与如下的交叉位置一致的移动量，所述交叉位置是电子束和会聚离子束一致的位置；以及试样载台移动控制单元，其针对各照射位置
- 会聚离子束装置
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