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[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀工艺-CN201910163588.5在审
发明人：林进志 -专利权人：陕西坤同半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-05 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开是关于一种蒸镀设备及蒸镀工艺。该蒸镀设备包括：蒸镀腔室；防着板，设置于所述蒸镀腔室的内壁上；加热装置，设置于所述防着板上。该蒸镀工艺包括：提供一如上述所述的蒸镀设备；提供一待蒸镀基板，将所述待蒸镀基板放置于所述蒸镀设备的蒸镀腔室内，通过该蒸镀设备进行蒸镀处理。本公开延长了蒸镀设备持续工作的时间，一定程度上提升了蒸镀设备的稼动率。
一种设备工艺

[发明专利]蒸镀罩以及蒸镀设备-CN201910694403.3有效
发明人：贾松霖;陈营营 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2019-07-30 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀罩以及蒸镀设备，蒸镀罩用于蒸镀设备，蒸镀设备包括蒸镀源，蒸镀罩包括：遮挡件，遮挡件具有面向蒸镀源的遮挡面；清理部，设于遮挡面与蒸镀源之间，清理部能够相对于遮挡面运动以清理遮挡面。本发明提供的蒸镀罩，能够及时清理蒸镀罩上的杂质，提高蒸镀罩的使用稳定性，避免污染蒸镀设备，提高待蒸镀基板的蒸镀效率。
蒸镀罩以及设备

[发明专利]一种蒸镀设备-CN202110152215.5有效
发明人：何瑞亭;李晓康 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀设备，由于该蒸镀设备是在一蒸镀源外侧周缘围设第一蒸镀挡板，第一蒸镀挡板与蒸镀源之间的间隙很小，因此能够减小蒸镀设备中第一蒸镀挡板的面积和重量，也极大地减少了第一蒸镀挡板的部件和安装空间，这样设计能够在蒸镀设备运行时，避免部件间的碰撞或干涉，提高蒸镀设备作业的流畅性，也可以避免在运载待蒸镀基板时，大件蒸镀挡板影响机器运作，使待蒸镀基板上产生蒸镀印记不良。该蒸镀设备还对应蒸镀源设置了遮挡部，这种小巧轻便的挡板设计能够改善蒸镀设备挡板的固定点易于损坏的问题，进而避免蒸镀印记不良。
一种设备

[发明专利]蒸镀设备以及蒸镀方法-CN201811119290.6有效
发明人：杨锋 -专利权人：合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀设备以及蒸镀方法，属于显示器制备技术领域，其可至少部分解决现有蒸镀源与基板之间的距离比较小时蒸镀设备沉积的薄膜不均匀的问题。本发明的一种蒸镀设备，用于在基板上沉积薄膜，蒸镀设备包括：基板架，用于安装基板；蒸镀台，用于安装蒸镀源，蒸镀源用于将待蒸镀物质加热而形成蒸镀蒸汽；蒸镀腔室，基板架和蒸镀台以相对设置的方式安装于蒸镀腔室内，蒸镀腔室包括调节结构，调节结构用于在密封状态下调节蒸镀腔室内的空间的体积。
设备以及方法

[发明专利]蒸镀方法及蒸镀设备-CN201710055136.6有效
发明人：彭兆基;邱林;李倩;何麟;高峰 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀方法及蒸镀设备。上述蒸镀方法包括如下步骤：将蒸镀材料放置于蒸镀设备的蒸镀源中，将蒸镀源与待蒸镀基板相对设置，且蒸镀源的开口朝向待蒸镀基板；对蒸镀源进行加热至预设温度后，移动蒸镀源和/或待蒸镀基板，使蒸镀源相对于待蒸镀基板采用上述蒸镀方法进行蒸镀时，即使TS距离较小，由于蒸镀源相对于待蒸镀基板，在平行于待蒸镀基板的平面上移动的轨迹为波浪线，则shadow effect贡献度低、分布均匀且无周期性波动，不容易形成低视角G向mura，从而能够提高蒸镀PPI。此外，本发明还涉及一种可采用上述蒸镀方法的蒸镀设备。
方法设备

[发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法-CN201510438233.4有效
发明人：丁立薇;党鹏乐;朱晖;张小宝 -专利权人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2015-07-23 - 公布日： 2017-11-21 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法，用于蒸镀AMOLED基板，蒸镀设备包括基板载物台，用于承载AMOLED基板；蒸镀掩膜板，开设有作为蒸镀图案的空槽，蒸镀掩膜板压设于AMOLED基板；蒸发源装置，与基板载物台相邻，用于提供蒸镀材料；蒸镀阻挡装置，罩设于蒸镀掩膜板及蒸发源装置，并与蒸镀掩膜板及蒸发源装置形成蒸镀腔。上述蒸镀设备，蒸镀掩模板通过自身重量贴合于AMOLED基板，蒸发源装置提供的蒸镀材料在蒸发后由于蒸镀阻挡装置的反射而附着在AMOLED基板上。如此，在蒸镀过程中，蒸镀掩膜板其形状在蒸镀过程中不发生变化，从而避免因蒸镀掩模板及AMOLED基板倒置而蒸镀位置的偏差或混色。
设备方法

[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法-CN201910599323.X有效
发明人：饶勇;岳小非 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀方法。所述蒸镀设备包括：传送机构、第一蒸镀腔室和第二蒸镀腔室；其中，所述传送机构，被配置为将待蒸镀基板在所述第一蒸镀腔室和所述第二蒸镀腔室间传送；所述第一蒸镀腔室，被配置为在待蒸镀基板上形成第一蒸镀膜层；以及所述第二蒸镀腔室，被配置为在所述第一蒸镀膜层上形成第二蒸镀膜层。所述蒸镀设备及蒸镀方法能够降低蒸镀腔室温度，降低白点不良的概率。
一种设备方法

[发明专利]蒸镀方法及蒸镀设备-CN201810060024.4在审
发明人：肖冯俊树;李椿光;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2018-01-22 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法。所述蒸镀设备包括多个相互串联的蒸镀装置，每一所述蒸镀装置包括传送机构与蒸镀机构，所述传送机构采用所述蒸镀方法用于将所述玻璃基板投送于所述蒸镀机构中进行蒸镀。其中，所述蒸镀方法，用于蒸镀玻璃基板，包括如下步骤：根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息；交替投送具有不同结构的所述玻璃基板；依次识别交替投送的所述玻璃基板；按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀所述蒸镀设备通过所述蒸镀方法实现同时蒸镀两种不同产品类型的玻璃基板。
蒸镀玻璃基板蒸镀设备投送传送机构路径信息蒸镀装置产品类型预设串联

[发明专利]OLED蒸镀装置及系统-CN201810226892.5有效
发明人：焦浩 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种OLED蒸镀装置及系统，OLED蒸镀装置与控制装置电连接。OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备。腔体内设有两个或两个以上能够容纳蒸镀设备的腔室，各腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个蒸镀设备经过所有腔室后完成一次蒸镀过程。腔体内还包括移动机构。控制装置用于通过移动机构控制不同的蒸镀设备同时进入不同的腔室，并控制各蒸镀设备循环执行依次进入各腔室的动作。该OLED蒸镀装置及系统允许多个蒸镀设备同时运行，从而可以使得当前处于蒸镀状态的蒸镀设备内的有机材料耗尽后，即可自动继续更换下一个蒸镀设备进行蒸镀，从而提高了OLED大批量生产的效率。
蒸镀设备蒸镀装置腔室蒸镀控制装置体内移动机构控制循环执行移动机构有机材料电连接腔体耗尽容纳生产

[发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法-CN201510688878.3在审
发明人：黄俊淞;申永奇;叶岚凯 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2015-10-21 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明是关于一种蒸镀设备及蒸镀方法，属于真空蒸镀技术领域。所述蒸镀设备包括：基板、蒸镀腔及波纹管；所述蒸镀腔内设置有蒸镀源，所述蒸镀腔的侧壁设置有两个限制板；所述基板设置于所述蒸镀源的正上方，所述波纹管设置于所述蒸镀腔的底部。本发明在蒸镀腔的底部设置波纹管，通过波纹管的转动带动蒸镀腔上下移动，从而改变蒸镀源与限制板之间的相对高度，无需对蒸镀设备进行改造，即可满足不同有机材料的蒸镀条件，不仅明显地提高了设备灵活性，而且节省了时间及资源消耗
设备方法

[发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法-CN201410659080.1有效
发明人：张金中 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2014-11-18 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种蒸镀设备及蒸镀方法，属于真空蒸镀技术领域。其中，该蒸镀设备包括蒸镀腔和设置于所述蒸镀腔中的蒸发源，所述蒸镀腔中还设置有用于放置待蒸镀的基板的蒸镀基台，所述蒸发源的开口朝向所述蒸镀基台，所述蒸镀设备还包括：设置在所述蒸发源侧的阴极；设置在所述蒸镀基台侧的阳极；用于向所述蒸镀腔内输入惰性气体的惰性气体提供装置。本发明的技术方案能够提高蒸镀过程中待成膜物质的利用率。
设备方法

[发明专利]一种蒸镀设备及其应用方法-CN202210701056.4在审
发明人：曾苏伟;曾辉;孙凌霄 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种蒸镀设备及其应用方法，蒸镀设备包括蒸镀腔，其内部设有蒸镀基台和蒸镀源；所述蒸镀基台用以固定待蒸镀基板；所述蒸镀源包括至少两个蒸镀单元，所述蒸镀单元包括喷嘴，所述蒸镀单元通过所述喷嘴在蒸镀过程中在所述待蒸镀基板的表面形成镀层；其中，在所述蒸镀过程中，至少一个蒸镀单元与所述蒸镀基台的距离大于其他蒸镀单元与所述蒸镀基台的距离。本申请实施例的有益效果在于，本申请实施例的蒸镀设备及其应用方法通过在蒸镀时移动掺杂材料的蒸镀源，使其以固定速率逐渐远离待蒸镀基板，从而实现对待蒸镀基板上蒸镀膜层的渐变掺杂，能够精确控制膜层的厚度以及掺杂比
一种设备及其应用方法

[发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法-CN200410088841.9无效
发明人：周国庆 -专利权人：中华映管股份有限公司
申请日： 2004-11-05 - 公布日： 2006-05-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种蒸镀方法，适用于蒸镀设备，以将蒸镀源蒸镀至基板上。此蒸镀设备具有纯化室与蒸镀室，其中纯化室内设置有加热装置，而蒸镀室内设置有成膜装置。首先，提供蒸镀源于纯化室内，其中蒸镀源表面形成杂质。然后，通过加热装置加热蒸镀源，以使杂质成为气体而与蒸镀源分离。接着，将蒸镀源移至蒸镀室内，以通过成膜装置将蒸镀源蒸镀至基板上。因此，此蒸镀方法可在成膜之前除去杂质，以提供较佳之方法合格率。
设备方法

[发明专利]一种蒸镀设备-CN201711213508.X有效
发明人：马凯葓;孙力 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-11-27 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀设备，涉及显示技术领域。该蒸镀设备包括对基板进行蒸镀的多个蒸发源，还包括用于调节每个蒸发源蒸镀范围的隔板。该蒸镀设备通过调节隔板，可以实现蒸发源的同时分别蒸镀，还可以调节掺杂层的混合蒸镀比，提高了蒸镀设备的生产效率，简化了调整混合蒸镀比的操作工艺，实现了蒸发源的使用多样性，有利于蒸镀器件结构的开发。
蒸镀蒸镀设备蒸发源隔板操作工艺器件结构生产效率掺杂层对基板多样性开发

[发明专利]蒸镀源清洁设备及蒸镀系统-CN201910459263.1有效
发明人：方刚;陈策;王宝友;尹俊 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀源清洁设备及蒸镀系统。该蒸镀源清洁设备包括真空腔室、设置在真空腔室内的第一蒸镀源加热单元和第二蒸镀源加热单元，第一蒸镀源加热单元包括支撑部，支撑部用于放置至少一个点蒸镀源，第一蒸镀源加热单元内能够生成热辐射以对点蒸镀源进行清洁；第二蒸镀源加热单元与第一蒸镀源加热单元间隔分布，第二蒸镀源加热单元包括用于放置线蒸镀源或面蒸镀源的至少一个容置槽，容置槽能够产生热辐射对线蒸镀源或面蒸镀源进行清洁。本发明公开的蒸镀源清洁设备能够去除点蒸镀源、线蒸镀源以及面蒸镀源的杂质，不会对蒸镀腔室的工艺造成影响，进而可以提升蒸镀效率，提升蒸镀系统稼动率。
蒸镀源清洁设备系统

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