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[发明专利]一种羽流试验平台高压高纯氮气配气装置及其应用方法-CN201210036730.8无效
发明人：蔡国飙;凌桂龙;张建华 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2012-02-17 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种羽流试验平台高压高纯氮气配气装置及其应用方法，装置包括高压高纯氮气生成系统和高压高纯氮气输送系统，高压高纯氮气生成系统用于制造高压高纯氮气并将其存储，氮气利用液氮生产；高压高纯氮气输送系统用于氮气过滤本发明具备能够长时间不间断给高压高纯氮气配气装置提供氮气的能力，同时，为了操作人员更方便、更快捷、更安全的操作高压高纯氮气配气装置，将系统管路集中布局。
一种试验平台高压高纯氮气装置及其应用方法

[实用新型]可控气氛铝钎焊炉配套高纯氮系统-CN201320321263.3有效
发明人：王国祥;吴明明 -专利权人：杭州天跃气体设备制造有限公司
申请日： 2013-06-05 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： C01B21/04 文献下载
摘要：可控气氛铝钎焊炉配套高纯氮系统，属于制高纯氮装置技术领域。其依次管路连接的空压机系统、压缩空气净化系统、空气储罐、PSA吸附器、普氮气缓冲过滤系统、低压普氮气供气系统、加碳脱氧纯化系统、高纯氮气缓冲过滤系统、低压高纯氮气供气系统、低压高纯氮气稳压系统和可控气氛铝钎焊炉上述的可控气氛铝钎焊炉配套高纯氮系统，具有设备布局紧凑、占地面积小、全自动操作、运行可靠、起停车快、运行成本低、常温生产和维修方便等优点，且高纯氮气用气点出口压力可以稳定调节，氮气的纯度随流量可适当进行调节，无污染环境，是一种高效的现场制高纯氮气装置。
可控气氛钎焊配套高纯系统

[实用新型]高纯氮气纯化装置-CN201521072336.5有效
发明人：赵志峰 -专利权人：赵志峰
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： C01B21/04 文献下载
摘要：高纯氮气纯化装置，该装置由一级吸附罐和二级吸附罐串联而成，高纯氮气经液氮储罐气化后，经一级减压阀减压，经一级吸附罐底部氮气进口进入一级吸附罐，一级吸附罐顶部氮气出口与二级吸附罐底部的氮气进口相连，二级吸附罐顶部氮气出口与高纯氮气主管道相连一级吸附罐和二级吸附罐内装填活性炭，用于吸附高纯氮气中的烷烃类、油类杂质。一级吸附罐和二级吸附罐上下各安装一块孔板和5块导流板，主要用于高纯氮气的均匀分布以及延长高纯氮气与活性炭的接触时间。二级吸附罐氮气出口处预留高纯氮气取样口，用于取样检测高纯氮气纯度及杂质含量。
高纯氮气纯化装置

[实用新型]一种加氢脱氧闭环控制系统-CN201921893094.4有效
发明人：钟志文;余志伟;陈达 -专利权人：杭州盛尔气体设备有限公司
申请日： 2019-11-05 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：本实用新型属于空分设备技术领域，旨在提供一种加氢脱氧闭环控制系统，包括PLC控制系统、催化剂氢氧反应塔和除水除尘装置，所述PLC控制系统连接中低纯氮气压力传感器、中低纯氮气流量变送器、中低纯氮氧量分析仪、氢气流量控制器、氢气压力传感器、高纯氮氧量分析仪和高纯氮氢量分析仪；所述加氢脱氧闭环控制系统还设有低纯氮气进口、氢气进口和高纯氮气出口；低纯氮气和氢气一同进入催化剂氢氧反应塔内发生氧化反应，将低纯氮气中的氧气反应消耗，提高氮气纯度。本实用新型充分利用闭环控制系统特点，精确的控制加氢量，使得高纯氮气产品中的残余氢含量更低，提高了氮气纯度，同时更加节省氢气。
一种加氢脱氧闭环控制系统

[发明专利]一种喷涂用高纯氮气的制备装置及喷涂设备-CN202310164381.6在审
发明人：冯国华 -专利权人：天津博奕能源科技有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B01D53/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种喷涂用高纯氮气的制备装置及喷涂设备，喷涂用高纯氮气的制备装置包括：去除压缩空气气源中的水分以及非气体杂质的除杂除水组件，对除杂的压缩空气进行分离，得到富氧压缩气体以及高纯压缩氮气的膜滤器组件，对高纯压缩氮气进行加热以及储存的加热蓄能组件，以及将加热后的高纯压缩氮气输送至喷涂装置的外输组件。本发明通过除杂除水组件对压缩空气进行过滤，能够缩短漆膜的干燥时间，膜滤器组件将氧气等粒径较小的气体与氮气进行分离，得到的富氧压缩气体可以进行排放，同时得到粒径均匀的高纯氮气。加热蓄能组件将高纯氮气加热至一定温度，能够降低涂料粘度，促进涂料表面流平，提高喷涂的质量，并进一步加快漆膜的干燥。
一种喷涂高纯氮气制备装置设备

[实用新型]用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器-CN201920384600.0有效
发明人：王静强;徐福兴 -专利权人：昆山基侑电子科技有限公司
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： F24H3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种包括石英壳体、石英螺旋气管、碳素加热器和K型热电偶的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，石英壳体具有进气管和排气管，石英螺旋气管安装于石英壳体内部，其一端连接进气管，另一端位于石英壳体内，碳素加热器安装于石英壳体内部用于对高纯氮气加热，K型热电偶安装于石英壳体内部用于监测高纯氮气的温度。碳素加热器可快速将经由石英螺旋气管进入腔体内的高纯氮气加热，且石英螺旋气管增加了氮气被加热的路径以及加热器的氮气加热量，不仅提高了高纯氮气加热器的加热速度，还实现了高温高纯氮气供应量满足氮气用量需求的目的
石英高纯氮气螺旋气管加热加热器碳素加热器壳体内部氮气石英壳体进气管体内本实用新型氮气用量干燥工艺一端连接供应量加热量进入腔排气管晶圆监测

[发明专利]用于月球样品实验室高纯氮气供给系统-CN201910178477.1在审
发明人：丁文静;吕世增;张磊;张立明;张显;徐靖皓;龚洁 -专利权人：北京卫星环境工程研究所
申请日： 2019-03-11 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于月球样品实验室高纯氮气供给系统，包括氮气供应单元，所述氮气供应系统包括供气模块、一级调压模块、稳压模块以及二级调压模块；供气模块、一级调压模块、稳压模块以及二级调压模块依次串联；供气模块用以提供稳定的氮气；一级调压模块、二级调压模块用以调节气压至所需值；稳压模块用以对一级调压模块输出的气压进行调节；氮气质谱分析单元；监视单元。本发明的用于月球样品实验室高纯氮气供给系统，可持续、稳定的为月球样品实验室相关设备提供高纯氮气；具备样品存储处理等设备内部维持正压高纯氮气环境和对高纯氮气进行净化与补给的能力。
高纯氮气一级调压月球二级调压供给系统供气模块稳压模块氮气气压氮气供应单元氮气供应系统质谱分析单元监视单元模块输出设备内部设备提供样品存储依次串联正压补给净化

[实用新型]高可靠霍尔集成电路高纯氮气氛封盖装置-CN200920043267.3有效
发明人：汪建军;储建飞;蔡国庆 -专利权人：南京中旭电子科技有限公司
申请日： 2009-06-25 - 公布日： 2010-05-05 - 主分类号： H01L21/50 文献下载
摘要：高可靠霍尔集成电路的高纯氮气氛封盖装置，由温控加热器、耐高温罩构成，耐高温罩顶部设有一个开口，耐高温罩的下部设有一个气嘴连接高纯氮气气源，温控加热器在罩内中央，温控加热器上部放置等封盖的霍尔集成电路，高纯氮气从在温控加热器周围升温并从上部开口冒出，在开口处形成高纯氮气氛保护区，使霍尔集成电路处于高纯氮气氛保护区内，以保证封装环境的水气含量的要求。
可靠霍尔集成电路高纯氮气氛封盖装置

[发明专利]一种同时制取超纯氮气和高纯氮气的装置和方法-CN202210321386.0在审
发明人：张世田;孙兴力;周明亮 -专利权人：河南开元空分集团有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： F25J3/04 文献下载
摘要：本发明提供一种同时制取超纯氮气和高纯氮气的装置和方法，该装置包括主换热器、过冷器、一级精馏塔、二级精馏塔、三级精馏塔和透平膨胀机，出主换热器的原料空气与一级精馏塔底部连接，出主换热器的膨胀空气通过膨胀机膨胀制冷后与二级精馏塔连接；出一级精馏塔的液态空气、液态氮气经过冷后进入二级精馏塔精馏分离，另取一级精馏塔中上部的液态氮气经过冷后进入三级精馏塔精馏分离；在二级精馏塔顶部可制取高纯氮气，三级精馏塔顶部可制取超纯氮气。本发明制取的高纯氮气与超纯氮气产量在保证各自纯度的前提下可以在一定范围内互换，可以根据市场需求调节高纯氮气与超纯氮气产量，可以更好的适应市场环境。
一种同时制取氮气高纯装置方法

[实用新型]一种同时制取超纯氮气和高纯氮气的装置-CN202220709118.1有效
发明人：张世田;孙兴力;周明亮 -专利权人：河南开元空分集团有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： F25J3/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种同时制取超纯氮气和高纯氮气的装置，该装置包括主换热器、过冷器、一级精馏塔、二级精馏塔、三级精馏塔和透平膨胀机，出主换热器的原料空气与一级精馏塔底部连接，出主换热器的膨胀空气通过膨胀机膨胀制冷后与二级精馏塔连接；出一级精馏塔的液态空气、液态氮气经过冷后进入二级精馏塔精馏分离，另取一级精馏塔中上部的液态氮气经过冷后进入三级精馏塔精馏分离；在二级精馏塔顶部可制取高纯氮气，三级精馏塔顶部可制取超纯氮气。本实用新型制取的高纯氮气与超纯氮气产量在保证各自纯度的前提下可以在一定范围内互换，可以根据市场需求调节高纯氮气与超纯氮气产量，可以更好的适应市场环境。
一种同时制取氮气高纯装置

[实用新型]一种乙二醇通氮装置-CN201720094251.X有效
发明人：高文廷 -专利权人：鄂尔多斯市亿鼎生态农业开发有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： B01D11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种乙二醇通氮装置，该装置包括已干燥的洗气瓶和高纯氮气钢瓶，已干燥的洗气瓶设置有多个，多个已干燥的洗气瓶分别通过乳胶管与高纯氮气钢瓶连接，乳胶管连接在洗气瓶的下部，已干燥的洗气瓶中设置有乙二醇样品，高纯氮气钢瓶中装有高纯氮气，乳胶管上设置有流量控制阀，流量控制阀控制高纯氮气从高纯氮气钢瓶流入洗气瓶的下部，氮气在洗气瓶中由低到高地进入乙二醇样品中，在乙二醇样品中产生每分钟氮气液泡30个左右。氧化的乙二醇溶液用高纯氮气进行洗脱，将乙二醇中的溶解氧洗脱出来，从而提高了工业乙二醇的紫外区的透光率。
一种乙二醇装置

[发明专利]用微细金属铝粉生产高纯氮化铝粉的方法-CN201310554267.0有效
发明人：袁志刚;袁坤;羊斌 -专利权人：袁志刚
申请日： 2013-11-11 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： C01B21/072 文献下载
摘要：一种用微细金属铝粉生产高纯氮化铝粉的方法，是采用铝含量在99.99％以上的高温铝液为热源，将高纯微细金属铝粉和纯度在99.9999％以上的氮气混合体加热到1400℃以上，铝粉与氮气反应生成高纯的氮化铝粉，而且高温铝液产生的铝蒸汽也与氮气反应生成高纯氮化铝粉，生成的氮化铝粉被流动氮气携带进行降温冷却和收集。
微细金属生产高纯氮化方法

[发明专利]用于生产高纯氮的成套柱低温精馏系统-CN99104946.2有效
发明人： N·J·利奇;M·E·温瑟特;K·J·波特姆帕;D·P·波纳奎斯特 -专利权人：普莱克斯技术有限公司
申请日： 1999-04-07 - 公布日： 2004-01-21 - 主分类号： F25J3/04 文献下载
摘要：既生产相当大量的高纯氮气又生产相当大量高纯氮液的成套柱系统。使用第一柱生产高纯氮气和使用第二柱生产高纯氮液，同时第二柱顶部流体回流至第一柱。
用于生产高纯成套低温精馏系统

[实用新型]一种磷烷生产用实验装置-CN201921160824.X有效
发明人：马彬淇;马杰 -专利权人：玉门大洋天庆石化有限责任公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： C01B25/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及磷烷生产技术领域，且公开了一种磷烷生产用实验装置，包括高纯氮气罐和真空抽气泵，所述高纯氮气罐的右侧固定安装有的真空抽气泵，所述真空抽气泵的输出端固定安装有分流交汇管。该磷烷生产用实验装置，通过设置了真空抽气泵和高纯氮气罐，真空抽气泵运行时，可对设备内部进行真空处理，在通过启动高纯氮气罐，对设备内部填充氮气，再启动真空抽气泵抽至负压，进行置换，反复置换动作三次，为后续的实验做准备，同时通过氮气管与真空管的底部均固定安装有与反应釜、冷凝塔、分子筛和高纯氮气冷肼相连的调节管，且每个调节管的外表面均固定安装有调节阀，使用者可根据需要对独立的每个设备充氮气和抽空。
一种生产实验装置

[发明专利]一种利用三塔耦合制取高纯氮和超纯液氧的装置及方法-CN202210812554.6在审
发明人：谭芳;韩一松;蒋云云;彭旭东;李玲;黄小清;姚蕾;劳利建;李慧敏 -专利权人：杭氧集团股份有限公司
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： F25J3/04 文献下载
摘要：一种利用三塔耦合制取高纯氮和超纯液氧的装置及方法，所述装置包括三塔系统、氮压缩系统、双氮膨胀机制冷系统及换热系统，相互之间通过管道和阀门相连接；所述三塔系统由顶部带第一冷凝蒸发器的第一压力氮塔、顶部带第二冷凝蒸发器的第二压力氮塔和底部带第三冷凝蒸发器的纯氧塔组成；所述氮压缩系统由循环氮气压缩机组成；本发明方法为从第一压力氮塔的顶部获得第一压力的高纯氮气，从第二压力氮塔的顶部获得第二压力的高纯氮气和高纯液氮，从纯氧塔的底部获得超纯液氧，本装置及方法适用于制取大量带压高纯氮气和大量高纯液氮
一种利用耦合制取高纯液氧装置方法

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