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- [实用新型]叠层设备-CN00242138.0无效
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初殿生
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初殿生
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2000-07-09
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2001-05-16
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H01G13/00
- 一种叠层设备、有底座、底座上的载板、与底座及载板相对的压头,底座带有的叠层定位机构,载板一侧外设置有吸着上层叠层边部真空吸着装置。这样就可以用手将带有载带的陶瓷膜片从上个工序拿到叠层位置,可以选用机械定位机构定位,陶瓷膜片可以更薄,层数可以更多,制成的电容器容量更高,能够实现小体积高容量的多层片式陶瓷电容器;可以相应的选用丝网真空分散层,简化了设备的结构和造价,简化了操作过程,保证了设备的可靠性。
- 设备
- [发明专利]原子层沉积设备-CN201910384724.3在审
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申雄澈;崔圭政;白敏;杨澈勋
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NCD株式会社
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2019-05-09
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2020-08-18
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C23C16/455
- 本发明涉及不是双重腔室而是具有单一腔室结构并且能够对以多列配置的多张基板实施均匀的薄膜形成工艺的原子层沉积设备，包括：工艺腔室，一侧形成开口部且具有一定的内部空间，从而实施原子层沉积工艺；多个工艺用盒，被装载到所述工艺腔室内部而进行原子层沉积工艺，工艺完成后被卸载到外部；气体供给装置，对装载到所述盒的所有基板，对所述基板的前端部供给气体，以使得各基板之间的空间形成层状流动；排气侧层状流动形成部，使得由所述气体供给装置喷射的工艺气体的层状流动保持到所述基板的后端部
- 原子沉积设备
- [发明专利]铺设层铲除设备-CN202110690897.5在审
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张兵
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张兵
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2021-06-22
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2021-08-20
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E04G23/00
- 本发明提供了一种铺设层铲除设备，用于铲除铺设于基面上的铺设层，包括机体、设于机体上的驱动单元、以及由驱动单元驱动的多个铲刀。其中，驱动单元具有垂直铺设层设置的驱动轴，并在驱动轴上安装有刀架机构；各铲刀环驱动轴间隔布置地安装于刀架机构的底部。刀架机构受驱动轴的驱动而旋转，并带动各铲刀环绕驱动轴转动，以形成对铺设层的铲切。本发明的铺设层铲除设备，采用旋转的刀架机构，将铲刀设在刀架机构底部外围，使刀架机构带动各个铲刀做旋转切线运动，以形成对铺设层的铲除，具有易于将铺设层铲除干净的效果；而且，铺设层会给予铲刀以反作用力，从而可形成辅助设备行进的动力，使设备便于操作，适用于对铺设层的清除施工作业。
- 铺设铲除设备
- [发明专利]锡层成型设备-CN202110398022.8在审
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孙益民;邓琴
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浙江川禾新材料有限公司
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2021-04-14
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2022-02-22
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B21C37/00
- 本发明公开了一锡层成型设备，其中所述锡层成型设备包括一锡层成型装置和一自动加锡装置，其中所述锡层成型装置具有一锡加热空间，所述自动加锡装置具有一锡块容纳腔、一加锡滑槽、至少一锡块出口以及相对于所述锡块出口的一撞击口，其中所述加锡滑槽、所述锡块出口以及所述撞击口被连通于所述锡块容纳腔，其中所述自动加锡装置以所述加锡滑槽能够被连通于所述锡块出口的方式被保持于所述锡层成型装置的一侧，且所述加锡滑槽被连通于所述锡加热空间
- 成型设备
- [发明专利]原子层沉积设备-CN202080060543.6在审
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P·索恩宁;H·阿米诺夫;V·米库莱宁;P·J·索恩宁
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BENEQ有限公司
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2020-06-26
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2022-04-19
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C23C16/455
- 本发明涉及一种用于处理基材的原子层沉积设备(2)。该设备包括原子层沉积反应器(8)和连接到原子层沉积反应器(8)的一个或多个前驱体供应源(70,71,72,73)。设备(2)还包括设备外壳体(10,20,30,40)、设备通风排放连接件(4,6)以及一个或多个设备通风入口连接件(52)，原子层沉积反应器(8)和一个或多个前驱体源(70,71,72,73)设置在设备外壳体(10,20,30,40)内部，该设备通风排放连接件布置成从设备外壳体(10,20,30,40)的内部排放通风气体，该一个或多个设备通风入口连接件设置到设备外壳体(10,20,30,40)并布置成将通风气体提供到设备外壳体
- 原子沉积设备
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