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[发明专利]一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置-CN202111004489.6在审
发明人：吴鹏;刘风光;赵巍胜 -专利权人：北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，包括：团簇离子加速装置，所述团簇离子加速装置包括第一加速电极和第二加速电极，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号A，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2‑5keV；第一飞行通道，所述第一飞行通道与团簇离子加速装置的输出端连通，加速后的团簇离子在第一飞行通道内自由飞行。本发明通过设置团簇离子加速装置，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2‑5keV，保证了团簇离子的速度差异较小。
一种用于团簇束流综合沉积反射 tof 装置

[发明专利]一种在线监测脉冲气体团簇离子束的方法及系统-CN201710382696.2在审
发明人：瓦西里·帕里诺维奇;曾晓梅;付德君 -专利权人：宜昌后皇真空科技有限公司
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2017-09-01 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明提供了一种在线监测脉冲气体团簇离子束的方法，首先对团簇离子束中的所有团簇离子施加相同的电压，使团簇离子束中不同荷质比的团簇离子具有各自不同的速度；团簇离子经过速度选择器筛选，其中一部分团簇离子偏离，另一部分团簇离子维持原方向从速度选择器出口喷出；用法拉第杯测量喷出的团簇离子束，确定团簇离子数量，并且利用与法拉第杯连接的计算机实时显示离子束流计数结果。本发明利用连续可调的磁场实现脉冲团簇离子的质量选择，判断重团簇离子的存在与数量，实现离子分离、在线测量和监控。
一种在线监测脉冲气体离子束方法系统

[发明专利]一种团簇能量逐级递减的团簇离子束表面抛光方法-CN202110687568.5在审
发明人：瓦西里·帕里诺维奇;曾晓梅;付德君;杨兵 -专利权人：武汉大学深圳研究院
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及团簇离子应用领域，具体涉及一种团簇能量逐级递减的团簇离子束表面抛光方法。团簇离子束对靶材抛光过程中，靶材表面会产生半球形结构孔洞，对于硬度一致的靶材，团簇能量越高，遗留的孔洞直径也越大,而低能团簇溅射率太低，很难除去表面凸起，靶材表面粗糙度难以达到预期。本发明提供的方法在对靶材进行抛光时，采用能量呈阶梯状逐级递减的团簇离子束对靶材抛光，对于靶材上的细高凸起采用高能团簇离子束，宽矮凸起采用中能团簇离子束，最后使用低能团簇离子束除去中高能团簇离子束对靶材造成的孔洞损伤，优化表面形状；对于不同粗糙程度的靶材，还可选择团簇能量阶梯递减的减幅梯度，更符合现场需求，抛光效率及效果好。
一种能量逐级递减离子束表面抛光方法

[发明专利]飞秒激光团簇尺寸的标定方法-CN201310145187.X有效
发明人：张辉;卢海洋;李松;李儒新 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G01B15/00 文献下载
摘要：一种用于飞秒激光团簇相互作用中飞秒激光团簇尺寸的标定方法，包括下列步骤：根据激光团簇相互作用实验中获得的离子飞行时间谱推导实验上的离子能谱；模拟团簇尺寸的对数正态分布；模拟团簇半径的分布；模拟团簇的离子能谱；确定最终的团簇半径分布和团簇尺寸分布；完成了团簇尺寸的标定。实验表明，本发明可以探测团簇的尺寸范围很大，能够对团簇平均尺寸实现绝对标定，并且可以得到团簇尺寸分布的准确信息，是一种非常有效的诊断团簇尺寸的方法。
激光尺寸标定方法

[发明专利]利用气体团簇离子束的固体表面平坦化方法及固体表面平坦化设备-CN200780040778.3有效
发明人：佐藤明伸;铃木晃子;伊曼纽尔·布雷尔;松尾二郎;瀬木利夫 -专利权人：日本航空电子工业株式会社
申请日： 2007-10-30 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：通过气体团簇离子束照射降低存在于固体表面中的划痕或者类似的表面粗糙。利用气体团簇离子束的固体表面平坦化方法包括用气体团簇离子束照射固体表面的照射过程。该照射过程包括引起来自多个方向的团簇与固体表面上被气体团簇离子束照射的至少这些区域(点)碰撞的步骤。通过其中团簇的分散方向关于束中心发散的气体团簇离子束来进行对这些点的来自多个方向的团簇碰撞。
利用气体离子束固体表面平坦方法设备

[发明专利]一种基于激光解离的裸金属团簇离子的制备方法-CN201811140765.X在审
发明人：王方军;刘哲益;肖春雷;李杲 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01N27/64 文献下载
摘要：本发明专利涉及一种基于激光解离配基保护的金属团簇分子制备无配基保护的裸金属团簇离子的方法及装置。其特征为：通过电喷雾离子化方法将包含外周保护配基和金属内核的团簇分子引入真空系统，随后使用激光轰击气相中的金属团簇离子，从而产生包含不同原子数的裸金属团簇离子。该方法快速简单、高效稳定，为金属团簇离子的制备提供了全新的有效手段。
一种基于激光解离金属离子制备方法

[发明专利]一种利用气体团簇溅射靶材引出离子束流的方法及离子源-CN201910047089.X有效
发明人：曾晓梅;瓦西里·帕里诺维奇;谢尔盖·别雷赫;亚历山大·托斯托古佐夫;付德君 -专利权人：武汉江海行纳米科技有限公司
申请日： 2019-01-18 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： H01J37/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用气体团簇溅射靶材引出离子束流的方法，首先利用气体团簇离子源产生气体重团簇；接着气体重团簇轰击纳米靶材，溅射出靶物质，包括单体和小团簇；最后溅射出的单体、小团簇与电子碰撞被电离成离子，离子经过电场加速并进行磁质分离获得离子束流。本发明同时提供了一种基于所述方法的气体团簇溅射固体离子源，包括由依次连通的气体团簇离子源管段、溅射室和靶材原子溅射管段组成的真空腔室，所述靶材原子溅射管段依次设有第一离化器、第一加速器、单透镜和电磁铁。本发明提供的一种利用气体团簇溅射靶材引出离子束流的方法及离子源，成本低、安全可靠、无污染，能在不使用铯和钽丝的情况下获得离子束。
一种利用气体溅射引出离子束方法离子源

[发明专利]自由团簇时间分辨发光谱的测量方法-CN202111465235.4有效
发明人：刘飞;蒋逸伦;韩民 -专利权人：南京大学
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明公开了自由团簇时间分辨发光谱的测量方法，所述方法通过团簇源产生团簇束流，通过团簇离子光学聚焦系统形成沿系统轴线飞行的平行束流，经团簇质量选择器形成单一尺寸团簇束流，然后经离子加速系统使团簇进入以选定的速度自由飞行的空间，在飞行过程中通过激光照射窗口对团簇给予连续激光照射，并通过单光子探测器测量团簇发光强度。与现有技术相比，本发明的优点在于：实现了对单个团簇粒子发光的动态追踪测量，可以对大量的单团簇粒子发光信号进行长时间累积测量，克服了以往采用离子阱技术通过电磁场进行精细的三维定点约束所带来的操控复杂、实验困难，以及离子阱内样本数过少造成的发光信号微弱等问题，使测量条件和成本大为简化。
自由时间分辨光谱测量方法

[发明专利]利用气体团簇离子束的固体表面加工方法-CN200780040678.0有效
发明人：铃木晃子;佐藤明伸;伊曼纽尔·布雷尔;松尾二郎;瀬木利夫 -专利权人：日本航空电子工业株式会社
申请日： 2007-10-30 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：提供了一种用气体团簇离子束加工固体表面的方法，该方法包括：团簇保护层形成步骤，在固体表面上形成凹凸结构，该凹凸结构包括其顶部覆盖有团簇保护层的凸部和没有覆盖有团簇保护层的凹部；照射步骤，以气体团簇离子束照射具有在团簇保护层形成步骤中形成的非平面结构的固体表面；以及去除团簇保护层的去除步骤。团簇保护层的厚度T满足公式(I)的关系：（见图）其中n是气体团簇离子束的剂量，以及其中团簇保护层的蚀刻效率是指每个团簇的蚀刻体积Y(假定a和b为常数)。
利用气体离子束固体表面加工方法

[实用新型]一种保证纳米材料纯度的团簇离子束纳米加工设备-CN202022148017.5有效
发明人：曾晓梅;瓦西里.帕里诺维奇;左文彬;付德君 -专利权人：武汉江海行纳米科技有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： B02C4/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种保证纳米材料纯度的团簇离子束纳米加工设备，包括团簇离子束纳米加工机，团簇离子束纳米加工机的底部固定安装有安装架，安装架的内部固定安装有纳米团簇离子检测桶，纳米团簇离子检测桶的一侧固定安装有团簇离子回流管，团簇离子回流管的外部固定套接有回流泵，回流泵的正面固定安装有旋转电机，旋转电机的输出端固定安装有回流扇叶，团簇离子束纳米加工机的顶部固定安装有纳米粒子检测桶。通过启动安装的转动电机可以纳米粒子分离杆进行旋转，在旋转的过程中，通过安装的纳米粒子筛网可以将合格的纳米粒子落入团簇离子束纳米加工机内进行加工，可以有效的保证了加工所用的纳米材料的纯度。
一种保证纳米材料纯度离子束加工设备

[发明专利]一种双反射式飞行时间质谱光电子速度成像仪-CN201711229002.8在审
发明人：唐紫超;王永天;施再发;张将乐;刘方刚;王可 -专利权人：厦门大学
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：一种双反射式飞行时间质谱光电子速度成像仪，设有激光溅射离子源、冷却离子阱、飞行时间质谱和负离子光电子速度成像系统；激光溅射离子源用于生成团簇离子，产生的团簇离子进入冷却离子阱囚禁冷却后被加速场垂直加速进入飞行时间质谱，负离子光电子速度成像系统对出射光电子进行探测，得中性团簇电子结构的光电子能谱。利用激光溅射离子源生成团簇离子，产生的团簇离子进入线性离子阱囚禁冷却后被加速场垂直加速进入飞行时间质谱，通过质谱探测获得产生团簇离子的强度分布。分析质谱后，选择特定团簇负离子，与脱附激光相互作用，产生中性分子和光电子。利用负离子光电子速度成像系统对出射光电子进行探测，得中性团簇电子结构的光电子能谱。
一种反射飞行时间光电子速度成像

[发明专利]一种稀土发光团簇酶及其制备方法和应用-CN202210732367.7有效
发明人：陈扬;王莉 -专利权人：东南大学
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C09K11/77 文献下载
摘要：本发明公开了一种稀土发光团簇酶及其制备方法和在催化测定5‑羟基色胺（血清素）中的应用。这种稀土发光团簇酶是由铕离子、铜离子、1,10‑菲啰啉在聚乙烯吡咯烷酮水溶液中被盐酸羟胺还原形成的铜团簇。这种稀土发光团簇酶既有铜团簇的蓝光发射又有铕离子的红光发射，是一种双重发光的团簇酶；既具有铜团簇的催化功能又有发光检测5‑羟基色胺的传感功能，是一种双重功能的团簇酶。该稀土发光团簇酶的制备无需复杂有机反应，在水相、室温下完成，合成简便。该稀土发光团簇酶超小的尺寸及高催化活性在生物医学领域有良好的应用前景。
一种稀土发光团簇酶及其制备方法应用

[发明专利]一种基于质谱的金团簇离子反应活性分析方法-CN201811139526.2在审
发明人：王方军;刘哲益;肖春雷;李杲 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于质谱的金团簇离子反应活性分析方法。采用电喷雾离子化方法将由配基保护的金团簇分子离子化并传输入气相，利用二级解离技术对配基保护的金团簇分子进行高效解离，得到一系列原子数连续的裸金团簇离子；然后通入反应气体，利用高分辨质谱对反应产物进行高通量分析，从而测定不同原子数目裸金团簇离子对于特定反应气体的反应活性。
一种基于金团簇离子反应活性分析方法

[实用新型]一种直线式飞行时间质谱垂直式光电子速度成像仪-CN201922272472.3有效
发明人：唐紫超;张将乐;陈善俊;邱兴泰;陈玉婉 -专利权人：厦门大学
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：一种直线式飞行时间质谱垂直式光电子速度成像仪，包括离子源室、加速室、透镜室、探测室及成像室,该离子源室用于生成离子团簇，该加速室将离子团簇加速推出，该透镜室用于保证离子团簇的聚焦及其飞行方向；该探测室用于检测离子团簇的分布信息，并选择感兴趣的离子团簇进入成像室；成像室设有离子透镜、加速电极、磁屏蔽筒和成像探测器；该离子透镜用于聚焦离子团簇至加速电极，在加速电极处与一脱附激光互相作用产生光电子并加速，成像探测器探测光电子并采集图像信息
一种直线飞行时间垂直光电子速度成像

[发明专利]一种无机聚离子团簇及其制备方法和应用-CN201710486463.7有效
发明人：刘昭明;唐睿康;徐旭荣 -专利权人：浙江大学
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： C01F11/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种无机聚离子团簇的制备方法，包括：将无机盐溶解于相对介电常数≤35的溶剂中，以有机小分子胺类化合物为封端剂，加入无机酸或有机酸，静置，离心分离得具有流动性的无机聚离子团簇。所得无机聚离子团簇为具有纳米级尺寸的部分支化的线状聚离子团簇，具有一定的流动性，通过去除无机聚离子团簇中的封端分子，可以使无机聚离子团簇发生聚合，从而用于制备毫米级尺度的连续块体、片状的无定形或结晶材料
一种无机离子及其制备方法应用

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