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- [发明专利]载台装置-CN200710110052.4无效
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原田真;小原达也;小林雄二
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住友重机械工业株式会社
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2007-06-19
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2007-12-26
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H01L21/683
- 本发明的目的为不需要支持载放工件的吸附板的石基台，对应工件的大型化、且确保载台的位置精度。载台装置(10)具有：固定在地面上的架台(12)；被支持在架台(12)上的一对导向部(14A、14B)；横架在一对导向部(14A、14B)之间，两端被支持在架台(12)上的多个梁(16)；Y载台(18)，沿一对导向部(14A、14B)在Y方向移动；以及一对线性马达(20A、20B)，沿Y方向驱动Y载台(18)的两端部。并且，在梁(16)上载放有载放平板状的工件的吸附板。在工件的面积被大型化而延长Y载台(18)的移动距离的场合，可通过延长导向部(14A、14B)来对应。
- 装置
- [实用新型]载台装置-CN200920168697.8无效
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罗文保
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友上科技股份有限公司
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2009-08-10
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2010-05-26
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H01L21/683
- 一种载台装置，其包括一载座，于该载座顶部作用面处设置一锥形的容置槽，并于其中设置一锥形的喷头，该喷头周围与容置槽面间形成气流通道，并于容置槽中心位置设置一连通外界的喷气道，且于载座作用面周缘设置数个水滴形柱杆状的抵压块，借此设计，当外界喷气装置所喷出的气体由喷气道喷入载座时，气流可经由气流通道由喷头周围倾斜向外喷出，使置放在载座上方的光电半导体薄片形工件能与载座的作用面间形成负压状态，而与周围形成压差，使工件周缘能抵于抵压块顶面而吸附定位
- 装置
- [实用新型]货车的自动收纳平台-CN202021949294.X有效
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赖志全
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赖志全
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2020-09-08
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2021-07-09
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B60P1/00
- 本实用新型提供一种货车的自动收纳平台，安装在一车体，该自动收纳平台用于存放推车，该车体底部设有一安装空间，一自动收纳平台是安装在该安装空间；前述的自动收纳平台包含有：一载台装置、一升降装置与一开关门板装置所构成；该升降装置与该载台装置连接，带动该载台装置产生升降动作，该开关门板开关用于启闭该载台装置的开口端，据此，通过操作一控制装置使得该升降装置带动该载台装置下降移动，该开关门板装置开启时，能将推车存放在该载台装置内，该开关门板装置关闭后接着该升降装置带动该载台装置上升，即可让能将推车定位在该载台装置内。
- 货车自动收纳平台
- [实用新型]一种不停机换料机构-CN202020992288.6有效
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庾健彬;李志勋
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东莞市爱康电子科技有限公司
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2020-06-03
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2021-01-08
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B65C9/18
- 本实用新型提供了一种不停机换料机构，包括X轴向驱动装置、载台装置一和载台装置二，所述载台装置一和载台装置二沿X轴向阵列分布X轴向驱动装置上，所述X轴向驱动装置驱动载台装置一和载台装置二沿X轴向运动，所述载台装置一和载台装置二具有相同结构，所述载台装置一包括Y轴向滑台、止动装置一、定位底座和止动装置二，所述Y轴向滑台安装在X轴向驱动装置上，所述止动装置一安装在X轴向驱动装置和Y轴向滑台之间，所述定位底座可转动连接在Y轴向滑台上，所述止动装置二安装在
- 一种停机机构
- [实用新型]微动台和运动装置-CN202121617919.7有效
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董亚聪;袁嘉欣;江旭初;唐艳文
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2021-07-16
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2021-11-23
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种微动台和运动装置。微动台包括：载台装置、微动底座、柔性连接件和多个磁浮重力补偿装置，载台装置包括：载台、旋转底座和旋转驱动装置，旋转底座位于载台下方。载台装置相对于微动底座垂向可滑动地连接至微动底座；柔性连接件包括弹性片，弹性片水平延伸，且弹性片的一端连接至旋转底座，弹性片的另一端连接至微动底座；各磁浮重力补偿装置设置于旋转底座下方，磁浮重力补偿装置构造成能够对载台装置进行垂直方向力的补偿，且磁浮重力补偿装置还构造成能够驱动载台装置垂直移动。磁浮重力补偿装置既可以对载台装置进行垂向方向力补偿，又可以驱动载台装置垂直移动，因此一个驱动装置可以实现两个目的。
- 微动运动装置
- [发明专利]曝光装置以及制造方法-CN202310794992.9在审
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青木保夫
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株式会社尼康
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2020-03-12
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2023-08-25
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G03F7/20
- 本发明提供一种曝光装置以及制造方法。为了实现装置的小型化，即占用区域的窄小化，曝光装置包括：光学系统，照射基板；载台装置，一边保持基板一边移动；保持部，保持基板；腔室，收容光学系统、载台装置及保持部；以及控制装置，使载台装置移动。载台装置包括保持装置。保持部在基板位于腔室的开口内时位于能够保持基板的位置。控制装置在载台装置位于保持部下方的状态下，使保持装置保持通过保持部而被保持的基板中不与曝光区域重叠的部分，使保持装置能够从保持部接收基板，在基板的所述部分被保持装置保持的状态下，移动载台装置使载台装置自保持部远离，且一边使保持基板的载台装置相对于光学系统移动，一边使光学系统照射基板。
- 曝光装置以及制造方法
- [实用新型]一种载台装置及显示屏加工系统-CN201921551676.4有效
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苏山;朱邦宁;张清山;陈宝璇
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昆山希盟自动化科技有限公司
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2019-09-18
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2020-07-03
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B05C13/02
- 本实用新型公开了一种载台装置及显示屏加工系统，属于机械装置技术领域。该载台装置，用于放置不同尺寸的待加工件，包括：固定载台；滑动载台，所述滑动载台滑动连接于所述固定载台，所述滑动载台与所述固定载台设置于同一平面上，所述滑动载台设置在所述固定载台的侧边，所述滑动载台与所述固定载台沿第一方向排布；及驱动组件，所述驱动组件被配置为驱动所述滑动载台相对所述固定载台沿所述第一方向滑动。该载台装置具有以下有益效果：当在滑动载台和固定载台上放置不同尺寸的待加工件时，滑动载台能够相对于固定载台自动伸缩，以满足不同尺寸待加工件的放置要求，不再需要更换不同大小的载台装置，使载台装置的通用性较强
- 一种装置显示屏加工系统
- [发明专利]一种锚具夹片锯切装置-CN202211443351.0在审
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周成顺;查宇;郑玉祥;倪毅;陈刚;段海青
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浙锚科技股份有限公司
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2022-11-18
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2023-01-24
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B23D53/00
- 一种锚具夹片锯切装置，涉及锚具加工技术领域，包括：安装架；安装架上固定安装有输送装置、阻断装置、载台装置、收集箱、切割装置和控制器；输送装置用于向载台装置上输送锚具夹片，阻断装置用于截流输送装置上的锚具夹片，使输送装置上的锚具夹片单个依次进入载台装置上，切割装置用于对载台装置上的锚具夹片进行切割，收集箱用于收集切割完成后的锚具夹片；输送装置、阻断装置、载台装置和切割装置均与控制器电性连接；本发明通过输送装置和载台装置，无需手动向带锯机下端放置锚具夹片，确保了操作人员的安全性，只需将锚具夹片放置到输送装置上即可；相比于手动向带锯机下端放置锚具夹片来说，不但增加了安全性，并且还提高了效率。
- 一种锚具夹片锯切装置
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