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- [发明专利]接触孔的制作方法-CN201210451655.1有效
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张瑜;黄君;盖晨光
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上海华力微电子有限公司
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2012-11-12
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2013-03-13
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H01L21/768
- 本发明提供一种接触孔的制作方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上依次形成有第一介质层、第二介质层、第三介质层;进行刻蚀工艺,在所述第一介质层、第二介质层和第三介质层内形成第一接触孔,所述第一接触孔露出半导体衬底;去除所述第三介质层;在所述第二介质层上形成第四介质层,所述第四介质层填充所述第一接触孔;形成贯穿所述第四介质层、第二介质层和第一介质层的第二接触孔,所述第二接触孔露出半导体衬底;去除所述第四介质层。本发明提高了接触孔的制作工艺的稳定性。
- 接触制作方法
- [发明专利]用于移动电信单元的多层螺旋天线-CN99125537.2无效
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金种圭;朴寅植;徐哠硕
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电子部品研究院
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1999-12-01
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2000-06-21
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H01Q1/24
- 多层螺旋天线包括有中心孔的第一介质片;多个第二介质片,除一个仅有开始孔,其余还设结束孔,各有开口圆形金属物和中心孔,仅有开始孔的介质片的金属物从开始孔延至自由端,其余延至结束孔;多个第三介质片,设辅助孔和中心孔第一介质片在上,后是仅有开始孔的第二介质片,后是第三及第二介质片交替,第三介质片在下,辅助孔充导电物,通过开始和结束孔连接金属物,形成螺旋,鞭状天线沿其中心轴滑动,形成多层。
- 用于移动电信单元多层螺旋天线
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