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- [发明专利]烧结金属纤维过滤材料及其制备方法-CN201110438974.4有效
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徐小平
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昆山海普过滤分离科技有限公司
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2011-12-26
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2013-06-26
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B01D39/20
- 本发明公开了一种烧结金属纤维过滤材料，包括至少两层烧结金属纤维毡，各层烧结金属纤维毡沿流体流入的方向孔径由大到小逐层递减，其制备方法为：先把剪切出短纤维；再将短纤维投到布毡机的喂料装置中，利用气流沉积的原理制成松软的金属纤维毡，然后将其压实；然后把两到四层不同单位毡重和过滤精度的金属纤维毡按照过滤精度从小到大的次序叠加在一起形成复合金属纤维毡，然后将复合金属纤维毡装入真空烧结炉中烧结，相邻两复合金属纤维毡之间设置烧结隔离材料，烧结完成后，冷却降温；最后把烧结为一体的金属纤维毡平整并压制到一定的厚度即可，本发明所得多层结构的烧结金属纤维过滤材料，其具有过滤精度高，纳污能力强和通量大等特点。
- 烧结金属纤维过滤材料及其制备方法
- [发明专利]一种用金属硬掩膜制造影像传感器的方法-CN201310012319.1有效
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李平
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陆伟
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2013-01-14
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2013-04-24
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H01L27/146
- 本发明涉及影像传感器制造领域，具体涉及一种用金属硬掩膜制造影像传感器的方法。包括对晶圆表面氧化物进行刻蚀,至露出四乙氧基硅层;在表面上淀积一层隔离氧化层;淀积一层金属硬掩膜;将金属硬掩膜刻蚀出开口;在金属硬掩膜上涂抹光刻胶，并刻蚀掉金属硬掩膜开口上方的光刻胶；进行深通孔刻蚀至逻辑晶圆顶层金属上覆盖的氮化硅层;清除深通孔刻蚀后剩余金属硬掩膜;对通孔进行底部抗反射介质填充,并对所述底部抗反射介质进行刻蚀;使用光刻确定沟槽刻蚀的沟槽尺寸;进行沟槽刻蚀,至露出器件晶圆顶层金属和逻辑晶圆顶层金属。在使用本发明方法能通过金属硬掩膜方法有效解决现有技术中背照式影像传感器由于其尺寸小而造成制作困难的问题。
- 一种金属硬掩膜制造影像传感器方法
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