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- [发明专利]用于光刻机的浸没自适应密封控制装置-CN200810121871.3有效
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付新;陈晖;陈文昱;杨华勇
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浙江大学
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2008-10-21
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2009-04-08
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G03F7/20
- 本发明公开了一种用于光刻机的浸没自适应密封控制装置。浸没自适应密封控制装置是在投影透镜组和衬底之间设置的装置，由密封构件和自适应密封件组成。当液体由于衬底牵拉形成对自适应密封件冲击时，该结构能够吸收高速运动液体形成的冲击，并将其转化为增强密封的动力；反之，当衬底牵拉液体远离自适应密封件之时，该结构内部预存的液体将跟随进入缝隙流场，避免由于边界液体的缺失引起的气泡卷吸，同时，内部预存液体的减少将降低自适应密封件的密封动力，泄漏的液体由于受到阻碍的减少而跟随衬底回流到缝隙流场内部。浸没自适应密封控制装置的液体输送方式采用负压回收、注液端自由流动，避免了注液与回收压力不协调导致的流场波动。
- 用于光刻浸没自适应密封控制装置
- [实用新型]一种自适应密封球阀-CN202320972350.9有效
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张青松;周溶华;杜磊;施海峰;李玉龙;张利维
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宁波市天基隆智控技术有限公司
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2023-04-25
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2023-10-13
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F16K5/06
- 本实用新型公开一种自适应密封球阀，包括阀体、阀杆和阀球，阀球转动设置在阀体内，阀杆一端与阀球相连接，另一端穿出阀体，阀球的两侧均设置有阀座组件，阀体内部设置有安装槽，阀座组件包括自适应波片、压紧机构和中空的阀座本体，自适应波片设置有活动沿和固定沿，阀座本体设置有与阀球的球面相配合的密封面，阀座本体与自适应波片的活动沿密封固定，自适应波片的固定沿与阀体密封固定，压紧机构用于压紧阀座本体；通过设置的压紧机构可保障阀座本体压紧密封贴合在阀球的球面，保障球阀的密封性。设置的自适应波片具有形变能力，可随着阀座本体的移动而形变，从而使得阀座本体、自适应波片与阀体之间的密封性能可靠。
- 一种自适应密封球阀
- [发明专利]光纤光缆渗水检测装置-CN202011183848.4在审
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何远炳
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何远炳
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2020-10-29
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2021-02-26
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G01N15/08
- 本发明公开了光纤光缆渗水检测装置，包括底座，所述底座上端上端设置有光缆支撑座，所述光缆支撑座一侧设置有自适应固定机构，所述自适应固定机构远离光缆支撑座的一端设置有自适应密封结构，所述自适应密封结构远离自适应固定机构的一端设置有水压自动平衡机构，所述光缆支撑座内穿过设置有待检光缆，所述待检光缆中部和后端设置有水浸检测传感器；本发明公开的自适应固定机构可自动夹紧待检光缆，且可适应不同规格粗细的光缆的夹紧，使光缆的固定非常简便，自适应密封结构可将待检光缆和水压自动平衡机构之间密封，且能适应不同规格粗细的光缆的密封，所述水压自动平衡机构用于保持光缆受到的水压恒定，不需要人工加水，减少了人工，同时避免了水泄漏。
- 光纤光缆渗水检测装置
- [实用新型]自适应密封阀-CN201320094135.X有效
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赵德峰
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大连元利流体技术有限公司
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2013-03-01
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2013-09-25
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F16K31/122
- 一种自适应密封阀，属于流体介质通断控制领域。这种自适应密封阀的左右端盖、缸体、阀芯、密封座采用同轴式结构，密封位置采用浮动式密封座，在阀芯动作时，浮动头随阀芯的偏向自动对中密封座，密封座前端面自动找正阀芯前端面，匹配其相对位置，实现阀芯与密封垫完全线接触，形成完整密封。解决了固定式金属密封加工精度要求过高的缺陷及固定式塑料软密封不能使用在高压、高污染场合的缺陷，并能很好的解决固定式密封性不好的问题，该密封阀具有耐高压、抗污染、寿命长、密封严等特点，广泛适用于高压、高污染介质的场合
- 自适应密封
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