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[发明专利]等离子体发生器及等离子体清洗装置-CN201811279845.3在审
发明人：王永青 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2018-10-30 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一等离子体发生器和应用该等离子体发生器的等离子体清洗装置，用于处理一待处理表面。所述等离子体发生器包括至少一等离子体喷管组件，所述等离子体喷管组件包括复数个等离子体喷管和一公共流道。每一等离子体喷管具有一进气端和一出口端；其中，每一所述等离子体喷管通过所述进气端与所述公共流道流体连接，且每一所述等离子体喷管在所述公共流道上均匀排列；并且，每一所述等离子体喷管的所述出口端面朝所述待处理表面，并且，每一述等离子体发生器的所述出口端与所述待处理表面之间的距离相等。
等离子体喷管等离子体发生器待处理表面等离子体清洗装置公共流道出口端进气端出口端面距离相等均匀排列流体连接组件包括复数应用

[发明专利]用于在加工等离子体时控制离子能量分布的装置和方法-CN201980021613.4在审
发明人：吉田祐介;谢尔盖·沃罗宁;阿洛科·兰詹;大卫·库穆;斯科特·怀特 -专利权人：东京毅力科创株式会社;万机仪器公司
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：在等离子体加工中，多个谐波频率分量用于等离子体激发。控制不同频率分量之间的相对幅度和/或相移，以便提供期望的离子能量等离子体属性。可以在不进行直接测量和/或手动离子能量测量的情况下控制相对幅度和/或相移。而是，可以通过监测该等离子体装置内的诸如例如阻抗水平等一个或多个电特性、该射频(RF)发生器中的电信号、匹配网络中的电信号、以及该等离子体加工装置的其他电路中的电信号来动态地控制该等离子体内的离子能量。可以在等离子体工艺期间动态地实现对该离子能量的监测和控制，以便维持期望的离子能量分布。
用于加工等离子体控制离子能量分布装置方法

[发明专利]利用包含等离子体的开式谐振腔谐振频率的变化来测量电子密度并控制等离子体处理的系统-CN00810626.6无效
发明人：约瑟夫·T·沃德云;韦恩·L·约翰逊;默里·D·瑟基斯 -专利权人：东京电子株式会社
申请日： 2000-07-20 - 公布日： 2002-07-31 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：一种用于测量等离子体电子密度(比如在1010至1012cm－3范围)并控制等离子体发生器的系统。等离子体电子密度的测量被用作等离子体的辅助处理过程,诸如淀积或蚀刻过程中的反馈控制的一部分。等离子体测量方法和系统两者产生控制电压,该控制电压接着控制等离子体发生器。可编程的频率源顺序地激发置于等离子体处理设备中的开式谐振腔的一些谐振模。谐振模的谐振频率,依赖于反射镜与开式谐振腔间的空间中等离子体电子密度。该设备自动确定开式谐振腔任意选定的谐振模中谐振频率的增加,该增加是因引入等离子体而产生的,并把测量的频率与先前输入的数据比较。比较是用以下装置中的任一种完成的(1)专用电路,(2)数字信号处理器,和(3)专门编程的通用计算机。比较器对用于修正等离子体发生器的功率输出的控制信号进行计算,这是为获得需要的等离子体电子密度所必须的。
利用包含等离子体谐振腔谐振频率变化测量电子密度控制处理系统

[发明专利]一种多弧等离子体气化炉-CN202111193494.6在审
发明人：倪国华;李磊;胡磊;孙坡;李淩豪;金国卫 -专利权人：中科等离子体科技（合肥）有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： C10J3/20 文献下载
摘要：本发明的一种多弧等离子体气化炉，基于气化炉，气化炉包括进料管、炉排、炉渣收集装置及排烟口；还包括多弧等离子体发生器，所述多弧等离子体发生器安装在等离子体射流导管的侧壁上，多弧等离子体发生器与等离子体射流导管连通；等离子体射流导管布置在气化炉炉壁内侧的炉排上端；等离子体射流导管设有n个出口，为n≥2的自然数，均布于等离子体射流导管，出口的角度与水平面夹角0°≤ɑ≤30°。本发明通过多弧等离子体发生器与环形等离子体射流导管的结合，使得输送到被处理物料区的等离子体射流温度场更加均匀，避免了传统电弧等离子体由于温度梯度大，处理物料过程中易导致局部结渣的问题，提高了气化效率。
一种等离子体气化

[发明专利]槽型等离子体显示屏用老练电路-CN200610041330.0无效
发明人：郑姚生;朱立锋;王保平;汤勇明;吴忠 -专利权人：南京华显高科有限公司
申请日： 2006-08-15 - 公布日： 2007-02-07 - 主分类号： G09G3/28 文献下载
摘要：本发明针对现有的槽型等离子体显示屏无合适的老练电路的问题，公开了一个电压控制电路(1)、点火电压电路(2)、正电压维持电压脉冲发生器(3)、正电压能量恢复保持电路(4)、负电压维持电压脉冲发生器(5)、负电压能量恢复保持电路(6)、等离子体显示板(7)组成的槽型等离子体显示屏用老练电路，它能有效地稳定显示板(Panel)的工作特性，进一步降低点火电压，大大降低显示系统的驱动设计，提高显示质量，使得槽型等离子体显示板成为新一代显示器的目标得以实现
等离子体显示屏老练电路

[发明专利]电力接触电极表面等离子体治疗-CN202080074728.2在审
发明人：赖因霍尔德·亨克;罗伯特·索布斯 -专利权人：电弧抑制技术公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H01H1/60 文献下载
摘要：一种电力接触电极等离子体治疗电路，包括端子对，该端子对适于连接至电力接触装置的可切换接触电极组。等离子体点火检测器被配置成检测可切换接触电极上指示在可切换接触电极之间形成等离子体的电参数，并且基于所检测到的电参数输出等离子体点火信号。等离子体燃烧存储器被配置成接收和存储等离子体点火信号。控制器电路被配置成从等离子体燃烧存储器接收等离子体点火信号，基于接收到等离子体点火信号来启动定时器，并且在定时器满足时间要求时，输出等离子体熄灭命令。等离子体熄灭电路被配置成在接收到触发信号时旁路该端子对以熄灭可切换接触电极之间的等离子体。
电力接触电极表面等离子体治疗

[实用新型]一种低温等离子体处理高难降解废水装置-CN202022158882.8有效
发明人：张绪全;孙浙胜;张绪运 -专利权人：宁波弘富环境科技有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： C02F1/30 文献下载
摘要：一种低温等离子体处理高难降解废水装置，包括配电箱、等离子体发生器、等离子体射流器、原始废水箱、水泵、等离子体反应器、进液阀门和出液阀门，配电箱和等离子体发生器连接，等离子体发生器设置有用于输入压缩气体的进气管道，等离子体发生器和等离子体射流器连接，原始废水箱内储存待处理的废水，原始废水箱和等离子体射流器之间设置有水泵，原始废水箱的出水口和水泵的输入端相连，水泵的输出端和等离子体射流器连接，等离子体射流器和等离子体反应器连接，等离子体反应器设置有进液阀门和出液阀门，所述等离子体反应器内为负压环境。
一种低温等离子体处理高难降解废水装置

[发明专利]电源控制方法及装置、电源设备及等离子体发生设备-CN201910662990.8有效
发明人：陈颖;黄炬彩;卢刚;巫超铖;谢鸿 -专利权人：福建龙净环保股份有限公司
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： H02M5/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种电源控制方法及装置、电源设备以及等离子体发生设备，电源控制方法，应用于包括整流电路、IGBT逆变电路和变压器的等离子电源，整流电路的输入端连接供电电源，输出端连接IGBT逆变电路的输入端；IGBT逆变电路的输出端连接变压器的初级线圈，变压器的次级线圈连接等离子体发生器；该方法包括：获取对目标气体的期望产量；根据期望产量，利用SPWM调制技术控制IGBT逆变电路中开关器件的开关状态，以输出正弦波或脉冲波至等离子体发生器
电源控制方法装置设备等离子体发生

[发明专利]等离子体发生装置-CN202180057457.4在审
发明人：申东勋;洪镛澈;千世珉;梁乾祐;李羲宰 -专利权人：韩国核融合能源硏究院
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体发生装置，本发明的示例性实施例的等离子体发生装置包括：电磁波发生器；等离子体喷枪，通过电弧放电生成等离子体；及波导管，引导在电磁波发生器生成的电磁波向等离子体侧传输；其中，通过波导管传输的电磁波加热等离子体的一侧部
等离子体发生装置

[发明专利]基板处理装置的运行方法-CN201080039989.7有效
发明人：小风丰;植田昌久;吉田善明 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2010-09-03 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供通过稳定生成等离子体、可抑制颗粒发生的基板处理装置的运行方法。在进行了真空排气的真空槽内配置基板后，首先向真空槽内供给稀有气体，对等离子体发生装置施加电压以生成稀有气体的等离子体。接着，向真空槽内供给反应气体、使反应气体与稀有气体的等离子体接触以生成反应气体的等离子体。使该反应气体的等离子体与基板接触而对基板进行处理。利用等离子体生成装置，通过不对反应气体进行等离子体化、而是首先对稀有气体进行等离子体化，从而稳定地生成等离子体、抑制颗粒的发生。
处理装置运行方法

[实用新型]一种便携式等离子体消毒系统-CN202222712296.2有效
发明人：刘颖;金红旭;刘定新;李乔松;金圣皓 -专利权人：中国人民解放军北部战区总医院
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种便携式快速等离子体消毒系统，其该系统的过压保护模块与电池模块电连接，电池模块分别与空气泵和升压转换模块电连接，电池模块与空气泵和升压转换模块连接的电路上设置有开关，空气泵与等离子体发生器气路连接，升压转换模块与等离子体发生器电连接，等离子体发生器与操作头气路连接。本实用新型实现了等离子体发生电极组装或维修的快速化、便携化；本实用新型可直接利用气泵提供工作气体，舍弃了钢制气瓶，彻底实现便携化。本实用新型利用高度集成化的小型模块电源，在激励电压AC7.0kV左右，电压频率15kHz条件下，可均匀稳定产出等离子体，安全可触碰。本实用新型产出的等离子体包括多种长寿命和短寿命粒子。
一种便携式等离子体消毒系统

[发明专利]基于氮氧配比的等离子体活化水消毒装置及方法-CN202110209055.3在审
发明人：荣命哲;王伟;刘定新;刘林博;王子丰;陈锦坤;郗旺;郭莉;王小华 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： C02F1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于氮氧配比的等离子体活化水消毒装置及方法，氮氧分离机用于分离空气中的氧气和氮气，流量控制器连通出氧口以将出氧口排出的气体与空气按预定氮氧配比混合形成混合气体，等离子体发生器连接流量控制器以导入混合气体，等离子体发生器基于混合气体高压放电生成冷等离子体，水溶液活化腔连通等离子体发生器，监测与控制电路基于预定氮氧配比，调节氮氧分离机自出氧口排出的气体流量，基于进气口导入的进气量，监测与控制电路发送水量信号到水阀
基于配比等离子体活化水消毒装置方法

[发明专利]一种工件清洗方法-CN201810103910.0在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：安徽静斯德科技有限公司
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：该方法包括：将工作气体通入所述等离子体发生器内，并将等离子体发生器内的气体抽出，使所述等离子体发生器内的气压在预设范围内；启动电源，使留在等离子体发生器内的工作气体放电，产生等离子体对所述待清洗的工件进行清洗；预设时间后，向等离子体发生器内通入空气，使等离子体发生器内部恢复常压。
等离子体发生器工件清洗工作气体预设清洗等离子体启动电源通入空气常压放电气压抽出废水恢复

[发明专利]一种座椅式等离子体治疗装置-CN202210161100.7在审
发明人：邹宇汉;宋鹏飞;李毅;杨锡信;赵国柱;赵龙;杨金华 -专利权人：烟台海灵健康科技有限公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体医疗器械技术领域，具体公开了一种座椅式等离子体治疗装置，该座椅式等离子体治疗装置包括座椅系统、等离子发生器以及控制系统，治疗工位设置在座椅系统的底座上，外壳罩设在治疗工位外，治疗工位部分露出外壳，等离子发生器用于产生治疗用的等离子体气流，等离子体气流能够到达治疗工位，控制系统能够调节等离子发生器产生的等离子体气流的流量和温度，从而对患处进行精准治疗。本发明利用等离子体发生器以空气作为工作介质，直接电离产生等离子体气流，并将等离子体气流送至治疗工位，保证了治疗点的温度安全和治疗的有效性，具有实用方便、用途广泛、医用价值高等优点。
一种座椅等离子体治疗装置

[发明专利]自适应可触摸等离子体装置及其控制方法-CN202110923505.5在审
发明人：杨静慧;赵勇;张秋俊;胡逢亮;巨姗 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本申请涉及一种自适应可触摸等离子体装置及其控制方法，自适应可触摸等离子体装置包括电源装置、等离子体发生装置和自适应控制装置，等离子体发生装置连接电源装置和自适应控制装置；电源装置用于输出电压至等离子体发生装置，自适应控制装置用于采集等离子体发生装置的人体接触电流，根据人体接触电流与预设的人体安全电流阀值进行对比，并根据对比结果调节电源装置的输出电压，以使等离子体发生装置的人体接触电流处于安全阀值范围内，有效确保人体接触等离子体的安全性
自适应触摸等离子体装置及其控制方法