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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]量测方法-CN202080089819.3在审
发明人： E·巴德尔 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-12-19 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种量测方法，包括：在衬底上执行第一次曝光，以形成包括多个第一目标单位的第一图案化层，每个第一目标单位包括第一目标特征；在衬底上执行第二次曝光，以形成第二图案化层，该第二图案化层包括与相应一些第一目标单位套刻的多个第二目标单位
方法

[发明专利]量测装置-CN202111636828.2在审
发明人：邹明颖;简鋐藤;吴宗颖 -专利权人：致茂电子(苏州)有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G01R1/28 文献下载
摘要：一种量测装置，其包含第一增益可变放大器、开关组、第一混频器及第二混频器。第一增益可变放大器用以接收并放大射频信号。开关组耦接于第一增益可变放大器。第一混频器耦接于开关组。本案实施例所示的量测装置采用超外差双混频器架构，使用两组不同频宽的混频器以增加量测装置的整体频宽，借以测量到Sub‑6的频段。
装置

[发明专利]量测方法-CN202210022330.5在审
发明人：黎宇泰;林高祺;谢卓帆;吴登峻;彭成瑜 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种量测方法，包括以下步骤。对待测物形成具有第一特征图案的待测影像。复制所述待测影像以形成多个待测影像，并将所述多个待测影像以叠加影像方式形成待测叠影影像，所述待测叠影影像具有多个所述第一特征图案。将所述待测叠影影像与所述参考叠影影像相叠，以产生一叠纹影像，所述叠纹影像具有一叠纹图案，所述叠纹图案不同于所述多个第一特征图案，所述叠纹图案不同于所述多个第二特征图案。
方法

[发明专利]量测方法-CN202180086062.7在审
发明人： A·E·A·科伦;S·G·J·马西森;林慧全;A·E·安德森 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：公开了一种测量衬底上的目标的方法，包括：用测量辐射照射目标，测量辐射至少包括第一波长；收集在收集数值孔径内的所产生的散射辐射；和根据散射辐射确定感兴趣参数。目标包括中介体周期性结构和至少第一目标周期性结构，分别在衬底上的相应的不同层中，其中至少中介体周期性结构的节距小于由收集数值孔径和测量辐射的波长限定的单衍射极限，使得散射辐射包括双衍射辐射，双衍射辐射包括经历了符号相反的两次顺序的同阶衍射的辐射。
方法

[发明专利]量测工具-CN200910104937.2有效
发明人：吴瑞章 -专利权人：超汇桂盟传动(苏州)有限公司
申请日： 2009-01-05 - 公布日： 2010-07-07 - 主分类号： G01B5/16 文献下载
摘要：一种量测工具，包含一固定尺板、一安装于固定尺板并可于一归零位置与一常态位置间位移之移动座，及一恒将移动座拉向常态位置之弹性件。移动座具有一第一量测定位部，固定尺板包括一安装于移动座之板体部、二可分别供移动座靠抵限位之限位部，及一与第一量测定位部相间隔之第二量测定位部。透过可改变该等量测定位部间距的设计，可用以量测目前链条长度与标准长度间之差值，可方便使用者立即得知链条之长度状况。
工具

[发明专利]量测装置-CN200510121254.X有效
发明人：张耕铭 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2005-12-23 - 公布日： 2007-06-27 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：一种量测装置，其用于量测待测物体的参数，包括机台及放置座，该机台上设有滑槽，该放置座可于该滑槽内滑动，其上设有多个间隔的放置孔。所述的量测装置，其可连续量测多个待测物体，从而减少更换待测物体的时间，提高量测效率。
装置

[发明专利]量测系统-CN201410416238.2有效
发明人：孙庆成;余业纬;林廷玮;林哲巨 -专利权人：中央大学
申请日： 2014-08-22 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种量测系统，量测待测物的待测光线，包括光空间分布单元、色散分光单元以及量测单元。光空间分布单元设置于待测物的一侧，以接收待测光线并形成多个点光源。量测单元设置于色散分光单元的一侧，以接收分光信号并产生待测光线的光场分布。
系统

[发明专利]量测结构-CN201711472179.0有效
发明人：赖佳助;方柏翔;林河全 -专利权人：矽品精密工业股份有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：一种量测结构，其于介电层上形成一具有两圈环体的震荡量测组，以于单一次量测介电常数的作业中，能量测出两个频率峰值。
结构

[发明专利]量测设备-CN201880036683.2有效
发明人：乔安科·拉文斯卑尔根;N·潘迪;周子理;A·E·A·科伦;塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩;B·O·夫艾格金格奥尔;S·G·J·马西森 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-05-15 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：公开了一种量测设备，其测量在衬底上形成的结构以确定感兴趣的参数。
设备

[发明专利]计算量测-CN201880051260.8有效
发明人：帕特里克·华纳;P·A·J·廷内曼斯;G·格热拉;E·C·摩斯;W·T·特尔;M·乔詹姆森;B·P·B·西哥斯;弗兰克·斯塔尔斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种方法包括：针对使用图案化过程产生的衬底的器件图案的多个特征中的每个特定特征，获得在所述衬底的测量目标与所述特定特征之间的所述图案化过程的参数的模型化或模拟关系；和基于所述关系和来自量测目标的所述参数的测量值
计算

[发明专利]量测方法-CN201880065666.1有效
发明人： N·加瓦赫里;M·哈吉阿玛迪;M·博兹库尔特;A·达科斯塔·埃萨弗劳;M·J·诺特;S·G·J·马斯杰森;廉晋 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-10-09 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：公开了一种用于测量与具有至少两个层的结构有关的感兴趣参数的方法和相关联的装置。方法包括利用测量辐射照射该结构并且检测由上述结构散射的散射辐射。散射辐射包括正常和互补的更高衍射阶。限定将散射辐射参数与至少一个感兴趣参数关联的散射测量模型和将散射辐射参数与至少一个不对称参数关联的不对称模型，该不对称参数与一个或多个测量系统误差和/或目标中的除两个层之间未对准之外的不对称有关。散射测量模型和不对称模型的组合被用于确定方程组，然后针对感兴趣的参数对方程组求解。
方法

[发明专利]量测装置-CN200710203020.9无效
发明人：张旨光;张森;曾锦葵 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2007-12-12 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：一种量测装置，包括一滑轨、一可滑动地装设于所述滑轨的滑动装置及一固定于所述滑动装置的量规装置，所述滑动装置以悬浮方式滑动于所述滑轨，所述量规装置包括至少一千分表。利用本发明量测装置测量时，无需拆卸和搬运被测物，而且测量精度高、成本低廉，适应工业生产的需求。
装置

[发明专利]量测仪-CN201010262488.7无效
发明人：林育安 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2010-08-25 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：一种量测仪，用于量测待测物，其包括一箱体、一收容室、一探针、至少一红外光发射装置、至少一红外光接收装置、至少一光源装置及一控制装置。待测物设置在底部。收容室设置在顶部。至少一红外光发射装置设置在第一侧壁靠近操作窗口的一端上，用于发射红外光。该至少一红外光接收装置设置在第二侧壁靠与至少一红外光发射装置相对正，用于接收红外光。
量测仪

[实用新型]量测机-CN201320429802.5有效
发明人：张旨光;袁忠奎;李均华;金余;张辉 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2013-07-19 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种量测机，其包括一机体和一罩设于该机体外周的保护罩，该机体包括一控制箱以及一工件承载板。本实用新型的量测机通过在机体的外周设置一保护罩，可有效起到防尘以及防止机体发出的光线外漏的作用。
量测机

[实用新型]量测组件-CN201320067669.3有效
发明人：邵任民;黄志伟;刘安钧;洪羿达 -专利权人：昱成光能股份有限公司
申请日： 2013-02-05 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： G01F23/00 文献下载
摘要：一种量测组件，包含一支立杆及一支量测杆，该立杆沿一条轴线延伸，该量测杆具有一支连接于该立杆的主杆部及一支连接于该主杆部的第一歧杆部，该主杆部具有一个第一端及一个第二端，该第一端与该第二端其中之一能拆卸且相对于该立杆产生固定利用该第一端或第二端与该立杆固接，及该第一长度与该第二长度不等距的作用，操作该立杆转动，能对不同距离及不同方位进行量测。
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