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[发明专利]一种钨粉用超长大功率全自动装卸舟氢气钼丝炉-CN202011523047.8在审
发明人：刘邵生;李虹;郭彬;黄赣军;李文凯;张晶 -专利权人：赣州博立科技有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： B65G37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种钨粉用超长大功率全自动装卸舟氢气钼丝炉，包括装料合舟装置、推舟器、双舟，装料合舟装置、推舟器之间设置有送舟器，推舟器的右端侧设置有加热炉体，加热炉体的右端依次设置有风冷段、第一水冷段、第二水冷段，第二水冷段的右端设置有出舟器，出舟器下端设置有上部轨道，出舟器和上部轨道间设置有第一升降机，出舟器推送双舟进入第一升降机，第一升降机把双舟提升到上部轨道，上部轨道把双舟自动传送到输送轨道，由人工将双舟钨粉卸至卸料破碎机构，同时空舟放回空舟轨道自动传送入第二升降机中，送舟器下降高度返回装料合舟装置进入下一循环。
一种钨粉用超长大功率全自动装卸氢气钼丝炉

[发明专利]一种玻璃钝化新型石英舟-CN201910948924.7在审
发明人：崔文荣 -专利权人：江苏晟驰微电子有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃钝化新型石英舟,包括石英舟机构，在石英舟机构上设有一级石英舟支架，石英舟槽，一级石英舟，主支架，二级石英舟，石英舟机构上的一级石英舟，一级石英舟的石英舟槽倾角为80度，进行玻璃烧结时需要通入较大流量的气体，调整硅片的角度后，降低气流对硅片的冲击，降低硅片的损伤，而且石英舟槽宽为10mm，定期清理舟槽中残留的玻璃粉，降低硅片边缘粘在石英舟上的几率，该技术方案有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了产品钝化的成本
石英舟硅片玻璃钝化玻璃烧结定期清理硅片边缘硅片破碎新型石英玻璃粉大流量良品率主支架槽宽钝化支架舟槽残留损伤概率

[发明专利]一种扩散硼淀积新型石英舟-CN201910949036.7在审
发明人：崔文荣 -专利权人：江苏晟驰微电子有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种扩散硼淀积新型石英舟,包括石英舟本体，在石英舟本体上设有一级舟槽支架，底部支架，一级石英舟槽，二级石英舟槽，一级石英舟槽与二级石英舟槽上均设有舟槽槽口，舟槽槽口的倾角为88度，当舟槽槽口的入口倾角为88度的时候，有效均衡气流，改善淀积的均匀性，并减少粘舟达到降低碎片的目的，该硼淀积的石英舟舟槽角度进行调整后，工艺气体可以将部分副产物带走，有效提高了均匀性，降低粘片的问题，大大降低了硼扩工艺的成本。
石英舟舟槽槽口淀积均匀性底部支架工艺气体入口倾角新型石英有效均衡副产物粘片支架扩散

[实用新型]一种玻璃钝化新型石英舟-CN201921668540.1有效
发明人：崔文荣 -专利权人：江苏晟驰微电子有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种玻璃钝化新型石英舟,包括石英舟机构，在石英舟机构上设有一级石英舟支架，石英舟槽，一级石英舟，主支架，二级石英舟，石英舟机构上的一级石英舟，一级石英舟的石英舟槽倾角为80度，进行玻璃烧结时需要通入较大流量的气体，调整硅片的角度后，降低气流对硅片的冲击，降低硅片的损伤，而且石英舟槽宽为10mm，定期清理舟槽中残留的玻璃粉，降低硅片边缘粘在石英舟上的几率，该技术方案有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了产品钝化的成本
一种玻璃钝化新型石英

[实用新型]改进蒸发舟-CN201721920906.0有效
发明人：严佐毅;刘文卿;张龙;张丽 -专利权人：安徽金美新材料科技有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本专利提出了一种改进蒸发舟，所述蒸发舟包括容置槽，所述蒸发舟为钼舟或钨舟中的一种，所述蒸发舟上涂覆有一多层结构的复合涂层，所述的复合涂层由若干不同的材料按一定顺序组合而成，本专利所述的改进蒸发舟可以防止金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部，造成的变形或形成凹坑，同时可以防止金属溶液腐蚀舟体，延长蒸发舟的寿命。
蒸发舟复合涂层钨舟钼舟金属溶液滴改进多层结构金属溶液顺序组合容置槽凹坑涂覆舟体变形腐蚀

[实用新型]方舟结构-CN201921179559.X有效
发明人：林佳继;高忠祥;刘群;朱太荣;林依婷 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请日： 2019-07-25 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了方舟结构，包括第一舟板、第二舟板；第一舟板、第二舟板间隔排布；第一舟板、第二舟板之间设置支撑柱;第一舟板、第二舟板相应位置上设置放置加工产品的凹槽,支撑柱设置在第一舟板、第二舟板的边角位置，且采用绝缘材料；本实用新型提供了一种结构简单、舟板之间形成加强的电场的方舟结构。
方舟结构

[实用新型]一种太阳能电池石墨舟-CN201420257816.8有效
发明人：张辉;杨红冬;刘仁中;张斌;邢国强 -专利权人：奥特斯维能源（太仓）有限公司
申请日： 2014-05-20 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池石墨舟，包括两个以上的舟叶，舟叶间距为渐变式结构，舟叶间距由石墨舟最外侧舟叶向石墨舟最中心舟叶依次减小：舟叶间距从石墨舟最外侧舟叶的一侧到石墨舟最中心舟叶分别用D₁、D₂、D₃...D_n表示，舟叶间距从石墨舟最外侧舟叶的另一侧到石墨舟最中心舟叶分别用D₁_{本实用新型很好地改善了石墨舟的镀膜均匀性，并解决了现有石墨舟镀膜存在的外侧舟叶膜厚偏厚、内侧舟叶膜厚偏薄的问题。}
一种太阳能电池石墨

[发明专利]一种钨粉生产全自动送料装置-CN201510365876.0在审
发明人：周珉;于海武;赵海彬;方世辉;汤锡明;张凤国 -专利权人：常州先进制造技术研究所
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2015-09-02 - 主分类号： B22F9/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种钨粉生产全自动送料装置，包括自动叠舟机构、自动送舟机构和自动排舟进舟机构；自动叠舟机构安装在自动送舟机构上，自动排舟进舟机构与自动送舟机构相连接，自动排舟进舟机构与钨粉还原炉相连接。由于生产工艺需要钨粉舟皿有大小两种规格，在按照小舟皿-大舟皿的顺序分别装填完钨粉原料后，由皮带线对小舟皿、大舟皿进行自动传送，当移动至自动叠舟机构下方时，进行小舟皿、大舟皿叠靠工作后，继续移动至自动排舟进舟机构中的工装内；自动排舟进舟机构通过多气缸模组交互推动装载钨粉舟皿的工装至指定的钨粉还原炉。
一种生产全自动装置

[发明专利]一种太阳能电池石墨舟及其镀膜方法-CN201410212754.3有效
发明人：张辉;杨红冬;刘仁中;张斌;邢国强 -专利权人：奥特斯维能源（太仓）有限公司
申请日： 2014-05-20 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池石墨舟及其镀膜方法，太阳能电池石墨舟，包括两个以上的舟叶，舟叶间距为渐变式结构，舟叶间距由石墨舟最外侧舟叶向石墨舟最中心舟叶依次减小：舟叶间距从石墨舟最外侧舟叶的一侧到石墨舟最中心舟叶分别用D₁、D₂、D₃...D_n表示，舟叶间距从石墨舟最外侧舟叶的另一侧到石墨舟最中心舟叶分别用D_{1舟的镀膜均匀性，并解决了现有石墨舟镀膜存在的外侧舟叶膜厚偏厚、内侧舟叶膜厚偏薄的问题。}
一种太阳能电池石墨及其镀膜方法

[实用新型]一种石英舟装载框-CN202222780505.7有效
发明人：左国军;余兴梅;汤和平;万红朝 -专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B08B11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及光伏领域，具体涉及一种石英舟装载框。本实用新型提供了一种石英舟装载框，包括一种石英舟装载框，包括：框本体，所述框本体内适于放置一舟托，所述舟托内适于放置若干石英舟；以及所述框本体两端内壁分别开设有若干限位槽，所述舟托两端与所述限位槽相对应石英舟装载框相比于常见的石英舟舟托，容量大大增加，如用现有技术的石英舟装载框，则仅可放置6个石英舟，大大限制了石英舟清洗设备的产能。
一种石英装载

[实用新型]热蒸发舟-CN200620095828.0无效
发明人：高希存 -专利权人：南昌大学
申请日： 2006-03-24 - 公布日： 2007-10-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种热蒸发舟包括舟体，舟体中部为物料凹槽，舟体的两侧设有挡板，挡板的两端端部为斜坡状，缓冲板放置在舟体的两挡板之间，缓冲板上开有通孔，舟盖的中部设有凹槽，凹槽上开有通孔，舟盖可放置在舟体上。本实用新型的热蒸发舟由于在舟体的两侧设置挡板及增加了缓冲板、舟盖，因此在使用时，物料经过缓冲板和舟盖的作用，不会四处乱溅，还可通过缓冲板和舟盖调节蒸发速度，使物料缓慢释放。
蒸发

[发明专利]一种改进的钼舟-CN201510556889.6在审
发明人：丁勇;余春林;倪欣;丁艳萍 -专利权人：泰州市贝斯特钼制品有限公司
申请日： 2015-09-02 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种改进的钼舟，包括舟舱，舟舱的底部和侧壁内设有加强筋，舟舱上设有上盖，上盖两侧设有包围在舟舱外的折边结构，折边结构上设有固定孔，舟舱的侧壁上设有与固定孔对应的插孔，固定孔和插孔形成的固定结构中设有插件本发明达到的有益效果是：此钼舟结构简单，使用方便，能有效地防止原料溅出钼舟，保证了成品的质量；且钼舟的舟舱和钼舟的侧壁内设有相互交叉的加强筋，可以保证钼舟的强度，延长了钼舟的使用寿命；钼舟的上盖与舟舱的侧壁之间通过固定孔、插孔以及插件形成了对上盖与舟舱之间的连接，保证了舟舱与上盖之间的密封性。
一种改进

[发明专利]石墨舟装卸片机及硅片装卸方法-CN202310715595.8在审
发明人：张勇;周宏业;胡艳东;左晶;罗宁 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨舟装卸片机及硅片装卸方法，石墨舟装卸片机包括接驳机构和硅片装卸机构，接驳机构上设置有第一石墨舟输送组件，硅片装卸机构上设置有机器人、石墨舟循环输送组件和石墨舟缓存组件，石墨舟循环输送组件围绕机器人设置，石墨舟循环输送组件包括第一装卸工位和第二装卸工位，第一装卸工位和第二装卸工位间隔设置，且位于机器人的相对两侧，石墨舟缓存组件设于石墨舟循环输送组件一侧，用于接收石墨舟循环输送组件上的石墨舟，第一石墨舟输送组件用于输送石墨舟至石墨舟循环输送组件以及从石墨舟缓存组件上接收石墨舟，机器人用于给石墨舟进行硅片装卸。
石墨装卸硅片方法

[发明专利]一种循环式连续规模化石墨烯薄膜制备装置-CN201610478340.4有效
发明人：李占成;史浩飞;高翾;张永娜;黄德萍;姜浩;于本文 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种循环式连续规模化石墨烯薄膜制备装置，包括高温工艺腔、低温冷却腔A、低温冷却腔B、样品舟A和样品舟B，沿低温冷却腔A、高温工艺腔和低温冷却腔B的两侧内壁中部分别水平固定设置有滑轨，样品舟A和样品舟B的两侧均分别对应滑轨转动连接有滑轮组，样品舟A和样品舟B通过各自两侧的滑轮组沿滑轨滑动；低温冷却腔A和低温冷却腔B内分别设有结构一致的推舟装置A和推舟装置B，推舟装置A和推舟装置B上分别可拆卸的连接有取样杆A和取样杆B，取样杆A远离推舟装置A的一端可由推舟装置A带动连接或脱离样品舟A，取样杆B远离推舟装置B的一端可由推舟装置B带动连接或脱离样品舟B。有益效果是增大样品舟载重量等。
一种循环连续规模化石墨薄膜制备装置

[发明专利]一种管式PECVD预热系统实验装置-CN202010442305.3有效
发明人：肖洁;李明;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式PECVD预热系统实验装置，包括预热箱、预热推舟机构、舟体转移机构和转移支撑架，预热箱设于炉体柜的一侧，预热推舟机构包括推舟导轨和推舟杆组，推舟导轨固定在净化台一侧，推舟导轨上设有推舟滑块，推舟杆组一端固定在推舟滑块上，另一端悬空并且朝向预热箱，推舟杆组上设有可在推舟杆组伸入预热箱之后关闭预热箱入口的预热箱门，转移支撑架固定在净化台上，舟体转移机构设于转移支撑架上，舟体转移机构包括舟体抓手、承重底座和升降组件，转移支撑架上设有转移导轨，升降组件设于承重底座上，升降组件与舟体抓手连接，承重底座可移动的设于转移导轨上。本发明具有可以快速验证石墨舟预热方案的可行性的优点。
一种 pecvd 预热系统实验装置

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