专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]重复缺陷的筛选方法-CN201710987031.4有效
  • 陈超;郭贤权;许向辉;陈昊瑜 - 上海华力微电子有限公司
  • 2017-10-20 - 2020-04-10 - H01L21/66
  • 本发明的一种重复缺陷的筛选方法,包括:获取晶圆的缺陷分布数据;以晶粒为重复单元,计算出缺陷的第一重复合集及其在晶粒中的坐标;以光罩为重复单元,计算出缺陷的第二重复合集,并计算第二重复合集中各缺陷对应于以晶粒为重复单元的坐标;匹配第二重复合集中各缺陷以晶粒重复单元的坐标与第一重复合集中各缺陷的坐标,计算坐标相同的缺陷在各自重复合集中重复的次数,并计算两次数的差值与第二重复合集中次数的比值k;如果k等于零或小于设定阈值k0,则确认该缺陷为重复缺陷。
  • 重复性缺陷筛选方法
  • [发明专利]一种高加速盐雾试验-CN201410093386.5在审
  • 卢申林;卢慧娟 - 卢申林
  • 2014-03-14 - 2014-08-20 - G01N17/00
  • 本发明公开了一种高加速盐雾试验箱,包括盐雾生成系统、盐雾试验箱、检测系统、控制系统,所述的盐雾生成系统、盐雾试验箱、检测系统、控制系统依次连接,还包括与盐雾试验箱连通的氧气通路,通过增加盐雾试验箱内盐雾喷雾量和氧气的浓度,来提高腐蚀速度,从而缩短盐雾试验的时间,降低试验时间和试验成本,同时由于氧气含量的有效控制,保证了试验结果的可重复
  • 一种加速试验

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