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- [发明专利]阻抗校准方法及阻抗校准系统-CN202111255429.1在审
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张浩
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上海安路信息科技股份有限公司
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2021-10-27
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2022-01-25
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G01R27/02
- 本发明提供了一种阻抗校准方法,包括将第二阻抗调节单元的控制参数作为第一调节控制参数,将第一调节控制参数作为第三阻抗调节单元的控制参数,将第四阻抗调节单元的控制参数作为第二调节控制参数,将第二调节控制参数作为第一阻抗调节单元的控制参数和第四阻抗调节单元的控制参数,使得所述第一阻抗调节单元的输出电压与电源电压的比例不随温度、工艺误差以及电源电压的变化而变化,将第二阻抗调节单元的控制参数作为第三调节控制参数,第三调节控制参数作为第三阻抗调节单元的控制参数,将第四阻抗调节单元的控制参数作为第四调节控制参数,提高了阻抗校准的准确性。本发明还提供了一种实现阻抗校准方法的阻抗校准系统。
- 阻抗校准方法系统
- [发明专利]阻抗匹配装置及半导体加工设备-CN201711012060.5有效
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王东
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2017-10-26
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2022-11-25
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H03H11/28
- 本发明提供了一种阻抗匹配装置,存储单元预先存储多个阻抗可调单元中开关的多种组合状态和每种对应的阻抗参数;控制器根据传感器检测到的信号计算当前阻抗匹配装置的输入阻抗,并在存储单元查询与当前开关组合状态对应的阻抗参数,同时基于输入阻抗和阻抗参数计算当前腔室阻抗;根据当前阻抗匹配装置的输入阻抗、阻抗参数和腔室阻抗计算达到阻抗匹配时需要的阻抗参数,并在存储单元中查询与该阻抗参数对应的开关组合状态,且基于开关组合状态控制开关驱动器来控制开关的打开或关闭本发明还提供一种具有上述阻抗匹配装置的半导体加工设备,能够快速地完成阻抗匹配,且可获得腔室的阻抗。
- 阻抗匹配装置半导体加工设备
- [发明专利]阻抗校准方法及系统-CN202111255408.X在审
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张浩
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上海安路信息科技股份有限公司
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2021-10-27
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2022-01-28
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G01R27/02
- 本发明提供了一种阻抗校准方法,包括调节第二阻抗调节单元的控制参数,以调节第二阻抗调节单元的阻抗,直至比较器单元输出校准完成信号,将第二阻抗调节单元的控制参数作为第二调节控制参数;之后调节第一阻抗调节单元的控制参数,以调节第一阻抗调节单元的阻抗,直至比较器单元输出校准完成信号,将第一阻抗调节单元的控制参数作为第一调节控制参数,将第一调节控制参数和第二调节控制参数调节高速发射电路,从而使得在对高速发射电路的阻抗校准在校准的过程中本发明还提供了实现阻抗校准方法的阻抗校准系统。
- 阻抗校准方法系统
- [发明专利]阻抗控制的方法-CN201910560861.8有效
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温包根
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深圳市广和通无线股份有限公司
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2019-06-26
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2021-12-07
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G01R27/02
- 本发明涉及一种阻抗控制的方法,应用于射频通信模块,所述的方法包括:设置设有所述射频通信模块的开发板的阻抗参数和射频连接器参数,根据所述阻抗参数和所述射频连接器参数提供多个PCB设计参数;所述PCB设计参数用于调节所述开发板上的匹配阻抗;根据所述多个PCB设计参数制作对应的多个开发板,对各个所述开发板进行阻抗收敛测试获取对应的阻抗测试结果;根据所述阻抗测试结果确定出目标PCB设计参数。通过提供多个PCB设计参数设置多个开发板,并对多个开发板进行阻抗收敛测试,根据测试结果确定出目标PCB设计参数,提高阻抗匹配的概率,进一步的降低功率损耗且提升射频性能。
- 阻抗控制方法
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