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[发明专利]一种等离子发生器的阴极结构、电极机构和等离子发生器-CN202011052013.5在审
发明人：方易剑;陈培培;高锐 -专利权人：新奥科技发展有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本申请公开了一种等离子发生器的阴极结构、电极机构及等离子发生器。阴极结构包括第一阴极和第二阴极。第一阴极配置成以使第一阴极与阳极能够使得阳极的内部的放电介质被电离形成第一等离子弧，第一等离子弧沿阳极的轴向射出。第二阴极配置成以使第二阴极与阳极能够使得阳极的外周的放电介质被电离形成第二等离子弧，第二等离子弧环绕于第一等离子弧的外周。本申请的阴极结构使得等离子发生器可以产生第一等离子弧和第二等离子弧，使得等离子弧的作用范围得到了扩大。
一种等离子发生器阴极结构电极机构

[发明专利]大气压等离子装置及其制造方法-CN201110164519.X有效
发明人：严茂程;施翔尹 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2011-06-17 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种大气压等离子装置及其制造方法。所述大气压等离子装置包括：阳极、阴极、以及设置于阳极与阴极之间的绝缘介质；阳极和阴极间填充有可电离的气体；阴极包括多个等离子产生与排除单元，每个等离子产生与排除单元包括均匀分布的相同的等离子排除区域和等离子产生区域，等离子排除区域和等离子产生区域均匀设置，并且，三个互为相邻的等离子排除区域之间，每两个等离子排除区域的中心间距相等。通过上述方式，本发明能够减轻等离子对阴极及绝缘介质的腐蚀，提高大气压等离子装置的寿命，另外，能够提高基板表面清洁均一性。
大气压等离子装置及其制造方法

[发明专利]等离子体产生装置、等离子体外科手术装置以及等离子体外科手术装置的应用-CN200680030194.3有效
发明人： N·苏斯洛夫 -专利权人：普拉斯马外科股份公司;普拉斯马外科投资有限公司
申请日： 2006-07-07 - 公布日： 2008-08-13 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子体产生装置，它包括阳极、阴极和等离子体槽道，该等离子体槽道沿它的纵向方向至少部分在所述阴极和所述阳极之间延伸。阴极的、指向阳极的端部有朝着阳极渐缩的阴极顶端，所述阴极顶端的一部分在与等离子体槽道连接的等离子体腔室的一部分长度上延伸。等离子体腔室有与等离子体槽道的纵向方向横切的截面表面，该截面表面超过等离子体槽道的最靠近阴极的开口的、与等离子体槽道的纵向方向横切的截面表面。本发明还涉及等离子体外科手术装置和该等离子体外科手术装置的应用。
等离子体产生装置外科手术以及应用

[实用新型]一种汽车等离子体空气过滤器-CN201521103146.5有效
发明人：李刚;张贺岭;汪鹏飞;李伟阳 -专利权人：安徽春暖花开环境科技有限公司
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本实用新型公开一种汽车等离子体空气过滤器，包括盖片、等离子电源、外框、等离子阳极板、等离子阴极板以及滤芯，外框内设有等离子电源，等离子电源上设有盖片，外框下部设有等离子阳极板，等离子阳极板下部连接等离子阴极板，等离子阴极板上设有若干条形凸起，等离子阴极板下部连接滤芯，滤芯上设有滤网部分。
一种汽车等离子体空气过滤器

[实用新型]一种基于等离子体射流触发的多通道闭合开关-CN201820147009.9有效
发明人：施翔宇;李飞舟;毛青青 -专利权人：国家电网公司;国网湖北省电力有限公司宜昌供电公司
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：一种基于等离子体射流触发的多通道闭合开关，包括开关阳极和开关阴极，开关阴极设于开关阳极的下方，在开关阳极与开关阴极之间设有间隙；在开关阴极的下方设有等离子体射流发生装置，还包括等离子体导流装置，所述等离子体导流装置一端与等离子体射流发生装置连接，另一端连接至开关阴极的上表面，所述等离子体导流装置穿过开关阴极。本实用新型提供一种基于等离子体射流触发的多通道闭合开关，在传统的等离子体射流触发开关的基础上考虑到电子与正离子运动速度的差距，选择将射流点布置在开关的阴极上，使射流中的粒子形成导电通道。
阴极等离子体射流等离子体阳极闭合开关导流装置多通道触发发生装置射流本实用新型触发开关导电通道粒子形成一端连接传统的上表面正离子穿过

[发明专利]离子源以及离子注入装置-CN201310365575.9有效
发明人：许飞;秦斌;汪东;周智;於鹏飞 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-08-20 - 公布日： 2017-08-08 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明揭示了一种离子源以及离子注入装置，所述离子源具有真空室，所述真空室包括等离子体形成容器；第一阴极，设置在所述等离子体形成容器的一侧面，用于放出电子；第一旁热式阴极，所述第一阴极放出的电子碰撞所述第一旁热式阴极后，进入所述等离子体形成容器；第二阴极，设置在与所述第一阴极相对的所述等离子体形成容器的侧面，用于放出电子；第二旁热式阴极，所述第二阴极放出的电子碰撞所述第二旁热式阴极后，进入所述等离子体形成容器。本发明的离子源，当所述第一阴极或第二阴极损坏时，只需改变所述第一阴极和第二阴极的通电方式，就可以使所述离子源继续产生等离子体，避免打开真空室进行维护，从而提高产能。
离子源以及离子注入装置

[实用新型]双功能电弧等离子发生器及超细粉体制备系统-CN202223406065.5有效
发明人：李裔红 -专利权人：成都金创立科技有限责任公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子发生器技术领域，尤其是提供一种双功能电弧等离子发生器及超细粉体制备系统，其中等离子发生器包括包括水冷系统和进气系统，还包括等离子电源，等离子电源与等离子发生器之间电连接，所述等离子发生器上设有：阴极，所述阴极通过阴极接线端与等离子电源之间电连接；大阳极，所述大阳极通过大阳极接线端与等离子电源之间电连接；小阳极，设置在阴极与大阳极之间，所述小阳极通过小阳极接线端与等离子电源之间电连接；绝缘气环，包括阳极气环和阴极气环；切换开关，设置在大阳极接线端与等离子电源之间。其目的在于，用以解决现有等离子发生器无法在转移弧和非转移弧之间切换工作状态的问题。
功能电弧等离子发生器超细粉体制系统

[发明专利]等离子体设备和系统-CN200780043771.7有效
发明人：弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫 -专利权人：弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫
申请日： 2007-11-27 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： B44C1/22 文献下载
摘要：一种等离子体设备，包括第一阳极等离子体头和第一阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极、等离子体流动通道和布置在所述等离子体流动通道的至少一部分之间的主气体入口。第一阳极等离子体头和第一阴极等离子体头布置成相对彼此成一角度。等离子体设备也包括第二阳极等离子体头和第二阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极、等离子体流动通道、以及布置在等离子体流动通道和电极的至少一部分之间的主气体入口，第二阳极等离子体头和第二阴极等离子体头布置成相对彼此成一角度。
等离子体设备系统

[实用新型]等离子体阴电极管-CN202123044978.2有效
发明人：韩同印;许春彦 -专利权人：郑州硕鼎电力科技有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及电极管的技术领域，特别是涉及一种等离子体阴电极管，其增强了等离子体阴极与导电体之间的接触强度，减少了间隙，提高了导电性能，便于等离子体阴极的更换，降低了使用成本，提高了环保性，循环的水对等离子体阴极进行降温，提高等离子体阴极的使用寿命；包括等离子体阴极、导电体和连接装置，等离子体阴极顶端通过链接装置与导电体底端连接，导电体顶端设置有连接件，导电体通过连接件与切割设备连接，其中连接装置包括弹簧、螺杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮和轴，等离子体阴极顶端设置有锥角，等离子体阴极外圈上设置有两组滑块，导电体底端设置有安装槽，安装槽内部下方设置有两组滑槽。
等离子体阴电

[实用新型]等离子涂镀阴阳极散热系统-CN202020507281.0有效
发明人：黄国胜;刘春雷;戴生廷;乔建敏;张硕;乔桢;付鑫;王丽鹏 -专利权人：北京中铁建电气化设计研究院有限公司;北京联泰信科铁路技术股份有限公司
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本实用新型公开了等离子涂镀阴阳极散热系统，包括阳极散热单元和阴极散热单元，所述阳极散热单元包括阳极水箱和阳极散热器，所述阳极散热单元连接等离子涂镀阳极，所述阳极水箱的冷却液依次流过所述阳极散热器和所述等离子涂镀阳极后返回所述阳极水箱，所述阴极散热单元包括阴极水箱和阴极散热器，所述阴极散热单元连接等离子涂镀阴极，所述阴极水箱的冷却液依次流过所述阴极散热器和所述等离子涂镀阴极后返回所述阴极水箱。阴阳极一体化冷却，能够有效保障等离子涂镀设备正常运行，体积小，对冷却介质无要求，实用性强。
等离子阴阳散热系统

[发明专利]新型等离子体阴极实心注电子枪-CN201710662978.8在审
发明人：李海龙;季新亮;王茂琰;王彬;殷勇;蒙林 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-08-04 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体阴极电子枪的技术领域，公开了一种新型等离子体阴极实心注电子枪，包括依次同轴连接且呈圆筒体状的等离子体阴极腔、中间腔以及阳极腔，所述等离子体阴极腔内同轴连接有放电电极，等离子体阴极腔的一端设有观察窗，等离子体阴极腔的另一端与中间腔之间设有阴极；所述阳极腔的一端与中间腔之间同轴连接有调制电极，另一端同轴连接有阳极且阳极的外部环绕有磁聚焦线圈；所述阳极腔内同轴连接有聚焦极；所述放电电极、阴极、调制电极、聚焦极以及阳极分别连接有电源，等离子体阴极腔连通有真空系统，解决了正离子对阴极的轰击破坏较大、输出电流密度较低以及场致发射电子枪因阴阳极间隙中等离子体闭合而导致脉冲宽度较小的问题。
新型等离子体阴极实心电子枪

[发明专利]等离子体发生器阴极寿命监测方法和装置-CN200710138257.3无效
发明人：唐宏;薛若连;李本伟;郑庆元 -专利权人：烟台龙源电力技术有限公司
申请日： 2007-07-31 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种等离子体发生器阴极寿命监测方法和装置，包括：获得与流过等离子体发生器阴极的电流有关的信息；根据流过等离子体发生器阴极的电流确定阴极的消耗速率；以及，根据所述消耗速率计算阴极的剩余寿命。根据本发明，可以预测阴极的剩余寿命，从而可以及时更换等离子体发生器阴极。
等离子体发生器阴极寿命监测方法装置

[发明专利]一种蜂窝结构低温等离子体发生装置-CN201511014560.3在审
发明人：施小东;施秦峰;祝建军;袁旭光 -专利权人：浙江大维高新技术股份有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及放电等离子体产生技术，具体涉及一种蜂窝结构低温等离子体发生装置，对离子体发生器和放电极的结构进行了改进，使放电均匀，提高放电效率，具体技术方案为：一种蜂窝结构低温等离子体发生装置，包括基架、由基架支撑的等离子体反应通道、位于等离子体反应通道两端的阴极框架、用于支撑阴极框架的若干绝缘子；所述等离子体反应通道包括若干紧靠相连的空心管状的阳极、位于每一阳极内的阴极，阳极与基架相连接地；所述阴极包括阴极线、设置在阴极线上的若干放电增强器，阴极线的端部连接于阴极框架，则阴极线悬空于阳极中央。
一种蜂窝结构低温等离子体发生装置

[实用新型]蜂窝结构低温等离子体发生装置-CN201521123778.8有效
发明人：施小东;施秦峰;祝建军;袁旭光 -专利权人：浙江大维高新技术股份有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及放电等离子体产生技术，具体涉及一种蜂窝结构低温等离子体发生装置，对离子体发生器和放电极的结构进行了改进，使放电均匀，提高放电效率，具体技术方案为：一种蜂窝结构低温等离子体发生装置，包括基架、由基架支撑的等离子体反应通道、位于等离子体反应通道两端的阴极框架、用于支撑阴极框架的若干绝缘子；所述等离子体反应通道包括若干紧靠相连的空心管状的阳极、位于每一阳极内的阴极，阳极与基架相连接地；所述阴极包括阴极线、设置在阴极线上的若干放电增强器，阴极线的端部连接于阴极框架，则阴极线悬空于阳极中央。
蜂窝结构低温等离子体发生装置

[发明专利]一种测量空心阴极节流孔区等离子体密度的方法-CN201510981045.6在审
发明人：宁中喜;张海广;安秉健;王亚楠;刘晨光;于达仁 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：一种测量空心阴极节流孔区等离子体密度的方法，涉及空心阴极领域。解决了传统空心阴极孔区等离子测量方法受空心阴极孔区尺寸影响导致测量精度低的问题。本发明所述的一种测量空心阴极节流孔区等离子体密度的方法包括以下步骤：步骤一、根据流体理论获得等离子体密度与阴极气压之间的关系；步骤二、让阴极正常工作，测量空心阴极工作参数，根据步骤一获得的等离子体密度与阴极气压之间的关系获得孔区等离子体密度该方法计算过程非常简单，不受空心阴极孔区尺寸影响，利用间接手段测量了不能直接得到的参数，同时还保证了非常高的测量精度。
一种测量空心阴极节流等离子体密度方法

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