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- [发明专利]目检装置-CN201710317403.2有效
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孙超;冯晨丽;刘源
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上海新昇半导体科技有限公司
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2017-05-05
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2021-04-06
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G01N21/95
- 本发明提供一种目检装置，包括：目检腔室，所述目检腔室上设有透明观测窗口，所述透明观测窗口包括透明基板及覆盖于所述透明基板内表面的增透膜；夹持装置，位于所述目检腔室内，适于夹持待检测晶圆，并带动所述待检测晶圆以任意角度旋转；光源，位于所述目检腔室内，且位于所述夹持装置远离所述透明观测窗口的一侧，适于提供照射至所述待检测晶圆表面的观测光；其中，所述增透膜适于对所述观测光增透。本发明的目检装置通过在透明观测窗口内侧设置对观测光增透的增透膜，可以避免透明观测窗口在观测光下对晶圆及金属件的反光，不会在待检测晶圆表面形成容易导致误判的投影，从而有效避免误判，提高目检的准确性。
- 装置
- [实用新型]组合目板-CN201922123791.8有效
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於一飞;李杰
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新光机电（昆山）有限公司
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2019-12-02
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2020-06-16
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H01B13/00
- 本实用新型公开了一种组合目板，包括首层目板、中间层目板和终端眼模，所述首层目板、至少一层中间层目板和终端眼模平行间隔排列，首层目板上设有中心目板孔和若干位于中心目板孔外围的第一外围目板孔，中间层目板中心设有中心眼模，中间层目板上还设有位于中心眼模外围的第二外围目板孔，第二外围目板孔数量小于第一外围目板孔数量，本实用新型采用逐层束紧的方式实现多次定位，避免了各层的导体发生位、散开等情形，使得导线层层紧密排列，最终使导体形成紧密的圆整结构
- 组合
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