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[发明专利]带侧壁保护的腔体制造方法-CN201110272065.8无效
发明人：夏佳杰;张挺;邵凯 -专利权人：上海先进半导体制造股份有限公司
申请日： 2011-09-14 - 公布日： 2011-12-21 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种带侧壁保护的腔体制造方法，包括：提供硅基底，在其上形成第一保护层；刻蚀第一保护层，形成多个窗口；刻蚀硅基底，在其中形成多个浅槽；在第一保护层表面和浅槽侧壁及底部淀积第二保护层；刻蚀第一保护层表面和浅槽底部的第二保护层，残留在浅槽侧壁上的第二保护层形成侧壁保护层；刻蚀浅槽，在硅基底中形成多个深槽；腐蚀多个深槽，在硅基底内部形成腔体；将侧壁保护层全部氧化，将腔体完全封闭；将第一保护层去除。此外，本发明还提供另一种带侧壁保护的腔体制造方法。本发明通过淀积重掺杂的多晶硅或者硅的氧化物的方式，在浅槽侧壁形成侧壁保护层，在后续的腔体腐蚀的过程中保护浅槽侧壁不受腐蚀，最终密封形成所需的腔体。
侧壁保护体制方法

[发明专利]腔体侧壁水管接头的一体压铸方法-CN201810579234.4有效
发明人：曹世梦 -专利权人：常州巨石新能源科技有限公司
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： B22D17/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种腔体侧壁水管接头的一体压铸方法，包括以下步骤：S1：滑块安装，检查模具工况，并在所述模具的腔体内均匀的喷上脱模剂，将活动压铸部件装入所述模具，后将所述模具安装至压铸机；S2：滑块合模，将所述模具合模
侧壁水管接头一体压铸方法

[发明专利]纯二氧化硅侧壁的腔体结构、复合腔体及其形成方法-CN201410172285.7有效
发明人：徐元俊 -专利权人：上海先进半导体制造股份有限公司
申请日： 2014-04-25 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种纯二氧化硅侧壁的腔体结构、复合腔体及其形成方法，该腔体结构的形成方法包括步骤：提供硅衬底；在其正面形成二氧化硅层；对二氧化硅层作图形化，形成凹槽；提供键合片，将其与二氧化硅层键合，在硅衬底与键合片之间形成密闭的侧壁为二氧化硅的腔体结构该复合腔体的形成方法在先获得该腔体结构的基础上包括步骤：在硅衬底的背面形成掩蔽层并对其作图形化；以掩蔽层为掩模，从背面刻蚀硅衬底至正面的二氧化硅层，在硅衬底中形成大腔体；以掩蔽层和二氧化硅层为掩模，从背面穿过硅衬底刻蚀键合片，在键合片及二氧化硅层中形成小腔体。本发明提高了形成复合腔体时从硅衬底的背面刻蚀形成小腔体后小腔体介质厚度的均匀性。
二氧化硅侧壁结构复合及其形成方法

[实用新型]真空腔体-CN202223239783.8有效
发明人：熊凯;户家周;杨元才;杨喆 -专利权人：上海福宜真空设备有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空腔体，采用了真空腔体的上方设置顶板；在真空腔体的下方设置底板；在顶板和底板的中心轴线上设置抽气接口法兰；在真空腔体的一侧设置腔体上门框；腔体上门框将真空腔体分割成一半圆；抽气接口法兰的两侧，沿着顶板和底板的边缘设置若干个腔体侧壁结构；在腔体侧壁结构和腔体侧壁结构之间设置腔体侧壁焊接法兰。腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构均为先折弯得到的，腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构可以预制，将整个的半圆的腔体结构分割成若干块；并且不需要焊完后再加工，然后才在腔体侧壁上焊接法兰，其可直接焊接，既节省了材料也大大降低了腔体的加工成本
空腔

[实用新型]一种高纯水生产便于维护的活性炭纯水设备-CN202021428665.X有效
发明人：席光成 -专利权人：昆山金田源水处理设备有限公司
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： B01D29/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高纯水生产便于维护的活性炭纯水设备，包括腔体，所述腔体的侧壁固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端侧壁固定连接有电机，所述腔体的底端侧壁固定连接有四个支撑柱，所述腔体的顶端侧壁嵌设有进水管，所述腔体的侧壁嵌设有排水管，所述腔体的底端侧壁嵌设有除尘管，所述电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴与腔体的侧壁贯穿设置，所述第一转轴的侧壁固定连接有多个转板，所述腔体的内侧壁固定连接有过滤网，所述腔体的侧壁开设有第一滑槽，所述腔体的侧壁开设有卡槽，所述卡槽的侧壁开设有第二滑槽。
一种高纯水生产便于维护活性炭纯水设备

[实用新型]铝灰冷却装置-CN201821865037.0有效
发明人：付东伟 -专利权人：洛阳新远大冶金成套设备有限公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： C22B7/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铝灰冷却装置，包括：筒体，筒体包括围成柱状腔体的侧壁，柱状腔体的两端分别为筒体的进料口和出料口，进料口和出料口均与柱状腔体连通，柱状腔体用于盛放铝灰，筒体能够绕柱状腔体的轴向旋转；侧壁，包括平侧壁和弧侧壁，平侧壁为平直板状，弧侧壁垂直于柱状腔体轴向上的断面为圆弧，圆弧的弧心位于柱状腔体的轴线上，平侧壁和弧侧壁的数量相等且均为多个，多个平侧壁和多个弧侧壁沿柱状腔体的周向交替排布连接，使得物料在平侧壁和弧侧壁上沿筒体的周向运动速度不同
柱状腔体平侧壁筒体侧壁铝灰冷却装置出料口进料口本实用新型温度均一性侧壁垂直侧壁上沿交替排布平直板状数量相等周向运动轴向旋转侧壁沿弧心料口铝灰腔体绕柱盛放连通

[实用新型]一种复合纤维喷丝板-CN201220227023.2有效
发明人：李伟 -专利权人：锦兴（福建）化纤纺织实业有限公司
申请日： 2012-05-17 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： D01D5/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种复合纤维喷丝板，由从上到下依次连接的腔体A（1）、腔体B（2）、腔体C（3）及腔体D（4）构成。腔体A、腔体B内纵向贯通分布有导孔（5），导孔平行于距其最近的腔体侧壁，腔体C、腔体D内纵向贯通分布有微孔（6），微孔平行于距其最近的腔体侧壁，导孔与微孔在腔体B、C的交接处相连通，导孔的孔径较微孔的大腔体A、腔体C为喇叭形腔体，腔体B、腔体D为圆柱形腔体，腔体A、腔体C的小口分别与腔体B、腔体D连接，腔体D直径小于腔体B直径，腔体A的侧壁（11）与腔体B侧壁呈135°，腔体C（31）的侧壁与腔体D侧壁呈
一种复合纤维喷丝板

[发明专利]加热基座以及半导体加工设备-CN201910911850.X在审
发明人：王大为;薛超;郭松辉;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种加热基座以及半导体加工设备，其中，所述加热基座包括加热腔体，所述加热腔体包括：腔体顶部，用于承载晶圆，所述腔体顶部采用柔性薄膜材料；腔体侧壁，所述腔体顶部与所述腔体侧壁相连接；腔体底部，所述腔体底部与所述腔体侧壁相连接，所述腔体底部与所述腔体顶部相对设置。
腔体顶部晶圆加热基座腔体侧壁腔体加热腔体半导体加工设备柔性薄膜材料破片几率受热均匀相对设置加热承载

[实用新型]一种真空阀门-CN202222533724.5有效
发明人：任燕飞;刘江;王群华;吉顺青;邵华吉 -专利权人：江苏繁华应材科技股份有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： F16K3/02 文献下载
摘要：一种真空阀门，其特征在于，包括：阀门腔体、阀板组件和气缸装置；所述阀门腔体包括第一腔体和第二腔体；所述第一腔体和所述第二腔体气密连接；所述第一腔体包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁；所述第一侧壁、所述第二侧壁、所述第三侧壁和所述第四侧壁围成四边形框体；所述第一侧壁上开设有阀口；所述第一腔体的底部由第一底部封闭，与所述第一底部相对的另一侧与所述第二腔体的一侧气密连接；所述第二腔体的另一侧设有气缸装置
一种真空阀门

[实用新型]用于危险废物焚烧的二燃室-CN201922131251.4有效
发明人：张蕊;李琪;李彬彬;邓丹丹;刘东风;施耀华;宋越;吴磊;薛镜徽;邱晨;陈振华;张博;邹良栋;蔡增宅 -专利权人：中节能清洁技术发展有限公司
申请日： 2019-12-02 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： F23G5/027 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于危险废物焚烧的二燃室，包括自上至下依次连通设置的烟囱、第一段腔体、连接段腔体、第二段腔体和收缩段腔体；第二段腔体为立方体状腔体，包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁；第一侧壁上设置有第一入料口，第一入料口连接至回转窑窑尾；第二侧壁的下部设置有人孔；第二侧壁的底端设置有向内伸展的平台；第一段腔体为圆筒状腔体，其侧壁下端设置有第二入料口；第一段腔体的侧壁上端设有出烟口；烟囱设置于第一段腔体的顶部；连接段腔体包括相对设置的第一、二连接口，用于分别与第一、二段腔体配合连接；收缩段腔体与第二段腔体配合连接。
用于危险废物焚烧二燃室

[实用新型]一种加工腔体内垂直侧壁盲孔的钻具-CN201520318006.3有效
发明人：王红坤 -专利权人：襄阳航力机电技术发展有限公司
申请日： 2015-05-18 - 公布日： 2015-09-09 - 主分类号： B23B47/16 文献下载
摘要：一种加工腔体内垂直侧壁盲孔的钻具，包括主动轮、从动轮、支撑架、钻头；支撑架为台阶形结构，包括用于夹紧镗床主轴柱的上夹紧装置、中连接板、下支撑板；上夹紧装置包括开口套、装于开口套开口处的紧固螺栓；主动轮与从动轮通过皮带连接本实用新型解决在没有机械手的情况下，实现在普通、落后设备上加工腔体内垂直侧壁上的盲孔；主动轮通过销子与安装在机床主轴上的锥柄固定在一起，通过皮带将力矩传动到可以伸进产品内部的装有钻头的从动轮上，机床主轴旋转带动钻头旋转，升降机床主轴控制深度方向进给，实现腔体内垂直侧壁盲孔的加工；具有结构简单、拆卸方便、工作效率高的优点。
一种加工体内垂直侧壁

[实用新型]一种化学隔膜泵-CN202122552927.4有效
发明人：刘慧勇;刘海明;杨延许;陈亚平 -专利权人：苏州科瑞达智能科技有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： F04B43/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化学隔膜泵，包括腔体、第一端盖、第二端盖、偏心轴连杆组件、膜片、电机和外壳，外壳固定安装于腔体的外周，腔体中间空心的正六棱柱形腔体，腔体包括六个侧壁，且六个侧壁分别是两个第一侧壁和四个第二侧壁，每一第一侧壁皆开设有一个通孔，每一第二侧壁皆设有通孔；第一侧壁与第二侧壁的连接处以及两第二侧壁的连接处皆设有截面形状为波浪形的两加强筋；腔体为铝合金6063腔体，腔体的表面覆盖有本色阳极氧化膜。本实用新型通过对腔体的结构进行改进，采用六面十孔结构，在不改变外壳结构以及未增加安装空间的情况下，提高化学隔膜泵的抽速和流量，且腔体质轻，进而隔膜泵整体重量降低；同时，腔体的耐腐蚀性强。
一种化学隔膜

[实用新型]沥青加热装置-CN201721890870.6有效
发明人：弭明新 -专利权人：唐山德生科技有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C10C3/12 文献下载
摘要：本实用新型属于沥青加工设备，尤其涉及沥青加热装置，包括第一加热腔体，第一加热腔体下端设有开口，开口处连接有隔拦网，第一加热腔体顶壁设有加料口，第一加热腔体内侧壁连接有导油管，导油管一端从第一加热腔体顶壁穿出，导油管另一端从靠近开口的左侧壁下端处穿出，第一加热腔体的后外侧壁上连接有第一电机，第一电机的电机输出轴垂直穿过第一加热腔体的前后侧壁，电机输出轴上设有多个搅拌叶片；开口处连通有第二加热腔体，第二加热腔体的右内侧壁上连接有电加热器，第二加热腔体下端连通有第三加热腔体；第三加热腔体与第二加热腔体相接处设有旋转滚筒，第三加热腔体侧壁上设有出料口；本实用新型产品结构简单，使用方便，加热效率高。
第一加热腔第二加热腔加热腔体导油管下端沥青加热装置本实用新型电机输出轴开口处穿出顶壁连通电机开口沥青加工设备内侧壁连接垂直穿过电加热器加热效率搅拌叶片前后侧壁旋转滚筒出料口加料口内侧壁外侧壁相接处左侧壁侧壁拦网产品结构

[实用新型]燃气锅炉-CN201520195588.0有效
发明人：杨青 -专利权人：乐山沃耐稀电子材料有限公司
申请日： 2015-04-02 - 公布日： 2015-09-02 - 主分类号： F23C5/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种燃气锅炉，包括主腔体；主腔体的底部设置有底座，主腔体的两侧设置有右内伸侧壁和左内伸侧壁，底座内设有底部控压腔体、总控装置、右滑轨及左滑轨，底部控压腔体通过底部降压口与主腔体相连通，底部降压口下方设有用底部弹簧向上支撑的底部控压板，底部控压腔体底部与底部出气管相连通，主腔体的两侧设置有右内伸侧壁和左内伸侧壁，右内伸侧壁底部通过右滑动电机与右滑轨滑动连接，左内伸侧壁底部通过左滑动电机与左滑轨相连接，主腔体的内侧壁上设置有第一隔断板
燃气锅炉

[实用新型]一种低插拔力的端子及连接器-CN202223145653.8有效
发明人：伍文聪 -专利权人：胜蓝科技股份有限公司
申请日： 2022-11-26 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01R13/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种低插拔力的端子及连接器，包括端子主体，端子主体前端设有连接部，连接部包括一体设置的上侧壁、下侧壁、左侧壁和右侧壁，上侧壁、下侧壁、左侧壁和右侧壁围合成插接腔体，上侧壁对应在插接腔体的上侧，上侧壁上设有第一弧形凸台，第一弧形凸台向插接腔体内凸起，下侧壁对应在插接腔体的下侧且与上侧壁结构对称，右侧壁对应在插接腔体的右侧，右侧壁前端设有第一弹性臂，第一弹性臂后端与右侧壁连接，前端设有第二弧形凸台，第二弧形凸台向插接腔体内凸起，左侧壁对应在插接腔体的左侧且与右侧壁结构对称，其优点在于：使端子主体和插接端子之间的接触面积小，从而使两者的插拔力较低，便于插拔。
一种低插拔力端子连接器

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