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[发明专利]等离子天线-CN200510008769.9有效
发明人：李龙炫 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2005-02-25 - 公布日： 2005-08-31 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：等离子天线被设计成允许天线内的电子元件之间的连接在化学气相沉积处理期间在不改变天线结构的情况下发生变化，由此将清洗或沉积处理的效率最大化。所述等离子天线包括两个或两个以上分别从一RF电源向其提供RF电的线圈，和一个连接到所述线圈末端的开关。所述线圈构造成具有不同阻抗。可以根据一电感性耦合的等离子天线在不改变所述天线结构的情况下改变所述等离子天线的电路结构，以便根据处理类型(例如，清洗或沉积)产生并联类型等离子、串联类型等离子或电容性耦合等离子，使得可以有效地执行所述处理，由此通过归因于天线简单结构的生产成本的降低来提高生产力。
等离子天线

[发明专利]一种基于重构结构超宽频带低RCS等离子体天线-CN201910590207.1在审
发明人：贾丹;耿京朝;何其洪 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十四研究所
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： H01Q1/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于重构结构超宽频带低RCS等离子体天线，包括高频段天线、通断开关和位于高频段天线上方设置有可调控天线的工作频段及具有低RCS特性的等离子天线，通断开关衔接在高频段天线与等离子天线之间；等离子天线包括底盘、等离子栅阵，等离子栅阵配装在底盘上方，等离子栅阵通过通断开关电与高频段天线连通，隐身性能好，动态可调性强，互耦效应低的特点。
高频段天线等离子天线通断开关等离子栅阵等离子体天线超宽频带底盘重构动态可调性工作频段隐身性能可调控互耦配装连通天线衔接

[发明专利]高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置-CN201210461279.4无效
发明人：佐佐木和男;里吉务 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-11-15 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置，高频天线电路能够抑制匹配电路的发热，而且能够提高具备分割天线的感应耦合等离子体处理装置的功率效率。高频天线电路用于在感应耦合等离子体处理装置中、在处理衬底的处理室内生成感应耦合等离子体，该高频天线电路具有：等离子体生成天线，其用于在处理室内生成等离子体；高频电源，其对等离子体生成天线提供高频电力；匹配电路，其存在于高频电源与等离子体生成天线之间；多个分割天线，其构成等离子体生成天线，被分配通过匹配电路之后的高频电力；以及并联谐振电容电路，其被设置成与多个分割天线中的各个分割天线并联。
高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置

[实用新型]一种基于重构结构的超宽频带低RCS等离子体天线-CN201921020636.7有效
发明人：贾丹;耿京朝;何其洪 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十四研究所
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01Q1/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于重构结构的超宽频带低RCS等离子体天线，包括高频段天线、通断开关和位于高频段天线上方设置有可调控天线的工作频段及具有低RCS特性的等离子天线，通断开关衔接在高频段天线与等离子天线之间；等离子天线包括底盘、等离子栅阵，等离子栅阵配装在底盘上方，等离子栅阵通过通断开关电与高频段天线连通，隐身性能好，动态可调性强，互耦效应低的特点。
高频段天线等离子天线通断开关等离子栅阵底盘等离子体天线本实用新型动态可调性超宽频带工作频段隐身性能可调控互耦配装重构连通天线衔接

[发明专利]一种等离子体天线仿真方法及系统-CN201710432111.3在审
发明人：魏相飞;马云;郝洪荣;刘丹丹;范传宇 -专利权人：皖西学院
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体天线仿真方法及系统，该方法首先获取等离子天线工作时涉及的物理场信息，并根据所涉及到物理场信息，确定多物理场的耦合方程；然后根据耦合方程，确定等离子天线的性能参数；最后建立等离子天线实体仿真模型，并根据性能参数和物理场信息，运行等离子天线实体仿真模型，得到仿真结果。因此，本发明在运行等离子天线实体仿真模型时考虑了等离子天线工作时涉及多个物理场的耦合作用，避免了只对等离子体天线材料进行单一的参数设置，提高了等离子体天线仿真结果的准确性，降低了仿真误差。
一种等离子体天线仿真方法系统

[发明专利]用于生成等离子体的方法和装置-CN202080087540.1在审
发明人： S.高特 -专利权人：戴森技术有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了一种等离子体反应器，包括：处理室；等离子体天线组件，被配置为在处理室中生成等离子体；以及一个或多个磁体，被配置为将等离子体限制在处理室中远离等离子体天线组件的位置；其中等离子体天线组件包括：射频(RF)天线，被布置为由电流驱动，从而在等离子体生成区域中生成等离子体；壳体，被布置为将天线与在等离子体生成区域中生成的等离子体分离；以及铁磁或亚铁磁聚焦构件，被布置为部分地围绕天线的长度。
用于生成等离子体方法装置

[发明专利]等离子天线以及含该天线的等离子处理装置-CN200810177554.3有效
发明人：吴贤泽;李昌桓;卢一镐;孔炳润;李正仁 -专利权人：株式会社细美事
申请日： 2008-11-21 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： H01Q21/00 文献下载
摘要：本发明的课题是提供一种等离子天线以及使用该天线的等离子处理装置。解决方案是本发明的实施方式的等离子天线用于等离子发生装置的等离子天线中，前述等离子天线具有下述形状：其接受电源供给部提供的电源，并在分支部向电介质的外周分支，前述分支的天线向中央集中，并在接地部接地。
等离子天线以及处理装置

[发明专利]一种具有全向扫描功能的阵列等离子体天线-CN201010228468.8有效
发明人：胡斌杰;李学识;周双 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2010-07-15 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： H01Q1/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种由多个等离子体天线单元同时工作构成的等离子体天线阵列，其辐射方向图的指向可以在等离子体天线单元分布的平面上全向扫描。各个等离子体天线单元上的信号馈电环将相同相位和幅度的通信信号馈入到等离子体天线上。对需要产生较强辐射的方向上的等离子体天线单元，施加较高的激励功率以产生较高密度和较高电导率的等离子体。具有较高电导率的这个等离子体天线单元的辐射信号相比其他天线单元强，这样等离子体天线阵列就能在需要的方向上产生较强的辐射，从而使天线阵列的方向图全向扫描。特点在于，多个等离子体天线排列成阵列同时工作，天线阵列不仅具有高的增益和方向性，而且具有更好的方向图可重构性。
一种具有全向扫描功能阵列等离子体天线

[发明专利]一种利用光-电时差测量等离子体天线开启时间的方法-CN201410042729.5有效
发明人：张芝涛;赵建森;俞哲;李日红;杨海东 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2014-01-28 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： G04F13/00 文献下载
摘要：一种利用光-电时差测量等离子体天线开启时间的方法，属于气体放电与无线通讯应用技术领域，该方法将等离子体天线发射光谱信号引入到放电等离子体天线开启时间测量中，利用原位光谱探测技术将等离子体发射的光信号转换为具有相同时间特征的电信号，并将该电信号建立的初始时刻与等离子体天线激励电源电压信号施加时刻比较，进而利用等离子体光电信号与激励电压信号的时间差获得等离子体天线的开启时间，避免了探针测量等离子体天线开启时间方法对放电等离子体和通讯信号的交互干扰，实现了准确、实时、无扰动测量，提高了等离子体天线开启时间的测量精度，为等离子体天线的研究和发展提供了一种新的测量方法和评价参量。
一种利用时差测量等离子体天线开启时间方法

[发明专利]溅射沉积设备和方法-CN202111140928.6在审
发明人： S.M.卡利 -专利权人：戴森技术有限公司
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：该溅射沉积设备包括具有射频(RF)天线的等离子体天线组件，天线布置成由电流驱动，以便在等离子体产生区域中产生等离子体。等离子体天线组件配置为螺旋等离子体源，用于产生沿发射方向远离天线传播的螺旋波。天线在横向于发射方向的纵向方向上是细长的。包括一个或多个磁体的限制装置配置成将远离等离子体天线组件的等离子体限制成沿天线的纵向方向横向延伸的片。
溅射沉积设备方法

[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置和金刚石的合成方法-CN201810408710.6在审
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人： FD3M公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线作为耦合天线。本申请还公开了一种金刚石的合成方法，采用等离子体天线作为耦合天线，通过微波等离子体化学气相沉积方法合成金刚石。本申请还公开了微波等离子体化学气相沉积装置在单晶金刚石合成中的应用。本发明的微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线进行耦合，可以极大的提高天线的效率。
微波等离子体化学气相沉积等离子体天线金刚石合成耦合天线申请单晶金刚石耦合天线应用

[发明专利]一种磁控波束可变的等离子体天线阵列-CN201110236094.9无效
发明人：胡斌杰;周双 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2011-08-17 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： H01Q1/36 文献下载
摘要：本发明公开一种磁控波束可变的等离子体天线阵列，由多个磁控等离子体天线单元组成。多个磁控等离子体天线单元可以排列成圆形阵列，直线阵列，矩形阵列或半圆形阵列。所述磁控等离子体天线单元包括介质管、惰性气体、激励馈电环、信号馈电环、电磁铁和接地板；在各个磁控等离子体天线单元的激励馈电环上施加相同的射频激励功率对惰性气体进行单端激励产生等离子体柱；在各个磁控等离子体天线单元的信号馈电环上施加相同幅度和相位的通信信号磁控波束可变的等离子体天线阵列通过控制器调节各个磁控等离子体天线单元的电磁铁的磁场强度，进而控制各个磁控等离子体天线单元的辐射性能，实现对整个天线阵列的辐射波束的动态控制。
一种波束可变等离子体天线阵列

[发明专利]一种基于非均匀等离子体的辐射增强方法-CN202211430190.1在审
发明人：聂秋月;陈培奇;钱亮;张仲麟;王敏;华洋阳;孟卓涛;艾昕;魏国强;闫昌时 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01Q1/36 文献下载
摘要：本发明的一种基于非均匀等离子体的辐射增强方法，涉及等离子体增强方法。目的是为了克服现有等离子体增强技术物理模型较为简单，缺少利用非均匀等离子体实现最佳增强的一般性讨论，方法基于等离子体增强型电小天线实现，等离子体增强型电小天线包括球壳形的等离子体罩和位于等离子体罩内的电小天线；并且，等离子体罩内的等离子体沿等离子体罩的半径非均匀分布；辐射增强方法如下：调节等离子体密度和等离子体罩的尺寸符合以下条件，从而使非均匀等离子体对电小天线的辐射进行增强。
一种基于均匀等离子体辐射增强方法

[发明专利]一种等离子体风洞的等离子体参数测量方法-CN202011018627.1在审
发明人：白冰;丁亮;韩潇;张磊;赵华;李涛;彭毓川;顾志飞;李高;吴达 -专利权人：北京卫星环境工程研究所
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于等离子体风洞的等离子体参数测量方法，所述测量方法首先在等离子风洞输入层流等离子体前，通过矢量网络分析仪调整发射天线和接收天线同相位；输入等离子体后在发射天线与接收天线之间风洞中形成等离子体束流；测量等离子体束流的直径、接收天线与发射天线的相位差，并根据相位差及等离子体束流直径计算等离子体电子密度；再通过光谱仪测量等离子体粒子的特征谱线的偏移量，并根据偏移量计算等离子体的束流速度。本发明所测量的等离子体电子密度和束流速度测量误差小于0.01mm，相伴分辨率小于0.5°，综合误差小于0.16％，在不干扰等离子体束流的前提下，对等离子参数进行精确测量，提高了测量精度。
一种等离子体风洞参数测量方法

[发明专利]等离子体天线模组及等离子体处理装置-CN202010749845.6有效
发明人：金亨源;李允诚;郑熙锡 -专利权人：吉佳蓝科技股份有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开涉及等离子体天线模组及等离子体处理装置。本公开的一实施例的等离子体天线模组包括：等离子体天线；接地部，电连接于等离子体天线的一侧；电源供应部，向等离子体天线的另一侧供应电源；以及迂回部，介于等离子体天线和电源供应部之间或者等离子体天线和接地部之间迂回部根据包括在第二路径中的接点的数量，控制向等离子体天线流入的电流值。
等离子体天线模组处理装置

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