“钨钛管靶”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3499881个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]钨钛管靶的制造方法-CN201510347491.1在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;段高林 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-06-19 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种钨钛管靶的制造方法，其中所述方法包括：提供钨、钛混合粉末和不锈钢空心管；对钨、钛混合粉末和不锈钢空心管进行冷等静压工艺，形成钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料；将所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料装入真空包套并对真空包抽真空后，对所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料进行热等静压工艺；去除真空包套，获得钨钛管靶。通过所述冷等静压工艺，使所述钨、钛混合粉末和不锈钢空心管预成型化，形成半致密性的钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料，并使后续的热等静压工艺可以进行更好的致密；再通过热等静压工艺，向所述真空包套施加各向均等且全方位的气体压力，最终获得高致密度的、组织结构更均匀的半导体用钨钛管靶。
钨钛管靶制造方法

[发明专利]钨钛管靶的制造方法-CN201510351156.9有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李力平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-06-19 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：本发明提供一种钨钛管靶的制造方法，其中所述方法包括：提供钨、钛混合粉末和不锈钢；对所述钨、钛混合粉末和不锈钢进行冷等静压工艺，形成钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料；将所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料装入真空包套并对所述真空包抽真空后，对所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料进行热等静压工艺；去除所述真空包套，获得钨钛管靶。通过所述冷等静压工艺，使所述钨、钛混合粉末和不锈钢预成型化，形成半致密性的钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料，并使后续的热等静压工艺可以进行更好的致密；再通过热等静压工艺，向所述真空包套施加各向均等且全方位的气体压力，最终获得高致密度的、组织结构更均匀的半导体用钨钛管靶。
钨钛管靶制造方法

[发明专利]钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法-CN201210374822.7有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：本发明公开了钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法。其中，所述钨钛靶材的制造方法包括：在模具中装入钨粉和钛粉的混合粉末；对所述混合粉末进行冷压成型处理，形成钨钛靶材坯料；将所述钨钛靶材坯料进行真空热压烧结处理，形成钨钛靶材。本发明所公开的钨钛靶材的制造方法通过冷压成型处理和真空热压烧结及相关工艺参数的设定，制得的靶材致密度大于或者等于99%的钨钛靶材，并且所获得的钨钛靶材微观结构均匀，具有优异的溅射使用性能。
钨钛靶材制造方法组合

[发明专利]钨钛靶材的车削方法-CN201510315997.4在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;马松 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-06-10 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： B23B1/00 文献下载
摘要：一种钨钛靶材的车削方法，包括：提供钨钛靶材和背板；将所述钨钛靶材和背板焊接在一起，形成钨钛靶材组件；采用第一刀具对所述钨钛靶材组件中的所述钨钛靶材进行第一车削，所述第一刀具切削刃的夹角为80°；在所述第一车削后，对所述钨钛靶材组件的所述背板进行加工；在对所述钨钛靶材组件的所述背板进行加工后，采用第二刀具对所述钨钛靶材的坯料进行第二车削，所述第二刀具切削刃的夹角为35°～55°。所述车削方法以提高所形成的钨钛靶材的质量，并且减缓刀具的磨损。
钨钛靶材车削方法

[发明专利]一种钨钛合金管靶的制备方法-CN202111357850.3在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;姚明月 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种钨钛合金管靶的制备方法，所述制备方法将钨钛混合粉末与不锈钢内管依次进行脱气处理、热等静压处理，无需在脱气处理之前进行冷等静压处理，得到以所述不锈钢内管为背管的钨钛合金管靶，不仅可以提高半导体用钨钛管靶的致密度和组织结构均匀性
一种钛合金制备方法

[发明专利]钨钛铝靶材组件的焊接方法-CN201310754922.7有效
发明人：姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张涛 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： B23K20/14 文献下载
摘要：一种钨钛铝靶材组件的焊接方法，包括以下步骤：提供钨钛靶材、铝背板，所述铝背板具有容纳部分所述钨钛靶材的凹槽，所述凹槽的深度为1～2mm；将钨钛靶材置于所述凹槽内，所述钨钛靶材的待焊接面与所述凹槽底面接触，形成靶材组件坯料；将所述靶材组件坯料放入真空包套；利用热等静压工艺将所述钨钛靶材的待焊接面与所述凹槽底面焊接形成钨钛铝靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述钨钛铝靶材组件采用本发明的方法能够实现靶材高强度的焊接。
钨钛铝靶材组件焊接方法

[发明专利]靶材组件的焊接方法-CN201410854699.8有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;袁海军 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钨钛靶材组件的焊接方法，包括提供钨钛靶材、铜背板和中间层；将所述钨钛靶材、中间层和铜背板置于真空包套内并使所述中间层与所述钨钛靶材的待焊接面和铜背板的待焊接面贴合；利用热等静压工艺将所述钨钛靶材、中间层和铜背板焊接在一起以形成钨钛靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述钨钛靶材组件。通过本发明的焊接方法，可以实现钨钛靶材与铜背板之间的焊接，并且焊接效率较高，形成的钨钛靶材组件的焊接强度较高、变形量小，能够满足长期稳定生产和使用靶材的需要。
组件焊接方法

[发明专利]钨钛靶材坯料的制作方法-CN201110372337.1有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2011-11-21 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： B22F3/14 文献下载
摘要：一种钨钛靶材坯料的制作方法，包括：首先提供钨钛粉末；接着将钨钛粉末放置入真空包套，抽真空；然后采用热等静压工艺进行烧结成型；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出钨钛靶材坯料。采用本发明提供的钨钛靶材坯料的制作方法，避免使用模具，同时，形成的钨钛靶材坯料的致密度、内部组织结构的均匀性优于采用热压形成的钨钛靶材坯料的致密度、内部组织结构的均匀性。
钨钛靶材坯料制作方法

[发明专利]一种钨钛靶材与铜背板的钎焊方法-CN202010086052.0在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-02-11 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种钨钛靶材与铜背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)钨钛靶材与铜背板的焊接面分别独立的进行表面喷砂处理；(2)分别独立地对钨钛靶材与铜背板喷砂处理后的焊接面进行镀镍处理；(3)钎焊连接进行镀镍处理后的钨钛靶材与铜背板，完成钨钛靶材与铜背板的钎焊焊接。本发明通过喷砂处理提高了焊接面的粗糙度，通过镀镍处理使钨钛靶材与铜背板进行有效结合，从而提高了钨钛靶材与铜背板的焊接效果。
一种钨钛靶材背板钎焊方法

[发明专利]一种延长钨钛靶材寿命的方法-CN202110572169.4有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种延长钨钛靶材寿命的方法，所述方法包括：对焊接后的钨钛靶材以及铜背板的溅射面的边缘进行车削斜角处理，对喷砂区域进行遮蔽处理；对溅射面斜面进行铣削花纹处理；去除遮蔽物对喷砂区域进行喷砂处理；对钨钛靶材以及铜背板进行抛光处理所述方法可以解决钨钛靶材在使用后期的剥离问题，延长钨钛靶材寿命。
一种延长钨钛靶材寿命方法

[发明专利]一种钨靶材扩散焊接方法及靶材组件-CN201711233465.1在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体靶材技术领域，尤其是涉及一种钨靶材扩散焊接方法及靶材组件，以缓解现有技术中存在的钨靶材直接与铜合金背板焊接容易出现裂纹，以及钨靶材与铝中间层，铝中间层与铜合金之间不易扩散焊接的技术问题。首先在钨靶材的焊接面镀上一层钛金属膜形成镀钛钨靶材、在铝中间层的上下两个焊接面均镀上一层钛金属膜形成镀钛铝中间层、在铜合金背板的焊接面镀上一层钛金属膜形成镀钛铜合金背板。然后装配镀钛钨靶材、镀钛铝中间层和镀钛铜合金背板以形成装配体，其中镀钛铝中间层位于镀钛钨靶材和镀钛铜合金背板之间。本发明提供的技术方案能够避免出现裂纹并且容易扩散焊接。
一种钨靶材扩散焊接方法组件

[发明专利]一种钛钨方形靶材组件的校正方法-CN202010295403.9在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;叶裕辉 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： B21D1/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛钨方形靶材组件的校正方法，所述校正方法包括：将温度为100‑120℃的钛钨方形靶材组件加压至凹陷2‑2.2mm，然后冷却至室温再撤去压力。本发明所述校正方法，针对钛钨方形靶材组件的力学性能特点，依靠保持的温度和凹陷的程度之间的协同作用，采用热校正方法不仅避免了钛钨方形靶材组件开裂的情况，还可以使得钛钨方形靶材组件的平面度≤0.3mm。
一种方形组件校正方法

[发明专利]一种钨钛混粉方法-CN202010190864.X有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B22F9/04 文献下载
摘要：本发明提供一种钨钛混粉方法，所述方法通过将钨粉分多批投入钛粉中进行至少多次混粉过程，使钨粉和钛粉混合均匀，尤其针对W‑10％Ti以下的钨钛的靶材，解决了钨钛靶材中的花斑问题，提高了钨钛靶材的合格率，具有较高的工业应用价值
一种钨钛混粉方法

[发明专利]一种制备大尺寸高纯钨钛合金靶材的方法-CN201610473417.9在审
发明人：张俊敏;闻明;王传军;谭志龙;沈月;毕珺;管伟明;易伟 -专利权人：贵研铂业股份有限公司
申请日： 2016-06-24 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： C22C27/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备大尺寸高纯钨钛合金溅射靶材的方法，包括高纯钨钛复合粉末的制备，粉末的成型，及钨钛合金靶材机加工。具体为采用纯度大于等于99.95％的钛粉和纯度大于等于99.95％仲钨酸铵为原料，先通过气体雾化法制备得到核壳结构的仲钨酸铵‑钛复合粉，再通过微波煅烧得到核壳结构的氧化钨‑钛复合粉，最后采用通氢还原法得到高纯、超细钨钛复合粉末，用真空热压结合热等静压对制备得到的钨钛复合粉末进行烧结成型得到高纯钨钛合金溅射靶材。使用上述方法制备得到的高纯钨钛靶材纯度大于等于99.99％，钨钛合金溅射靶材由富钨基体相及富钛相组成，富钛相比例小于15％，平均晶粒尺寸不大于50μm，且靶材边缘与靶材中心的晶粒尺寸差别不大于5μm。
一种制备尺寸高纯钛合金方法

[发明专利]钨钛靶材组件的焊接方法-CN201510459904.5有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;袁海军 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-07-30 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： B23K1/08 文献下载
摘要：一种钨钛靶材组件的焊接方法，包括：提供钨钛靶材和背板；在所述钨钛靶材的焊接面放入第一量的焊料并进行第一浸润处理；在所述背板的焊接面放入第二量的焊料并进行第二浸润处理；在所述第二浸润处理之后，向所述背板的焊接面添加第三量的焊料；在向所述背板的焊接面添加所述第三量的焊料后，且在所述第一浸润处理后，将所述钨钛靶材的焊接面扣合在所述背板的焊接面上。所述焊接方法能够提高钨钛靶材组件的焊接强度。
钨钛靶材组件焊接方法

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条