专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]系统系统方法-CN201710439046.7有效
  • 尹志中 - 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
  • 2017-06-12 - 2019-07-19 - C23C14/56
  • 本发明公开了一种系统系统方法,系统包括:至少一条线、第一传送轨道和托盘,每条线包括腔室,腔室包括多个子腔,多个子腔依次相连,腔室的一端形成有线入口、另一端形成有线出口,子腔内设有蒸发源组件;第一传送轨道穿设在线入口和线出口之间,第一传送轨道位于蒸发源组件的上方;托盘包括用于放置工件的托架,托盘可移动地设在第一传送轨道上以在线入口和线出口之间传送工件使蒸发源组件对工件进行根据本发明实施例的系统,优化了线的布局,简化了操作步骤,提高了空间利用率,减小了系统的整体占用空间和成本。
  • 系统方法
  • [实用新型]一种薄膜生产系统和真空机构-CN202123112538.6有效
  • 臧世伟 - 重庆金美新材料科技有限公司
  • 2021-12-10 - 2022-05-24 - C23C14/24
  • 本实用新型实施例提供了一种薄膜生产系统和真空机构,该系统包括真空机构、搬运机构以及水电镀机构,通过真空机构对待的薄膜进行,通过搬运机构用于对真空机构后的薄膜搬运至所述水电镀机构,水电镀机构用于对后的薄膜进行水电镀;本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以快速对薄膜上的金属进行增厚,也能够减少成本。另外,真空机构包括真空腔室,以及设置在所述真空腔室中的装置,该装置包含了两组薄膜部件,可以同时对两卷薄膜的双面进行,提高了薄膜生产效率且极大的减少成本。
  • 一种薄膜生产系统真空机构
  • [发明专利]源清洁设备及系统-CN201910459263.1有效
  • 方刚;陈策;王宝友;尹俊 - 昆山国显光电有限公司
  • 2019-05-29 - 2020-09-08 - C23C14/24
  • 本发明公开了一种源清洁设备及系统。该源清洁设备包括真空腔室、设置在真空腔室内的第一源加热单元和第二源加热单元,第一源加热单元包括支撑部,支撑部用于放置至少一个点源,第一源加热单元内能够生成热辐射以对点源进行清洁;第二源加热单元与第一源加热单元间隔分布,第二源加热单元包括用于放置线源或面源的至少一个容置槽,容置槽能够产生热辐射对线源或面源进行清洁。本发明公开的源清洁设备能够去除点源、线源以及面源的杂质,不会对腔室的工艺造成影响,进而可以提升效率,提升系统稼动率。
  • 蒸镀源清洁设备系统
  • [实用新型]一种对位系统装置-CN201621105664.5有效
  • 田川 - 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
  • 2016-10-08 - 2017-03-08 - C23C14/24
  • 本实用新型公开一种对位系统装置,涉及技术领域,为解决待基板因静电被吸附在冷却板上而导致装置的工作受到不良影响的问题。所述对位系统,包括基板载具、掩膜版载具和冷却板,冷却板内设置有分离件;对待基板进行时,待基板安装在基板载具上,掩膜版安装在掩膜版载具上,待基板位于冷却板的下方,掩膜版位于待基板的下方;分离件可与基板载具一起相对冷却板向下移动,使待基板与冷却板分离。分离件与基板载具一起向下移动,分离件向待基板施加向下的力,使待基板与冷却板分离,防止装置的工作受到不良影响。本实用新型提供的对位系统应用于装置中。
  • 一种对位系统装置
  • [发明专利]坩埚及系统-CN201710692335.8在审
  • 徐超 - 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
  • 2017-08-14 - 2018-02-13 - C23C14/24
  • 本发明提供一种坩埚以及一种包括所述坩埚的系统,所述坩埚包括坩埚本体和缠绕在所述坩埚本体四周的至少两个加热装置;所述坩埚本体包括至少两个筒状结构,每个所述筒状结构具有不同的直径,所述坩埚本体用于盛放材料;每个所述筒状结构对应设置一个所述加热装置,所述加热装置对所述对应筒状结构中的材料进行加热。本发明提供一种坩埚以及一种包括所述坩埚的系统,不仅可以有效改善目前系统坩埚横向和纵向温差过大的问题,而且可以减少材料的浪费,提高材料的利用率,降低工厂的生产成本。
  • 坩埚系统
  • [发明专利]一种向下式的系统及装置-CN202210054308.9在审
  • 孔令杰 - 合肥莱德装备技术有限公司
  • 2022-01-18 - 2022-06-03 - C23C14/24
  • 本发明公开了一种向下式的系统及装置,涉及OLED相关领域,现有OLED系统,一般为向上的系统,主要通过蒸发源将材料到基板上,从而形成薄膜装置,并最终产出器件,本系统,包括基板装载模块、有机模块、缓冲模块、有机掩膜板回收模块、金属模块、基板卸载模块和金属掩膜板回收模块,将加热装置由装置底部安置到了装置顶部,解决了传统向上技术过程基板与掩模板存在一定的间隙,影响成膜的均匀性
  • 一种向下系统装置

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