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[发明专利]二次离子质谱仪和二次离子质谱法-CN201680052793.9有效
发明人：鲁道夫·弗洛斯;埃瓦尔德·尼惠斯 -专利权人：约恩托福技术有限公司
申请日： 2016-09-08 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01J49/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种二次离子质谱仪和一种用于分析样品的二次离子质谱分析方法。现有技术中已知大量的二次离子质谱仪。在所述二次离子质谱仪中，尤其感兴趣的是飞行时间二次离子质谱仪(ToF‑SIMS)。
二次离子质谱仪质谱法

[发明专利]使用二次离子质谱仪同时分析非金属元素和金属元素的系统和方法-CN201310654614.7有效
发明人：唐国强;赵洪 -专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所
申请日： 2013-12-09 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： G01N27/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种使用二次离子质谱仪同时分析非金属元素和金属元素的系统和方法，该系统包括二次离子质谱仪，中性溅射物收集装置，离子源和小型质谱仪，所述中性溅射物收集装置收集所述二次离子质谱仪在分析样品时产生的中性溅射物，并将其传送至所述离子源离子化后由所述小型质谱仪进行质量分析，所述二次离子质谱仪和所述小型质谱仪分别用来分析所述样品中的金属元素和非金属元素，或者，所述二次离子质谱仪和所述小型质谱仪分别用来分析所述样品中的非金属元素和金属元素，通过二次离子质谱仪和小型质谱仪能够达到同时分析样品中金属元素和非金属元素的目的。
使用二次离子质谱仪同时分析非金属元素金属元素系统方法

[发明专利]一种提高二次离子探针质谱仪质谱成像空间分辨率的方法-CN202010924202.0有效
发明人：范润龙;包泽民;王培智;张文华 -专利权人：中国地质科学院地质研究所
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： H01J49/26 文献下载
摘要：本发明涉及质谱成像领域，公开了一种提高二次离子探针质谱仪质谱成像空间分辨率的方法，包括利用二次离子质谱仪对样品按顺序扫描，形成2m×2n个像素点的质谱图像，记录每个离子束扫描区域的二次离子谱峰序列；根据每个离子束扫描区域的二次离子谱峰序列建立二次离子信号强度递推等式以及二次离子信号强度初始条件；根据二次离子信号强度递推等式和二次离子信号强度初始条件获得每个离子束扫描区域的左上角1/4区域对应的二次离子谱峰序列。本发明采用离子束交错技术、并与扫描区域谱峰值递推计算相结合，提高了既有仪器的空间分辨率，进而提高该仪器质谱成像的图像分辨率，本发明可用于重新设计的新质谱仪器或已经定型或安装的商业质谱仪器，具有普适性。
一种提高二次离子探针质谱仪成像空间分辨率方法

[发明专利]一种离子探针实验室监控系统及方法-CN202010123716.6在审
发明人：杨晴;夏小平;张万峰;张彦强;杨亚楠;何妙 -专利权人：中国科学院广州地球化学研究所
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： H01J49/02 文献下载
摘要：本发明公开一种离子探针实验室监控系统及方法，涉及实验室仪器状态及实验环境检测技术领域，包括温湿度监测单元、冷却系统监测单元、离子流强度监测单元以及特定分析结果监测单元，温湿度监测单元控制二次离子质谱仪周围的温湿度探头，冷却系统监测单元控制二次离子质谱仪的冷却水路上的冷却水流速表，离子流强度监测单元控制二次离子质谱仪一次离子源处的一次离子源强度获取装置，特定分析结果监测单元控制二次离子质谱仪接收器部分的离子接收器。本发明的有益效果是：通过在离子探针实验室布控监控系统，使得工程师能够精准地获取实验室的实时情况，减少仪器非分析机时的损耗，提高仪器的使用效率。
一种离子探针实验室监控系统方法

[发明专利]离子探针质谱仪及其成像方法-CN202011052319.0有效
发明人：刘宇;唐国强;李秋立 -专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：本说明书实施例提供一种离子探针质谱仪及其成像方法。具体地，所述离子探针质谱仪包括：压缩偏转板，被配置为通过施加第一电压将样品经一次离子束扫描并轰击产生的二次离子束按时序压缩；质谱仪，被配置为对经过压缩的二次离子束进行分析；解压偏转板，被配置为通过施加第二电压将经过所述质谱仪的二次离子束按时序解压；其中，所述第一电压和所述第二电压的频率相同；以及成像组件，被配置为获取经过所述解压偏转板解压的二次离子束图像。通过这样的技术方案，在离子显微镜模式的基础上，通过对二次离子束的压缩和解压，实现对质量分辨率的提高，同时能够满足点对点的显微功能，具有成像效率高的优势。
离子探针质谱仪及其成像方法

[发明专利]使用二次离子质谱仪分析气体样品的系统和方法-CN201380021677.7有效
发明人：唐国强;赵洪;李献华;李秋立;刘宇 -专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所
申请日： 2013-12-13 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： H01J49/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种使用二次离子质谱仪分析气体样品的系统和方法，该系统包括：引出极、金属板和气体引入导管；所述引出极和所述金属板位于所述二次离子质谱仪的样品室内，所述引出极上设有用于通过一次离子的第一通孔、用于通过二次离子的第二通孔、以及用于穿过所述气体引入导管的第三通孔；所述气体引入导管穿过所述第三通孔后将所述气体样品引导至所述金属板的表面，所述气体样品在所述一次离子的轰击下形成所述二次离子；所述引出极和所述金属板之间形成电场，以使所述二次离子通过所述第二通孔飞离所述金属板进入所述二次离子质谱仪进行质量分析。
使用二次离子质谱仪分析气体样品系统方法

[发明专利]一种基于二次离子质谱仪的测定氟碳铈矿样品的钍铅年龄的方法-CN201610023625.9有效
发明人：凌潇潇;李秋立;李献华;刘宇;唐国强 -专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所
申请日： 2016-01-14 - 公布日： 2017-09-01 - 主分类号： G01N27/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于二次离子质谱仪的测定氟碳铈矿样品的钍铅年龄的方法，包括将氟碳铈矿样品和氟碳铈矿标准物质嵌入环氧树脂中制成样品靶，并将所述样品靶放入二次离子质谱仪的样品腔中；采用氧气等离子体离子源并以平行光方式聚焦至所述样品靶上的所述氟碳铈矿样品，以便产生所述氟碳铈矿样品的二次离子；使所述氟碳铈矿样品的二次离子经过所述二次离子质谱仪中的电场和磁场，以实现角度和速度双聚焦并到达离子信号检测系统；采用所述离子信号检测系统检测所述氟碳铈矿样品的二次离子中的原始铅钍比值
一种基于二次离子质谱仪测定氟碳铈矿样品年龄方法

[发明专利]一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法-CN202210125281.8在审
发明人：袁元;蒋军浩;张启华;钟碧麟;张勇为;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：洪启集成电路（珠海）有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法，浸没透镜设置于二次离子质谱仪内，包括衬底圆盘、第一电极组件和绝缘安装组件，衬底圆盘用于作为第二电极，衬底圆盘上设置有安装槽，安装槽用于安装第一电极组件该方法将一次离子束通过衬底圆盘上的离子入射孔轰击样品表面，使得样品表面逸出二次离子，通过两电极间的弧形电场使二次离子产生偏转，使得二次离子聚焦一点。本发明结构简单，最大程度收集到二次离子，得到更强的离子束信号，方便后续的采集分析，并能够实现离子能量，离子方向双聚焦。
一种二次离子质谱仪中的浸没透镜聚焦方法

[发明专利]在质谱仪中用于减小背景噪音的组件-CN200980103042.5有效
发明人： P·J·莫里斯勒;J·L·德塞萨雷 -专利权人：珀金埃尔默保健科学公司
申请日： 2009-01-15 - 公布日： 2010-12-29 - 主分类号： H01J49/14 文献下载
摘要：在质谱仪系统中减少由亚稳定实体轰击产生的二次离子产生的背景噪音的新组件。用于出口电极和偏转板的分层结构将二次离子限制在局部低能阱中，从而防止二次离子进入检测器。
质谱仪用于减小背景噪音组件

[实用新型]质谱仪及其二次离轴检测器-CN201320782208.4有效
发明人：王传博;张小华;商颖健;刘晓超;黄健 -专利权人：北京普析通用仪器有限责任公司
申请日： 2013-11-27 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： H01J49/40 文献下载
摘要：本实用新型提出一种质谱仪及其二次离轴检测器，质谱仪包括离子源、质量分析器及二次离轴检测器，二次离轴检测器用于采集放大质量分析器释放的离子，包括设置于与质量分析器轴向不同方向上的高能打拿极、设置于高能打拿极与质量分析器之间的偏转电极及与高能打拿极轴向相对设置的检测器，其中，二次离轴检测器还包括第一偏转屏蔽罩，第一偏转屏蔽罩罩设于高能打拿极与检测器外部，第一偏转屏蔽罩上设有一第一开孔。本实用新型提出的质谱仪及其二次离轴检测器，采用了二次离轴的结构，第一偏转屏蔽罩的设置有效屏蔽了外界电场对质谱仪及其二次离轴检测器的干扰。进而使本实用新型提出的质谱仪及其二次离轴检测器具有较高的灵敏度及较长的使用寿命。
质谱仪及其二次检测器

[发明专利]一种用于提高二次离子质谱仪选样效率的装置-CN201810525314.1有效
发明人：杨晴;夏小平;张彦强;张万峰;刘铭亮 -专利权人：中国科学院广州地球化学研究所
申请日： 2018-05-28 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： G01N27/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于提高二次离子质谱仪选样效率的装置，包括计算机、显微镜主体、显微镜载物台和坐标转换系统，显微镜载物台上安装有限位器模块、驱动模块和位置感应模块，显微镜主体、限位器模块、驱动模块和位置感应模块与计算机相连，计算机控制驱动模块在显微镜载物台上移动，限位器模块限制驱动模块的最大位移，位置感应模块感应驱动模块的移动位置坐标，坐标转换系统将移动位置坐标转换为二次离子质谱仪相应的坐标。本发明装置是在原有的显微镜中进行改造而得到，其成本低、操作方便，能全自动精确进行显微镜下选点，并且通过坐标转换系统可以精确转换坐标，保证了二次离子质谱仪的做样的位置精度，节省了二次离子质谱仪的选样时间。
一种用于提高二次离子质谱仪选样效率装置

[发明专利]一种基于金刚石探测器的空间飞行时间质谱仪-CN202210890278.5在审
发明人：张伟杰;张珅毅;沈国红;张焕新;袁斌;权子达;孙莹 -专利权人：中国科学院国家空间科学中心
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01J49/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于金刚石探测器的空间飞行时间质谱仪，包括二次电子发射薄膜、电极系统、微通道板探测器和电子学设备；所述二次电子发射薄膜用于当离子穿过时生成二次电子；所述电极系统用于将所述二次电子施加电压引导到微通道探测器上；所述微通道探测器接收所述二次电子并输出信号至电子学设备；所述金刚石探测器用于接收离子，将离子总能量转化为电荷脉冲，输出至电子学设备；所述电子学设备用于处理所述微通道探测器的输出信号和所述金刚石探测器输出的电荷脉冲，分析获得入射离子的信息。本发明将金刚石探测器应用于SEE TOF×E质谱仪中，可提升SEE TOF×E质谱仪的探测效率、长周期性能稳定性、和对恶劣空间辐射环境的适应性。
一种基于金刚石探测器空间飞行时间质谱仪

[发明专利]一种深层杂质元素的探测方法-CN201610212541.X在审
发明人：袁立军;赖朝荣;苏俊铭 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-04-07 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种深层杂质元素的探测方法，包括：步骤S1：提供具有功能膜层之待探测晶圆；步骤S2：通过二次离子质谱仪表征待探测晶圆之杂质元素的深度；步骤S3：减薄功能膜层，直至杂质元素所在深度与待探测晶圆之表面的距离属于电感耦合等离子质谱仪的可探测深度范围；步骤S4：通过电感耦合等离子质谱仪探测杂质元素的含量。本发明首先通过二次离子质谱仪表征待探测晶圆之杂质元素的深度，然后减薄功能膜层厚度，直至杂质元素所在深度与功能膜层减薄后之待探测晶圆表面的距离属于电感耦合等离子质谱仪的可探测深度范围，最后通过电感耦合等离子质谱仪探测杂质元素的含量
一种深层杂质元素探测方法

[发明专利]质谱仪-CN02809336.4无效
发明人： M·B·A·韦斯特;F·张;O·沃塔瓦;S·H·凯布尔 -专利权人：悉尼大学
申请日： 2002-05-03 - 公布日： 2004-06-23 - 主分类号： H01J49/34 文献下载
摘要：描述了一种新的质谱仪(10)，其中将样品分子(26)电离并通过在真空腔(20)内的两个电极(12，14)之间建立的反射电场使之来回振荡。网眼电子产生电极(16)位于反射器电极(12，14)之间并通过当某些离子撞击网眼时振荡离子每次通过时的二次发射产生电子。在通过同样是网眼的反射器电极(12)之后检测(18)到二次电子。离子的振荡频率取决于其质量并且从来自每个电子产生事件的信号的频率分布中可以识别不同质量的离子。相比飞行时间质谱仪，本发明允许更紧凑的质谱仪器，且它比使用离子回旋加速共振的傅里叶变换质谱仪更廉价。
质谱仪

[发明专利]用于金属丝二次质谱深度分析的方法-CN202011598459.8有效
发明人：朱雷;华佑南;李晓旻 -专利权人：胜科纳米（苏州）有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G01N27/64 文献下载
摘要：本发明涉及材料样品检测技术领域，尤其涉及用于金属丝二次质谱深度分析的方法，包括以下步骤：准备基板，所述基板沿其长度刻蚀有与所述金属丝相适的凹槽；沿所述凹槽的长度将所述金属丝放入所述凹槽内，并将所述金属丝在所述凹槽内固定；所述基板放置在二次离子质谱仪样品台进行测试；所述金属丝的直径为微米级。本发明通过在基板上设置凹槽，以便辅助金属丝和质谱仪探头之间形成类平面结构，这样再进行二次离子质谱仪检测，得到的图谱中主元素层清晰分出，也同时最大减低界面混合效应。
用于金属丝二次深度分析方法

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