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[发明专利]一种高致密纳米金刚石薄膜的生长方法-CN201110119079.6有效
发明人：张楷亮;任君;王芳;张涛峰;王莎莎;孙大智 -专利权人：天津理工大学
申请日： 2011-05-10 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：一种高致密纳米金刚石薄膜的生长方法，采用多步生长法来沉积纳米金刚石薄膜，具体步骤如下：1）将硅衬底用磨料进行研磨处理；2)在上述研磨处理后的硅衬底上沉积金刚石；3）对上述已沉积的金刚石薄膜表面用磨料进行研磨处理；4）在上述研磨处理后的金刚石薄膜表面再次沉积金刚石；5）重复进行步骤3）和4），即可制得高致密纳米金刚石薄膜。本发明的优点是：1）可以制得晶粒小于100nm的高致密纳米金刚石薄膜；2）金刚石薄膜的晶粒范围和致密程度可通过调节沉积方法、沉积时间和研磨-沉积重复次数来进行控制；3）制备方法简单易行；4）用于研磨的金刚石粉容易获取
一种致密纳米金刚石薄膜生长方法

[发明专利]一种金刚石复合薄膜及其制备方法和应用-CN201810619512.4在审
发明人：李新宇;张学良;齐维滨;王宏 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C23C28/02 文献下载
摘要：本发明涉及金刚石复合材料技术领域，尤其是涉及一种金刚石复合薄膜及其制备方法和应用。所述金刚石复合薄膜，包括金刚石和依次沉积在金刚石表面的钛层、钼层和镍层。所述制备方法，包括如下步骤：在金刚石表面依次沉积形成钛层、钼层和镍层，即得所述金刚石复合薄膜。本发明通过在金刚石表面沉积钛层、钼层和镍层，在金刚石表面形成钛钼镍金属化结构体系，提高金刚石复合薄膜的抗拉强度同时赋予金刚石良好的焊接高强和气密性能，满足作为窗口材料的高强度、低损耗、气密焊接性能好等技术要求
金刚石复合薄膜金刚石表面镍层钼层制备方法和应用钛层沉积金刚石复合材料电真空器件金属化结构沉积钛层窗口材料技术要求气密焊接低损耗输出窗可用制备钼镍焊接赋予

[发明专利]一种双面结构的金刚石-石墨烯薄膜及其制备方法和应用-CN202111078541.2在审
发明人：魏秋平;施海平;施应洁;施帅;施振;周科朝;谭际麟;王宝峰 -专利权人：湖南新锋先进材料科技有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： C23C16/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种“双面”结构的金刚石‑石墨烯薄膜及其制备方法和应用。所述金刚石‑石墨烯薄膜设置于基底上，所述基底的一面为掺杂金刚石薄膜，相对的另一面为石墨烯薄膜，所述金刚石‑石墨烯薄膜中的掺杂金刚石薄膜与石墨烯薄膜同步形成。本发明所提供的“双面”结构的金刚石‑石墨烯薄膜，由于石墨烯具有极好的导电性能，与金刚石结合将可以极大的提高电化学催化性能，大幅降低能耗。
一种双面结构金刚石石墨薄膜及其制备方法应用

[发明专利]铁薄膜在辅助剥离金刚石多晶薄膜中的应用-CN202111396220.7有效
发明人：陶涛;郑凯文;张东祺;智婷;谢自力;刘斌 -专利权人：南京大学
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23C16/01 文献下载
摘要：本发明公开了铁薄膜在辅助剥离金刚石多晶薄膜中的应用，具体为在蓝宝石衬底上生长铁薄膜，在铁薄膜上生长金刚石多晶薄膜，采用机械剥离的方式将金刚石多晶薄膜从蓝宝石衬底上剥离。可以使金刚石多晶薄膜无碎裂的从蓝宝石衬底上剥离。本发明利用铁薄膜来辅助剥离金刚石多晶衬底，生长过程中金属铁具有好的延展性，可以缓解蓝宝石与金刚石之间由晶格失配带来的应力，减少样品碎裂的概率。且铁金属层、金刚石层、蓝宝石之间的热膨胀系数差距较大，结合力较弱，便于采用机械剥离的方法实现金刚石多晶薄膜与蓝宝石衬底的分离，从而使金刚石多晶薄膜无碎裂的从蓝宝石衬底上完整剥离。
薄膜辅助剥离金刚石多晶中的应用

[实用新型]一种基于金刚石薄膜的全海深温度传感器-CN201721324913.4有效
发明人：郭风祥;盖志刚;张涛;张妹;邱慧敏;李恒;李正军 -专利权人：山东省科学院海洋仪器仪表研究所
申请日： 2017-10-16 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： G01K1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于金刚石薄膜的全海深温度传感器，包括管状的金属外壳，所述金属外壳顶端设有金刚石基底，所述金属外壳内部位于金刚石基底上设有硼掺杂金刚石薄膜材料制成的温度响应元件，所述温度响应元件的两端设有电极引线，所述温度响应元件和电极引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层；所述金属外壳和金刚石基底的连接处设有密封圈，同时还公开了该温度传感器的制备方法，本实用新型所公开的温度传感器体积小、响应速度快、分辨率高、结构稳定
温度传感器金属外壳温度响应元件金刚石基底本实用新型金刚石薄膜全海绝缘层密封圈硼掺杂金刚石薄膜电极引线表面电极引线结构稳定类金刚石外界海水压力影响体积小分辨率制备测量陶瓷响应覆盖

[发明专利]一种金刚石薄膜的制备方法-CN201911076437.2有效
发明人：托马斯·斌·余;余海粟;朱轶方;陆骁莹 -专利权人：杭州超然金刚石有限公司
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种金刚石薄膜的制备方法，属于金刚石制备技术领域。该制备方法包括如下步骤：将预处理过的多孔金属基体置于热丝化学气相沉积装置的反应室中，向反应室中充入反应气体，令反应气体在多孔金属基体表面生长形成金刚石/碳化硅/金属复合薄膜；腐蚀获得的金刚石/碳化硅/金属复合薄膜，除去其中的金属相和碳化硅相，得到金刚石薄膜；在含氧氛围内煅烧金刚石薄膜，得到具有多级孔结构的成品金刚石薄膜。该方法能够制备出具有多级孔结构的金刚石薄膜。
一种金刚石薄膜制备方法

[发明专利]一种生物医用复合涂层及其制备方法-CN202210668252.6在审
发明人：李伟;邵国森 -专利权人：上海锐畅医疗科技有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明的生物医用复合涂层包括依次层叠设置在基体上的钛过渡层和类金刚石薄膜层。本发明在基体和类金刚石薄膜层之间设置一层钛过渡层能够缓和类金刚石薄膜层和基体表面因热膨胀系数的不同所产生的热应力。实施例表明，所得类金刚石薄膜层的硬度为7.6GPa，弹性模量为69.1GPa，摩擦系数为0.32，具有较高硬度和较低摩擦系数，可用在人工髋关节植入体和人工心脏瓣膜的表面改性，提高植入体材料表面性能和使用寿命
一种生物医用复合涂层及其制备方法

[发明专利]PVD-CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件-CN202111124614.7有效
发明人：龙丹;林勇刚;王立利 -专利权人：科汇纳米技术（深圳）有限公司
申请日： 2021-09-25 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本申请涉及类金刚石层领域，尤其涉及一种PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件。PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法，先在基材表面通过PVD法依次镀制Cr层、CrW层以及WC层；之后在所述WC层上通过CVD法镀制类金刚石层。类金刚石膜，采用上述PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法制备而得，类金刚石膜包括依次叠合的Cr层、CrW层、WC层以及类金刚石层，Cr层与基材连接。合金材料，其表面镀制有上述类金刚石膜。本申请通过在基材表面依次镀制Cr层、CrW层及WC层而构成了一个性能渐变的过渡层，使从基材到类金刚石层的性能变化更加缓和，从而减少了“蛋壳效应”的产生，有利于类金刚石层更好的发挥作用。
pvd cvd 联用制备金刚石方法合金材料汽车部件

[发明专利]含纳米金颗粒的类金刚石碳薄膜的制备方法-CN200310121062.X无效
发明人：杨生荣;徐洮;阎兴斌 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2003-12-24 - 公布日： 2005-06-29 - 主分类号： C23C18/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种含纳米金颗粒的类金刚石碳薄膜的制备方法。该方法配制含有聚碳苯－氯金酸的四氢呋喃先驱体溶液，然后通过旋涂的方法将混合溶液涂附于单晶硅表面，待有机溶剂挥发后，硅表面就形成了氯金酸－聚碳苯薄膜；将涂有薄膜的硅片在氩气保护下在500－700℃温度处理1～2小时，然后自然降至室温，得到含金纳米颗粒的类金刚石碳薄膜。本发明的特点是制备过程简便，一步合成含金属纳米颗粒的类金刚石复合薄膜。该薄膜有望在机械摩擦、电化学电极、金属催化、光学等领域使用。
纳米颗粒金刚石薄膜制备方法

[发明专利]一种掺硼金刚石薄膜的制备方法-CN201711169862.7有效
发明人：唐永炳;谷继腾;杨扬 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明提供了一种多孔结构的掺硼金刚石薄膜的制备方法，包括以下步骤：取衬底，将所述衬底表面清洗后，在所述衬底表面沉积掺硼金刚石薄膜；将表面沉积有所述掺硼金刚石薄膜的衬底在空气气氛中加热至600‑800℃，使所述掺硼金刚石薄膜表面形成多孔结构；随后将表面形成有多孔结构的掺硼金刚石薄膜置于硝酸钾的含氧酸溶液中煮沸进行表面处理，最终得到表面具有多孔结构的掺硼金刚石薄膜。利用本发明的制备方法仅通过一些简单、快捷的步骤不仅可以制备出表面具有多孔结构的掺硼金刚石薄膜，增加掺硼金刚石薄膜的比表面积，还可以提高掺硼金刚石薄膜的稳定性。
一种金刚石薄膜制备方法

[发明专利]一种纳米金刚石薄膜的制备方法-CN201110217641.9无效
发明人：钟建华;张文英 -专利权人：广州市德百顺电气科技有限公司
申请日： 2011-07-29 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： C23C16/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米金刚石薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)对衬底进行辅助形核处理；(2)在衬底表面沉积纳米金刚石薄膜；(3)对纳米金刚石薄膜进行去氢处理：将步骤(2)得到的覆盖有纳米金刚石薄膜的置于本发明通过去除纳米金刚石薄膜表面的氢化层，使纳米金刚石薄膜获得更高、更稳定的电导率，进一步扩大了纳米金刚石薄膜的应用范围。
一种纳米金刚石薄膜制备方法

[发明专利]表面改性金刚石膜片及其制备方法-CN202211261605.7在审
发明人：林盼盼;林铁松;何鹏;张昕飞;王策;赵万祺 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： C23C14/18 文献下载
摘要：本发明提供一种表面改性金刚石膜片及其制备方法，涉及材料表面改性技术领域，其中表面改性金刚石膜片包括金刚石膜片和设置在金刚石膜片表面的金属化薄膜，金属化薄膜包括依次设置在金刚石膜片表面的Cr金属层和NiTi合金层，本发明的表面改性金刚石膜片引入多层金属化薄膜，从而达到同时改善金刚石与金属化薄膜结合强度和金刚石可加工性能的效果；本发明的表面改性金刚石膜片的制备方法采用磁控溅射表面改性技术，可以快速地实现多层金属及合金薄膜的沉积，镀层表面平整，厚度可以得到有效控制，进一步的热处理可有效提高金刚石与金属化薄膜的结合强度。
表面改性金刚石膜片及其制备方法

[发明专利]一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法-CN201510824541.0有效
发明人：唐永炳;蒋春磊;张静 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2015-11-24 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明适用于真空镀膜技术领域，提供了一种金刚石/类金刚石多层复合涂层的制备方法，包括以下步骤：提供一基底，对所述基底进行表面预处理后装炉；真空条件下，通入甲烷并进行第一涂层过程，在所述基底表面沉积金刚石涂层；真空条件下，调整加热温度和甲烷浓度进行第二涂层过程，在所述金刚石涂层表面沉积类金刚石涂层；重复所述第一涂层过程和所述第二涂层过程，制备金刚石层和类金刚石交替沉积的多层复合结构，且得到的金刚石/类金刚石多层复合涂层的最外层为类金刚石涂层
类金刚石涂层过程多层复合涂层金刚石制备类金刚石涂层真空条件甲烷基底沉积金刚石涂层金刚石涂层表面多层复合结构真空镀膜技术表面预处理基底表面交替沉积金刚石层最外层装炉沉积加热重复

[发明专利]血管支架及其制造方法-CN200780002438.1无效
发明人：中谷达行;冈本圭司;山下修藏;小村育男;森浩二 -专利权人：东洋先进机床有限公司;株式会社日本支架工艺
申请日： 2007-01-15 - 公布日： 2009-02-18 - 主分类号： A61F2/84 文献下载
摘要：血管支架具有环状的血管支架本体11、在血管支架本体11的表面形成且被表面活化处理的类金刚石薄膜12、和在类金刚石薄膜的表面被固定的聚合物层13。
血管支架及其制造方法

[发明专利]凸轮轴表面多层纳米复合类金刚石薄膜的制备方法-CN201110426223.0无效
发明人：张俊彦;张斌;张克金;强力;魏晓川;安宇鹏;武斌 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2011-12-16 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种凸轮轴表面多层纳米复合类金刚石薄膜的制备方法。本发明利用高频高功率脉冲磁控溅射技术，在凸轮轴表面沉积纳米多层复合类金刚石薄膜。复合薄膜粘着层厚度为0.2～0.5μm、承载层厚度为1～3μm，表层厚度为1～3μm，复合薄膜凸轮轴表面结合力高达60N。
凸轮轴表面多层纳米复合金刚石薄膜制备方法

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