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[发明专利]一种光谱分析装置和方法-CN201611028872.4在审
发明人：赖博;王继光 -专利权人：北京世纪桑尼科技有限公司;赖博
申请日： 2016-11-19 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：一种光谱分析装置和方法，通过在远心扫描透镜的光瞳位置放置分光棱镜，使被测样品发射的复色光准直后经过分光棱镜和远心扫描透镜，在分光棱镜的分光方向上按波长排列汇聚于远心扫描透镜的成像焦面；同时，在远心扫描透镜的成像焦面放置反射镜，该反射镜的尺寸刚好能阻挡由样品反射或发射的、与光源发射的单色光波长相同的、经过分光棱镜分光、由远心扫描透镜汇聚的光，同时将光源发射的、汇聚于反射镜的单色光反射向远心扫描透镜和分光棱镜，照明或激发被测样品
远心扫描透镜分光棱镜反射镜光谱分析装置被测样品成像焦面光源发射汇聚分光单色光波长光谱分辨光瞳位置样品反射发射单色光分光镜复色光滤光镜波长反射阻挡激发分析

[实用新型]显微镜照明系统-CN201820838110.9有效
发明人：钟欲飞 -专利权人：钟欲飞
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种显微镜照明系统，其包括准直光源，扫描振镜装置，其放置在远心扫描物镜组的孔径光阑上，用于对准直光源输出的平行光束进行扫描；远心扫描物镜组，用于将扫描振镜装置出射的不同角度的准直光束，以主光线平行于光轴的孔径角α1入射到远心扫描物镜的像方焦平面上；散射片，其放置在远心扫描物镜组的像方焦平面上，用于将平行于光轴的主光线的孔径角α1增大至孔径角α2；以及物方远心物镜组，其物方焦平面与远心扫描物镜组的像方焦平面重合，用于将孔径角为α2、主光线平行于光轴的光束经过其，并以平行光束入射到放置在物方远心物镜组的孔径光阑的样品面上。
远心扫描孔径角物镜组焦平面主光线光轴像方显微镜照明系统平行扫描振镜装置物方远心物镜孔径光阑平行光束入射本实用新型物方焦平面平行光束准直光束准直光源散射片直光源重合出射入射物镜对准扫描输出

[发明专利]一种激光光束的扫描加工装置、系统及方法-CN202211145798.X在审
发明人：林文雄;吴鸿春;刘华刚;黄海洲;翁文;郑晖 -专利权人：闽都创新实验室
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光光束的扫描加工装置、系统和方法。通过本发明可以实现激光光束垂直于聚焦面的远心聚焦和移动，实现焦点远心扫描加工，解决现有技术不能进行偏离光轴的远心扫描加工等技术问题。
一种激光光束扫描加工装置系统方法

[发明专利]一种光学检测测量照明及其成像系统-CN201510839207.2在审
发明人：张家齐;郑杰仁;郭进顺 -专利权人：昆山万像光电有限公司
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：一种光学检测测量照明及其成像系统，包括光源、第三光源、第一光学组件、第二光学组件、线性远心镜头、线性扫描成像传感器、待测物；所述线性扫描成像传感器置于线性远心镜头的上方并连接，两者的中心线重合并垂直于待测物；所述第二光学组件置于线性远心镜头的下方，其中心点与线性远心镜头的中心线重合并垂直于待测物；所述光源的输出端指向待测物。本发明以线光纤、线性远心镜头及高感光线性扫描成像传感器为组合，使光线均匀落下消除阴影，将其特征反射经由线性远心镜头放大及线性扫描成像传感器清楚成像,提高成像质量、扫描速度、减少瑕疵误判及减少畸变提高测量精度
一种光学检测测量照明及其成像系统

[发明专利]光刻机扫描系统及光刻机扫描系统远心异常校准方法-CN202011533017.5在审
发明人：孙文凤 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种光刻机扫描系统及刻机扫描系统远心异常校准方法，所述光刻机扫描系统通过在第一光源组件和可变狭缝组件之间设置用于发出第二出射光的第二光源组件，并在第二光源组件发出第二出射光，且测量单元被第二出射光照射到时，测量第二出射光照射到第一测量组件上形成的光斑的中心位置，以计算得到照明组件的远心。如此一来，通过在光刻机扫描系统中引入用于测量远心的第二光源组件，以避免使用用于光刻的第一出射光进行照明组件远心测量而导致的干扰问题。同时，可直接在光刻机扫描系统中完成远心的测量，以提升远心的测量和校准效率。
光刻扫描系统异常校准方法

[发明专利]一种不动型双远心变焦扫描成像系统及主结构参数确定方法-CN202110589450.9有效
发明人：程雪岷;叶恒志;郝群;高子琪;王安琪;陈棵 -专利权人：清华大学深圳国际研究生院
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明提出一种不动型双远心变焦扫描成像系统及主结构参数确定方法，该系统由激光调制光源系统、不动型双远心变焦扫描照明系统和单光子成像系统三个部分组成；所述结构参数确定方法包括以下步骤：S1：采用高斯括号法分析系统的高斯解特性，提取出能够评价所述不动型双远心变焦扫描成像系统变焦缩放能力的变焦评价参数；S2：根据矢量像差理论、赛德尔像差系数和斯涅尔定律，提出制约所述不动型双远心变焦扫描成像系统扫描性能的显著参数及其关联数学模型，进而提取出扫描评价参数用于评价所述系统的高精度扫描能力；S3：结合所述变焦评价参数和所述扫描评价参数建立非线性全局评价函数，并对所述非线性全局评价函数进行最优解检索，获得具有良好变焦缩放能力和高精度扫描能力的不动型双远心变焦扫描成像系统
一种不动型双远心变焦扫描成像系统结构参数确定方法

[实用新型]远心扫描镜头-CN201420136981.8有效
发明人：张宽 -专利权人：维嘉数控科技（苏州）有限公司
申请日： 2014-03-25 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种远心扫描镜头，用于激光打孔。所述远心扫描镜头包括依次靠近被加工物体的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，所述远心扫描镜头的入瞳直径为10毫米，有效镜头焦距为121.95毫米。本实用新型的远心扫描镜头让出射光的光轴基本垂直于被加工物体，从而在加工较深位置时，孔内部深度不容易倾斜，也能保证孔的圆度，同时孔的加工位置也在允许的偏移范围之内。
扫描镜头

[发明专利]大相对孔径远心扫描场镜系统-CN202211241958.0在审
发明人：林文雄;吴鸿春;刘华刚;黄海洲;翁文;郑晖 -专利权人：闽都创新实验室
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本申请公开了一种大相对孔径远心扫描场镜系统，包括：从入瞳位置起，沿光轴方向依次设置的负透镜、第一正弯月透镜、第二正弯月透镜、正透镜、第三正弯月透镜、第四正弯月透镜和负弯月透镜。本申请可以避免现有二维扫描振镜系统由于两个反射镜安装位置差异造成的远心度不足问题，能够实现大扫描角度大聚焦角度的远心聚焦及远心扫描加工。
相对孔径扫描系统

[实用新型]一种灵活可调测量小样品的三维扫描仪-CN202020092883.4有效
发明人：张晓磊 -专利权人：上海锐翊通讯科技有限公司
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种灵活可调测量小样品的三维扫描仪，包括扫描仪外壳和扫描仪支架，还包括扫描仪内部结构主体、扫描仪内部连接工件、扫描仪投影仪、扫描仪内部结构支撑臂、扫描仪镜头夹座、扫描仪远心相机、扫描仪内部连接支架和扫描仪云台块夹板扫描仪镜头夹座与扫描仪云台块夹板可灵活调节扫描仪远心镜头的角度，使扫描仪投影仪与扫描仪远心相机拍摄到同一区域。本实用新型使用了扫描仪远心相机，可以测量范围在内的小物体的面型结构并保证测量结果的高精度；使用扫描仪投影仪，可以根据不同的样品测量要求，任意更换投影仪的投影光栅；外形结构分模块设计，各模块间灵活可调；开发了全数字化软件
一种灵活可调测量样品三维扫描仪

[实用新型]一种盲孔自动光学影像量测照明成像系统-CN201420560578.8有效
发明人：郑杰仁;张家齐;郭进顺 -专利权人：昆山万像光电有限公司
申请日： 2014-09-28 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种盲孔自动光学影像量测照明成像系统，包括高亮度LED环形漫射光源、线性远心镜头及高感光线性扫描成像传感器、支架，其特征在于：所述的高亮度LED环形漫射光源安装于支架上，与线性远心镜头相连，线性远心镜头的上端与高感光线性扫描成像传感器连接，可调整对焦高度。本实用新型提高盲孔成像质量、扫描速度、减少瑕疵误判及减少畸变提高量测精度。
一种自动光学影像照明成像系统

[发明专利]远心扫描镜头-CN201210068960.2无效
发明人：朱敏;王国力 -专利权人：南京波长光电科技有限公司
申请日： 2012-03-16 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G02B13/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种远心扫描镜头，通过9.4um2片式非球面的设计，使整体性能达到衍射的极限，P-V光程差值小于四分之一波长。线性F-Theta畸变小于-4％，平均畸变为-1.3％。本发明中光从振镜片1入射并由振镜片2反射后进入远心F-Theta镜头第一片镜片3，经折射后，出射角比入射角小，光继续向后传播，经镜片4折射时光的角度和发射程度都变小。
扫描镜头

[发明专利]紫外激光远心F‑theta扫描场镜及基于该场镜的光学扫描系统-CN201610078255.9有效
发明人：庄怀港;谭羽;白学坤 -专利权人：上海仪万光电科技有限公司
申请日： 2016-02-03 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明涉及紫外激光远心F‑theta扫描场镜及基于该场镜的光学扫描系统。紫外激光远心F‑theta扫描场镜，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，其中所述的第一透镜为双凹负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月负透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四片为双凸正透镜与现有技术相比，本发明扫描场镜排布成“‑+++”的光焦度分布，使扫描场镜的出瞳位于无限远处，视场内的像方主光线的远心<3°，扫描场镜的像散得到良好的校正，小于0.05mm，而且镜片加工容易，造价低廉
紫外激光 theta 扫描基于该场光学系统

[发明专利]生物组织光学检测探头-CN201710897817.7有效
发明人：王淇霖;李源钦;黄俊杰;江鸿志;郑志明;陈顺成 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2017-09-28 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本发明公开一种生物组织光学检测探头，适于检测一生物组织，其包含表面成像模块与断层取像模块，其中表面成像模块用以提取并生成生物组织的表面影像，表面成像模块包含远心透镜、第一光学镜、透镜组、影像感测器、以及光源，光源用以发出第一检测光，断层取像模块用以提取生物组织的断层影像，断层取像模块包含远心透镜、第一光学镜、扫描镜组以及第一准直镜，断层取像模块用以接收第二检测光，其中，第一检测光经第一光路依序由光源、生物组织、远心透镜、第一光学镜及透镜组至影像感测器；第二检测光经第二光路依序由第一准直镜、扫描镜组、第一光学镜、远心透镜、生物组织、远心透镜、第一光学镜及扫描镜组至第一准直镜。
生物组织光学检测探头

[实用新型]激光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路同轴装置-CN200920299665.1有效
发明人：王晓华;吴忠其;李毛惠;马浩峰;曾坤灿 -专利权人：江阴新基电子设备有限公司
申请日： 2009-12-28 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： B23K26/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路同轴装置，其特征在于所述装置包括光纤激光器(1)、CCD相机组机(2)、全透全反镜(3)、扫描头组件(4)、远心场镜(7)、工作平台(8)和红外光源(9)，所述扫描头组件(4)包括X振镜(5)和Y振镜(6)，所述光纤激光器(1)、全透全反镜(3)和扫描头组件(4)自左至右处于同一水平轴心线上，所述CCD相机组机(2)置于全透全反镜(3)上方，与全透全反镜(3)处于同一垂直轴心线上，所述远心场镜(7)置于扫描头组件(4)下方，与该扫描头组件(4)的中心线处于同一垂直轴心线上，所述工作平台(8)设置于远心场镜(7)下方，红外光源(9)设置于工作平台(8)上方，并置于远心场镜(7)下方。
激光去飞边机视觉定位扫描同轴装置

[实用新型]一种紫外激光远心F-theta扫描场镜-CN201620112644.4有效
发明人：庄怀港;谭羽;白学坤 -专利权人：上海仪万光电科技有限公司
申请日： 2016-02-03 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种紫外激光远心F‑theta扫描场镜。紫外激光远心F‑theta扫描场镜从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，其中所述的第一透镜为双凹负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月负透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四片为双凸正透镜与现有技术相比，本实用新型扫描场镜排布成“‑+++”的光焦度分布，使扫描场镜的出瞳位于无限远处，视场内的像方主光线的远心<3°，扫描场镜的像散得到良好的校正，小于0.05mm，而且镜片加工容易，造价低廉
一种紫外激光 theta 扫描

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