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- [发明专利]层叠型陶瓷电子部件-CN201480071257.4有效
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石田庆介;远藤诚;山口孝一
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TDK株式会社
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2014-12-19
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2018-08-31
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H01G4/232
- 本发明抑制具有0.5μm以下的内部电极层的层叠型陶瓷电子部件的裂纹和脱层,并且使该陶瓷电子部件抗弯强度良好。本发明涉及一种层叠型陶瓷电子部件,其是内部电极层与介电体陶瓷层交替层叠而成的层叠体,其特征在于所述内部电极层具有电极中断部,在所述的电极中断部的一部分中,从正交于层叠体的层叠方向的截面来看,含有比介电体陶瓷层厚度更大的介电体陶瓷颗粒,所述介电体陶瓷颗粒具有与形成介电体陶瓷层的介电体陶瓷颗粒同种的晶体结构,并且与夹着介电体陶瓷层相对的内部电极层的至少一个相接触。
- 层叠陶瓷电子部件
- [发明专利]静电吸盘-CN201310378847.9在审
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穴田和辉;和田琢真
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TOTO株式会社
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2013-08-27
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2014-03-26
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H01L21/683
- 本发明提供一种静电吸盘,其能够提高内部电极层与陶瓷电介体基板的贴紧性,能够提高内部电极层的导通性。具体而言,其特征为,具备:陶瓷电介体基板,其为多结晶陶瓷烧结体,具有放置处理对象物的第1主面和第1主面相反侧的第2主面;及电极层,内设于陶瓷电介体基板的第1主面与第2主面之间,一体烧结于陶瓷电介体基板,陶瓷电介体基板具有:第1电介层,位于电极层与第1主面之间;及第2电介层,位于电极层与第2主面之间,电极层具有:第1部分,具有导电性;及第2部分,将第1电介层与第2电介层结合起来,第2部分所含有的结晶的平均粒径小于陶瓷电介体基板所含有的结晶的平均粒径
- 静电吸盘
- [实用新型]一种静电吸盘-CN201420866353.5有效
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陶岳雨;刘林凤;刘琪
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上海卡贝尼精密陶瓷有限公司
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2014-12-31
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2015-06-03
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H01L21/687
- 本实用新型涉及一种静电吸盘,包括电极层和陶瓷电介体,所述电极层设置于两层陶瓷电介体之间,所述两层陶瓷电介体中的第一电介层的下表面边缘有一圈凸起,第二电介层的上表面边缘与所述第一电介层的凸起对应处有一圈凹槽,所述第二电介层的上表面设置电极层,所述电极层通过陶瓷金属化处理的手段形成于第二电介层的上表面,所述第一电介层的凸起与第二电介层的凹槽拼合呈相互耦合状态,并通过固相烧结方式将电极层埋入陶瓷电介体内部。本实用新型采用两层电介体边缘相互耦合以及固相烧结的方式实现电极层与陶瓷电介体的可靠结合;由于电极层中可以不添加无机陶瓷晶体粒子,从而能够提高内部电极的导电性能。
- 一种静电吸盘
- [发明专利]静电吸盘-CN201310379178.7在审
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穴田和辉;和田琢真
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TOTO株式会社
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2013-08-27
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2014-03-26
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H01L21/683
- 具体而言,其特征为,具备:陶瓷电介体基板,其为多结晶陶瓷烧结体,具有放置处理对象物的第1主面和所述第1主面相反侧的第2主面;及电极层,内设于所述陶瓷电介体基板的所述第1主面与所述第2主面之间,一体烧结于所述陶瓷电介体基板,所述陶瓷电介体基板具有:第1电介层,位于所述电极层与所述第1主面之间;及第2电介层,位于所述电极层与所述第2主面之间,所述陶瓷电介体基板中至少所述第1电介层的红外线分光透过率为,按1mm厚度换算时为20%
- 静电吸盘
- [发明专利]静电吸盘-CN201310400048.7在审
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穴田和辉;和田琢真
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TOTO株式会社
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2013-09-05
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2014-03-26
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H01L21/683
- 具体而言,其特征为,具备:陶瓷电介体基板,其为多结晶陶瓷烧结体,具有放置处理对象物的第1主面和第1主面相反侧的第2主面;电极层,内设于陶瓷电介体基板的第1主面与第2主面之间,一体烧结于陶瓷电介体基板;调温板,设置在第2主面侧;及加热器,设置在电极层与调温板之间,陶瓷电介体基板具有:第1电介层,位于电极层与第1主面之间;及第2电介层,位于电极层与第2主面之间,陶瓷电介体基板的第1电介层与第2电介层的红外线分光透过率为
- 静电吸盘
- [发明专利]电介体陶瓷组合物和电子部件-CN200510113616.0有效
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伊东和重;佐藤阳
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TDK株式会社
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2005-10-12
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2006-05-24
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H01G4/12
- 本发明提供一种确保高介电常数和良好的温度特性、并且改善了TC偏压特性的多层陶瓷电容器。通过本发明,提供一种多层陶瓷电容器1,其具有由电介体陶瓷组合物构成的电介体层2和内部电极层3交替层压而成的电容器元件主体10,上述电介体陶瓷组合物是含有多个具有壳24a的电介体粒子2a的电介体陶瓷组合物,上述壳24a是在基本上由主成分构成的芯22a周围、副成分扩散至主成分而形成的;以显示平均粒径值的电介体粒子为对象时,上述壳24a的最大厚度t1和最小厚度t2之差(t1-t2)被控制为上述电介体粒子半径
- 电介体陶瓷组合电子部件
- [发明专利]高介电性弹性体组合物及电介体天线-CN200580019651.4无效
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大平晃也
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NTN株式会社
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2005-06-15
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2007-05-23
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C08L101/00
- 本发明提供在从低温到高温的广阔温度范围内,显示出高比介电常数,且具有低介电损耗角正切的高弹性体组合物及使用该组合物形成的电介体天线。介电体天线具有高介电性弹性体组合物的成型体和设置于该成型体上的电极,所述高介电性弹性体组合物是在弹性体中配入高介电性陶瓷粉末而形成的,上述高介电性陶瓷粉末在-40℃~100℃的范围内的以25℃为基准的比介电常数的温度系数α(单位:1/℃)为(-200~100)×10-6,该高介电性弹性体组合物的比介电常数为7以上,介电损耗角正切为0.01以下,上述高介电性陶瓷粉末是钛酸钡·钕类陶瓷粉末,上述电极通过粘接镀镍处理或镀银处理的铜箔
- 高介电性弹性体组合电介体天线
- [发明专利]静电吸盘-CN201180012562.2有效
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堀裕明;板仓郁夫;穴田和辉
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TOTO株式会社
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2011-03-23
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2012-11-14
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H01L21/683
- 本发明提供一种静电吸盘,具备:陶瓷基板;陶瓷电介体,设置在所述陶瓷基板的上侧且具有放置被处理基板的第1主面;及电极,设置在所述陶瓷基板与所述陶瓷电介体之间,其特征为,所述陶瓷电介体的材质为陶瓷烧结体,在所述陶瓷电介体的所述第1主面上设有多个突起部与供气的槽,在所述槽的底面设有贯穿到所述第1主面相反侧的所述陶瓷基板的第2主面的通孔,所述电极和所述槽之间的距离或者与所述电极和所述第1主面之间的距离相同或者更大。
- 静电吸盘
- [发明专利]静电吸盘及处理装置-CN202010143616.X在审
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白石纯;西愿修一郎;森达哉;渡边仁弘;佐佐木雄基
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TOTO株式会社
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2020-03-04
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2020-09-15
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H01L21/683
- 本发明的静电吸盘具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面、向所述第1主面开口的槽;基座板,支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路;及第1多孔质部,设置于所述气体导入路之间,所述陶瓷电介体基板具有多个孔,其连通所述槽与所述气体导入路,在从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向上穿通所述陶瓷电介体基板,所述第1多孔质部具有:多孔区域,具有多个孔;及致密区域,比所述多孔区域更致密,所述多孔区域还具有致密部,当向垂直于所述第1方向的平面进行投影时,设置于所述陶瓷电介体基板的所述多个孔的至少1个构成为与所述致密部的至少1个发生重叠。
- 静电吸盘处理装置
- [实用新型]间隙式臭氧发生装置-CN01238563.8无效
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吴加伦;陈宗辉
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上海伦特电子仪表有限公司
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2001-03-29
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2002-01-30
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C01B13/11
- 一种间隙式臭氧发生装置,其特征在于本装置的支架内设散热风和臭氧发生室,臭氧发生室二侧设进和出布气管各一,布气管内设两块陶瓷介电体,两块陶瓷垫片对称夹于两块陶瓷介电体之间,两介电体之间有一定间隙,该间隙二侧通气,另两侧被垫片隔断不通气,垫片与介电体由玻璃烧结粘紧,两块介电体与布气管用胶粘结固定,上下两散热电极一面是平面与介电体胶粘结,另一侧为若干垂直片。
- 间隙臭氧发生装置
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