“蒸镀掩膜”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1050448个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]掩膜板-CN201922021436.X有效
发明人：肖志慧;宋平;王亚玲;单为健;杨志业 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板。掩膜板包括掩膜区，具有多个开口；夹持区，位于所述掩膜区两侧；过渡区，位于所述夹持区与所述掩膜区之间，且与所述夹持区和所述掩膜区邻接；其中，所述过渡区的宽度自所述夹持区向所述掩膜区趋于增大；所述宽度为所述掩膜板在垂直于其张网方向和蒸镀方向上的尺寸本实用新型提供的掩膜板，因过渡区的宽度自夹持区向掩膜区趋于增大，可在掩膜板张网时，实现拉力从夹持区向掩膜区的缓慢过渡，降低了夹持区与掩膜区连接处的应力集中，避免掩膜板的损坏，从而避免了在掩膜板张网时产生褶皱，整体提高了掩膜板的蒸镀精度。
掩膜板

[发明专利]大尺寸掩膜基板的制作方法-CN201610352702.5在审
发明人：唐军 -专利权人：唐军
申请日： 2016-05-25 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： H01L51/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种大尺寸掩膜基板的制作方法，包括：提供多条横向膜片和多条纵向膜片；将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置，以形成矩阵分布多个方形的蒸镀孔；通过张紧机将纵横交错布置的所述横向膜片和所述纵向膜片张紧，使得所述蒸镀孔的尺寸达到预定值；采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定，以形成所述掩膜基板。根据本发明提供的大尺寸掩膜基板的制作方法，可以形成大尺寸的掩膜基板，其取材方便，成本低，工艺简单，能够满足大尺寸显示器件的要求。此外，形成的掩膜基板上表面的平面度更高，达到更好的蒸镀效果，提高产品良率。
尺寸掩膜基板制作方法

[发明专利]掩膜板-CN201711249267.4有效
发明人：农艳菲;龚建国;冉应刚;吴俊雄;王衣可;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G03F1/68 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板，包括：空闲区和至少一个有效蒸镀区，空闲区设置于有效蒸镀区的外侧；至少一个有效蒸镀区开设有多个蒸镀开口，各蒸镀开口均匀分布设置；有效蒸镀区与空闲区之间还设置有过渡区，过渡区包围有效蒸镀区设置，过渡区的厚度小于有效蒸镀区的厚度，且小于空闲区的厚度。通过在有效蒸镀区和空闲区之间设置过渡区，由于该过渡区的厚度相对于有效蒸镀区以及空闲区的厚度更小，使得过渡区的强度较小，当在掩膜板两端施加拉力时，在力的传递过程中，拉力受到的反作用逐渐减小，使得空闲区到有效蒸镀区的变形能平缓过渡，有效减小褶皱，减小有效蒸镀区的形变，使得蒸镀效果更佳，从而提高蒸镀的产品良率。
掩膜板

[发明专利]一种掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜的方法-CN202211650636.1在审
发明人：李晓东;程保义;铁剑锐;梁爽;欧伟;杜永超;肖志斌;李昂 -专利权人：中电科蓝天科技股份有限公司;天津恒电空间电源有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜的方法，属于半导体制造技术领域，其特征在于，包括：S1、采用器件工艺，使得太阳电池达到待蒸镀减反射膜的状态；S2、将掩膜材料与焊点粘接；S3、进行真空环境下的减反射膜蒸镀；S4、从真空室内取出太阳电池；S5、通过有机溶剂溶解或热解或光解解除掩膜材料与焊点的连接；S6、若采用热解或者光解法解除掩膜材料与焊点的连接，掩膜材料继续用机器吸盘移除；S7、获得焊点处无减反射膜的电池晶圆
一种掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜方法

[发明专利]一种OLED蒸镀用掩膜板及制备方法-CN201710571551.7有效
发明人：王志东;吕振华;邱云 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2017-07-13 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种OLED蒸镀用掩膜板及制备方法，用以提高OLED显示产品的分辨率，以及扩大OLED蒸镀用掩膜板的选材范围，本发明提供的一种OLED蒸镀用掩膜板，包括：基板，所述基板上设有呈矩阵排列的多个开口
一种 oled 蒸镀用掩膜板制备方法

[发明专利]基于OLED/OLEC发光原理制作实时掩膜版的方法-CN201510755821.0在审
发明人：王博慧;佘亚军;王楠;阎毓杰;徐文斌 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七一九研究所
申请日： 2015-11-09 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： G03F1/68 文献下载
摘要：本发明公开了基于OLED/OLEC发光原理制作实时掩膜版的方法，采用该方法能够实现无需更换掩膜实现多掩膜套印、精度高、精度可调、灰度可控制；底层为基板，在基板上通过传统光刻技术、印刷技术和刻蚀技术制作透明阳极阵列，在透明阳极阵列上通过旋镀、平镀等方法制作空穴注入层；待空穴注入层干透后，通过有机长链分子材料印刷技术或者有机小分子材料蒸镀技术制作有机发光层；在有机发光层上通过旋镀、平镀等方法制作电子传输层；在电子传输层干透后，通过金属蒸镀技术或金属溅射技术制作阴极阵列，此阵列的排列方向与透明阳极阵列排列方向相垂直；最后在整个OLED掩膜版阴极阵列上覆盖一层密封膜。
基于 oled olec 发光原理制作实时掩膜版方法

[发明专利]一种开口掩膜板-CN201811197777.6在审
发明人：徐鹏 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种开口掩膜板，涉及显示技术，该开口掩膜板包括多个单元，每个单元均包括半刻蚀部分和实材保留部分，在开口掩膜板的至少一个单元中，所述实材保留部分位于该单元的开口区域四周，所述半刻蚀部分位于该单元所对应的基板上的凸出膜层处由于实材保留部分位于开口区域四周，使得在蒸镀喷淋时，蒸镀材料进入开口掩膜板覆盖区域的面积更小，从而减小开口掩膜板的外Shadow效应。
掩膜板开口实材开口区域半刻蚀保留凸出覆盖区域蒸镀材料基板减小膜层喷淋掩膜蒸镀申请

[发明专利]蒸镀掩膜、蒸镀掩膜用掩膜构件及蒸镀掩膜的制造方法-CN201680083294.6有效
发明人：竹井日出夫;崎尾进;岸本克彥 -专利权人：鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：提供可以完全除去开口部内的树脂膜的蒸镀掩膜、其制造方法及蒸镀掩膜用掩膜构件。在树脂膜(11)的一侧配置用于形成开口部(11a)图案的激光的照射源，在树脂膜(11)的另一侧设置反射从激光的照射源照射的激光的波长的光的反射膜(30)，通过反射膜(30)反射的激光被利用于树脂膜(11
蒸镀掩膜蒸镀掩膜用掩膜构件制造方法

[发明专利]蒸镀用掩膜板装置及其操作方法-CN201910375487.4有效
发明人：谭伟;姜亮 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-05-07 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开一种蒸镀用掩膜板装置及其操作方法，所述蒸镀用掩膜板装置包括一第一贴附板、一掩膜板及一第二贴附板，其中所述第一贴附板配置用以贴附在所述掩膜板的一下表面，所述掩膜板的一上表面配置用以贴附在所述基板的一下表面，所述第二贴附板配置用以贴附在所述基板的一上表面，并用以对所述基板下方的所述掩膜板提供一吸引力，以将所述掩膜板保持固定在所述基板上。
蒸镀用掩膜板装置及其操作方法

[发明专利]掩膜版及其制备方法和蒸镀装置-CN202110372973.8有效
发明人：魏振业;李瑞涛;曾诚;张宏伟;孙震;马璐蔺 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种掩膜版及其制备方法和蒸镀装置，其中，掩膜版包括：本体；功能结构层，设于本体的一侧表面，功能结构层包括涂料前驱体层，涂料前驱体层包括含氟聚合物以及分散于含氟聚合物中的预处理后的微球颗粒本公开实施例的技术方案，降低了蒸镀工艺过程中有机材料在掩膜版上附着的概率，提高了屏幕产品的分辨率和良率；并且，有利于降低掩膜版的清洗难度，提高蒸镀工艺的加工效率。
掩膜版及其制备方法装置

[发明专利]用于掩膜板的辅助配件及掩膜板组件-CN201910194867.8有效
发明人：范柳彬;沈阳 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2019-03-14 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于掩膜板的辅助配件及掩膜板组件，其中，辅助配件包括：支撑条，用于安装于掩膜板上；至少两个遮挡部，设置在支撑条上，且与支撑条可拆卸连接，用于遮挡掩膜板上的部分蒸镀开口；其中，至少两个遮挡部通过在支撑条的延伸方向上移动，以与不同的掩膜板配合，使得发光材料在经被遮挡的蒸镀开口沉积在预设区域时形成异形显示区。通过上述方式，本申请能够提高掩膜板的辅助配件的使用效率，降低生产成本。
用于掩膜板辅助配件组件

[发明专利]掩膜装置及蒸镀设备-CN202211449309.X在审
发明人：许灿宏 -专利权人：乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开一种掩膜装置及蒸镀设备，其中，掩膜装置包括掩膜版、挡板机构、检测件和第一控制器，掩膜版贯穿设置有第一开口，第一开口内设有多个掩膜条，并形成有多个蒸镀区域，挡板机构设置在掩膜版的下表面，挡板机构包括底座本发明的掩膜装置能够通过检测件检测玻璃基板是否破裂和是否脱落，在玻璃基板脱落前，挡板能够自动伸出安装槽外并封堵第二开口，以承接掉落的玻璃基板，从而防止玻璃基板掉落在蒸镀设备内，无需停机清理玻璃基板，有利于提高生产效率
装置设备

[发明专利]一种掩膜组件、蒸镀装置及OLED优化方法-CN202010802804.9在审
发明人：王江南;张亮;张川;徐蒙蒙;史晓波;冯敏强;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀工艺领域，公开一种掩膜组件、蒸镀装置及OLED优化方法。所述掩膜组件包括承载盘、挡片和驱动组件，承载盘用于放置基片，承载盘上设置有开口，开口用于将基片的待沉积区域露出，挡片用于遮挡开口，驱动组件与挡片连接，用于带动挡片按照预设动作或操作指令将基片露出，以使待沉积材料在基片的露出区域沉积成膜所述蒸镀装置包括上述的掩膜组件。所述OLED优化方法采用上述的掩膜组件。本发明可以连续获得多个厚度的OLED器件，操作简单方便，无需反复切换掩膜板，可以一次性实现多个不同OLED膜层厚度的试验条件验证，能够高效快速地优化OLED膜层的厚度尺寸，方便快速确定最佳试验条件，减少试验所需时间
一种组件装置 oled 优化方法

[发明专利]选择区域外延自脉动DFB激光器的制作方法-CN201110415079.0有效
发明人：张灿;朱洪亮;梁松;马丽 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2011-12-13 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： H01S5/12 文献下载
摘要：一种选择区域外延自脉动DFB激光器的制作方法，包括如下步骤：步骤1：在InP衬底上制作两条介质掩膜图形，该两条介质掩膜图形分别包括A段、B段和过渡区；步骤2：在制作有介质掩膜图形的衬底上外延生长多量子阱有源区；步骤3：在多量子阱有源区上制作均匀光栅；步骤4：腐蚀去掉介质掩膜图形对应的介质掩模，在光栅层上依次生长InP包层和电接触层；步骤5：在介质掩膜图形的A段和B段之间刻蚀电隔离区，刻蚀深度到达InP包层的表面；步骤6：电接触层上刻蚀脊波导结构；步骤7：在脊波导结构上蒸镀正面电极；步骤8：将InP衬底减薄，在减薄的InP衬底背面蒸镀背面电极；步骤9：在管芯一端蒸镀抗反射薄膜，另一端蒸镀高反射膜，完成自脉动器件管芯的制作
选择区域外延脉动 dfb 激光器制作方法

[实用新型]一种掩膜组件及蒸镀装置-CN202021659215.1有效
发明人：王江南;张亮;张川;徐蒙蒙;史晓波;冯敏强;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸镀工艺领域，公开一种掩膜组件及蒸镀装置。所述掩膜组件包括承载盘、挡片和驱动组件，承载盘用于放置基片，承载盘上设置有开口，开口用于将基片的待沉积区域露出，挡片用于遮挡开口，驱动组件与挡片连接，用于带动挡片按照预设动作或操作指令将基片露出，以使待沉积材料在基片的露出区域沉积成膜所述蒸镀装置包括上述的掩膜组件。本实用新型可以连续获得多个厚度的OLED器件，操作简单方便，无需反复切换掩膜板，可以一次性实现多个不同OLED膜层厚度的试验条件验证，能够高效快速地优化OLED膜层的厚度尺寸，方便快速确定最佳试验条件，
一种组件装置