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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]蒸镀系统-CN201710241120.4有效
发明人：邹清华 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-04-13 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本发明公开了蒸镀系统。该蒸镀系统包括：送料装置，所述送料装置包括：送料装置壳体，所述送料装置壳体内部限定出送料空间；进料口，所述进料口设置在所述送料装置壳体上；出料口，所述出料口设置在所述送料装置壳体上且远离所述进料口；推进单元该蒸镀系统具有以下优点的至少之一：该蒸镀系统可以实现连续送料，进而提高生产效率，连续送料保证原料具有较好的一致性，无原料残留，且可以保持稳定的蒸发速率。
送料装置进料口蒸镀系统送料空间出料口壳体储料装置连续送料推进单元蒸发装置壳体内部生产效率嵌入蒸发残留移动保证

[发明专利]蒸镀系统-CN202110099836.1有效
发明人：方旭阳;冯士振;王煜;刘明星;王刚;甘帅燕 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀系统。该蒸镀装置包括相对设置的第一线圈和第二线圈；其中，第一线圈的平面与第二线圈的平面平行，第一线圈与第二线圈之间具有用于放置掩膜版的目标区域，掩膜版的延伸平面与第一线圈的平面平行；第一线圈中的第一电流的方向与第二线圈中的第二电流的方向相同
系统

[实用新型]蒸镀系统-CN201521063838.1有效
发明人：吴明忠;吴林海;张孝中;曾祥平;熊燕斌;吴建松;陆志刚;朱佳;郑海艳 -专利权人：海宁长宇镀铝材料有限公司
申请日： 2015-12-18 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀系统，其结构简化合理，保证了镀铝膜的生产质量，避免了不必要的膜材浪费，并保证镀铝膜质量，同时保护了镀铝辊，该蒸镀系统包括加热源、镀铝辊和铝丝传送装置，所述镀铝辊间隔一定距离设置在所述加热源上方
系统

[实用新型]蒸镀系统-CN201720339916.9有效
发明人：李晓康;何瑞亭 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-04-01 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀系统，包括承载台，具有一用于承载基板的承载面；固定结构，设置于所述承载台上，用于将基板固定于所述承载面上；取放结构，设置于所述承载台上与所述承载面相对的第一连接面上，能够与机器人手臂配合以实现所述承载台的翻转或运输
系统

[发明专利]蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法-CN201710439046.7有效
发明人：尹志中 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法，蒸镀系统包括：至少一条蒸镀线、第一传送轨道和托盘，每条蒸镀线包括蒸镀腔室，蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔，多个子蒸镀腔依次相连，蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口，子蒸镀腔内设有蒸发源组件；第一传送轨道穿设在蒸镀线入口和蒸镀线出口之间，第一传送轨道位于蒸发源组件的上方；托盘包括用于放置工件的托架，托盘可移动地设在第一传送轨道上以在蒸镀线入口和蒸镀线出口之间传送工件使蒸发源组件对工件进行蒸镀根据本发明实施例的蒸镀系统，优化了蒸镀线的布局，简化了操作步骤，提高了空间利用率，减小了蒸镀系统的整体占用空间和成本。
系统方法

[实用新型]蒸镀系统和蒸镀产线-CN201922353856.8有效
发明人：武启飞;廖良生;黄稳;徐飞;赵平;谢松涛 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供的蒸镀系统和蒸镀产线，包括金属蒸镀机构、有机蒸镀机构以及多个传送机构，通过将有机蒸镀机构所包括的多个有机蒸镀腔体依次首尾连通，将各传送机构分别设置于各有机蒸镀腔体中，传送正在进行有机蒸镀的基片，将金属蒸镀机构与有机蒸镀机构连通，以对有机蒸镀后的基片进行金属蒸镀，如此，简化了蒸镀系统的结构，降低了系统的造价成本。
系统蒸镀产线

[实用新型]蒸镀组件及蒸镀系统-CN201821868678.1有效
发明人：王浩田;陶敏;杨小翠 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀组件及蒸镀系统，涉及显示技术领域，采用该蒸镀组件进行蒸镀时，可有效防止掩膜板发生形变下垂，从而提高蒸镀材料蒸镀时的位置精度。该蒸镀组件，包括：蒸镀源；所述蒸镀源具有一蒸镀口；设置在所述蒸镀源上、且位于所述蒸镀口的蒸镀区域外侧的平整件；所述平整件用于在所述蒸镀源在掩膜板下方移动的过程中，对所述掩膜板朝向所述蒸镀源一侧的表面进行平整上述蒸镀组件及蒸镀系统用于蒸镀。
蒸镀蒸镀源蒸镀系统掩膜板平整件本实用新型蒸镀材料形变下垂平整移动

[发明专利]蒸镀结构、蒸镀系统及蒸镀结构的使用方法-CN201910069733.3有效
发明人：饶勇;李有亮;刘金彪;谭瑞;岳小非;罗楠;胡斌;仪修超;沈萌;加新星;肖鹏;李靖;晋亚杰 -专利权人：成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀结构、蒸镀系统及蒸镀结构的使用方法，属于显示技术领域。蒸镀结构包括：蒸镀坩埚、喷嘴和浮板，蒸镀坩埚用于盛放蒸镀源材料，蒸镀源材料的状态在受热后由液态变为气态；喷嘴设置在蒸镀坩埚的出口处，喷嘴用于向待蒸镀基板表面喷射呈气态的蒸镀源材料；浮板被配置为：漂浮在呈液态的蒸镀源材料的表面，且浮板与蒸镀坩埚的内壁之间具有间隙，浮板具有多个镂空结构，多个镂空结构被配置为：供呈气态的蒸镀源材料通过。本申请提高了在待蒸镀基板上形成的膜层的均一性。本申请用于蒸镀结构和蒸镀系统。
结构系统使用方法

[实用新型]一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构-CN202123112538.6有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构，该系统包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以快速对薄膜上的金属进行增厚，也能够减少成本。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置包含了两组薄膜蒸镀部件，可以同时对两卷薄膜的双面进行蒸镀，提高了薄膜生产效率且极大的减少成本。
一种薄膜生产系统真空机构

[发明专利]蒸镀源清洁设备及蒸镀系统-CN201910459263.1有效
发明人：方刚;陈策;王宝友;尹俊 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀源清洁设备及蒸镀系统。该蒸镀源清洁设备包括真空腔室、设置在真空腔室内的第一蒸镀源加热单元和第二蒸镀源加热单元，第一蒸镀源加热单元包括支撑部，支撑部用于放置至少一个点蒸镀源，第一蒸镀源加热单元内能够生成热辐射以对点蒸镀源进行清洁；第二蒸镀源加热单元与第一蒸镀源加热单元间隔分布，第二蒸镀源加热单元包括用于放置线蒸镀源或面蒸镀源的至少一个容置槽，容置槽能够产生热辐射对线蒸镀源或面蒸镀源进行清洁。本发明公开的蒸镀源清洁设备能够去除点蒸镀源、线蒸镀源以及面蒸镀源的杂质，不会对蒸镀腔室的工艺造成影响，进而可以提升蒸镀效率，提升蒸镀系统稼动率。
蒸镀源清洁设备系统

[实用新型]一种蒸镀对位系统及蒸镀装置-CN201621105664.5有效
发明人：田川 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-10-08 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀对位系统及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，为解决待蒸镀基板因静电被吸附在冷却板上而导致蒸镀装置的工作受到不良影响的问题。所述蒸镀对位系统，包括基板载具、掩膜版载具和冷却板，冷却板内设置有分离件；对待蒸镀基板进行蒸镀时，待蒸镀基板安装在基板载具上，掩膜版安装在掩膜版载具上，待蒸镀基板位于冷却板的下方，掩膜版位于待蒸镀基板的下方；分离件可与基板载具一起相对冷却板向下移动，使待蒸镀基板与冷却板分离。分离件与基板载具一起向下移动，分离件向待蒸镀基板施加向下的力，使待蒸镀基板与冷却板分离，防止蒸镀装置的工作受到不良影响。本实用新型提供的蒸镀对位系统应用于蒸镀装置中。
一种对位系统装置

[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀系统-CN201710692335.8在审
发明人：徐超 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-08-14 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀坩埚以及一种包括所述蒸镀坩埚的蒸镀系统，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体和缠绕在所述坩埚本体四周的至少两个加热装置；所述坩埚本体包括至少两个筒状结构，每个所述筒状结构具有不同的直径，所述坩埚本体用于盛放蒸镀材料；每个所述筒状结构对应设置一个所述加热装置，所述加热装置对所述对应筒状结构中的蒸镀材料进行加热。本发明提供一种蒸镀坩埚以及一种包括所述蒸镀坩埚的蒸镀系统，不仅可以有效改善目前蒸镀系统中蒸镀坩埚横向和纵向温差过大的问题，而且可以减少蒸镀材料的浪费，提高材料的利用率，降低工厂的生产成本。
坩埚系统

[发明专利]蒸镀图案检测系统及蒸镀图案检测方法-CN201710210595.7有效
发明人：洪执华 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀图案检测系统及蒸镀图案检测方法。本发明的蒸镀图案检测系统在现有的蒸镀图案检测系统上集成白光干涉显微镜，使用该蒸镀图案检测系统对基板上的蒸镀图案进行检测时，能够利用白光干涉显微镜获得基板上的蒸镀图案的二维及三维图像，根据二维及三维图像可以得到蒸镀图案膜厚不均匀区域的宽度范围，以用于评估基板上蒸镀阴影效应的严重程度，为减小阴影效应提供数据支持。
图案检测系统方法

[发明专利]一种向下式的蒸镀系统及装置-CN202210054308.9在审
发明人：孔令杰 -专利权人：合肥莱德装备技术有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种向下式的蒸镀系统及装置，涉及OLED蒸镀相关领域，现有OLED蒸镀系统，一般为向上的蒸镀系统，主要通过蒸发源将材料蒸镀到基板上，从而形成薄膜装置，并最终产出器件，本系统，包括基板装载模块、有机蒸镀模块、缓冲模块、有机掩膜板回收模块、金属蒸镀模块、基板卸载模块和金属掩膜板回收模块，将蒸镀加热装置由装置底部安置到了装置顶部，解决了传统向上蒸镀技术蒸镀过程基板与掩模板存在一定的间隙，影响成膜的均匀性
一种向下系统装置

[发明专利]一种连续蒸镀系统-CN201710718862.1有效
发明人：徐超 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种连续蒸镀系统，该系统包括：蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚内存储蒸镀材料，所述蒸镀坩埚顶部设有蒸镀出口；存储坩埚，所述存储坩埚内存储蒸镀材料；传输管，所述传输管的一端连接所述存储坩埚，另一端连接所述蒸镀坩埚；阀门，所述阀门设置在所述传输管的管路上；温度控制装置，所述温度控制装置与所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管连接，用于控制所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管的温度。本发明的连续蒸镀系统避免了传统的降温添料升温工序，降低了基板发生污染的可能，也提高了生产效率，降低了生产成本。
坩埚蒸镀存储传输管温度控制装置一端连接蒸镀材料蒸镀系统阀门设置生产效率升温工序传统的阀门基板生产成本污染出口

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