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- [实用新型]一种调节式砌墙用混凝土平模-CN201920733411.X有效
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张衡
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张衡
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2019-05-21
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2020-02-18
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E04G21/20
- 本实用新型涉及一种调节式砌墙用混凝土平模,由前挡板、后挡板、左挡板、右挡板、螺母、螺栓、左把手和右把手组成,前挡板、后挡板、左挡板、右挡板的高度一致,前挡板、后挡板、左挡板、右挡板通过螺母和螺栓固定为一起,使前挡板、后挡板、左挡板、右挡板之间围成一个长方形的通孔,在左挡板、右挡板的外侧面分别焊接有一个把手和右把手。本实用新型的有益效果是:结构设计合理,使用方便,宽度可调,适用不同厚度的墙体,既能防止混凝土洒落,又能使所铺的混凝土层的高度一致。
- 一种调节砌墙混凝土
- [发明专利]一种改善工艺中台阶高度均匀性的方法-CN202111226639.8在审
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李博文;王昌锋;马雁飞
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上海华力集成电路制造有限公司
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2021-10-21
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2022-02-08
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H01L21/762
- 本发明提供一种改善工艺中台阶高度均匀性的方法,有源区之间设有STI沟槽;有源区上形成有第一SiN层;在STI沟槽填充氧化物,氧化物覆盖在有源区上的第一SiN层上方;对填充了氧化物的STI沟槽退火;第一次化学机械研磨使STI沟槽上的氧化物平坦化;在平坦化后的氧化物上形成第二SiN层;对第二SiN层进行第二次化学机械研磨,使其表面平坦化;刻蚀第二SiN层和氧化物至露出第一SiN层上表面为止;保持氧化物与第一SiN层上表面高度一致;选择氧化物与第一SiN层刻蚀比大于1的刻蚀条件,刻蚀氧化物使多个有源区上的第一SiN层高度一致。本发明通过STI两次CMP工艺来改善不同图形结构之间台阶高度的不一致,以便提高后期工艺的窗口,提高器件的性能。
- 一种改善工艺台阶高度均匀方法
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