|
钻瓜专利网为您找到相关结果 507230个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种铜锌锡硫薄膜的制备方法-CN201610573931.X在审
-
姜海龙;孟凡英;黄勇亮;韦小庆
-
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
-
2016-07-20
-
2017-02-22
-
H01L31/18
- 本发明提供一种铜锌锡硫薄膜的制备方法,包括步骤:1)以铜盐、锌盐、锡盐、硫脲四种化合物为原料,按原子比Cu/(Zn+Sn)=0.7~1,Zn/Sn=1~1.2的比例溶解于有机溶剂中形成铜锌锡硫溶液;2)将所述铜锌锡硫溶液旋涂于基底;3)于200℃~300℃下进行预退火制成铜锌锡硫薄膜;4)将所述铜锌锡硫薄膜放入退火腔室,于500℃~600℃下进行后退火。本发明可有效解决铜锌锡硫高温分解的问题,成膜后的金属比例与前驱体溶液比例一致,可以轻松获得理想的贫铜富锌金属比例。本发明可以提高了薄膜的结晶度,有利于铜锌锡硫太阳电池效率的提升;本发明可有效避免污染问题,并节约生产成本,具有实用价值,因充入氮气的初始压强可控,可实现不同压强对成膜影响的研究,具有重要意义。
- 一种铜锌锡硫薄膜制备方法
|