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[发明专利]磷酸刻蚀溶液-CN201910917946.7有效
发明人：徐融;苏界;孙文斌 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C09K13/06 文献下载
摘要：本发明提供一种磷酸刻蚀溶液，其包括磷酸刻蚀剂及硅刻蚀抑制剂，所述硅刻蚀抑制剂包括还原性添加剂。所述磷酸刻蚀溶液能够避免外延硅层被刻蚀，进而提高存储器的性能。
磷酸刻蚀溶液

[发明专利]一种磷酸中偏磷酸含量的检测方法-CN201610721846.3在审
发明人：徐冉;杜建侠;韩国苗;肖青燕;薛数数 -专利权人：湖北省兴发磷化工研究院有限公司
申请日： 2016-08-25 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：本发明公开了一种磷酸中偏磷酸含量的检测方法，1）先配制偏磷酸溶液，然后取不同量的偏磷酸溶液配置成具有不同浓度的标准溶液，每个标准溶液中加入了相同量的蛋白溶液和缓冲溶液；再对不同浓度的标准溶液测定吸光度，绘制偏磷酸的标准曲线，并建立相应的偏磷酸浓度与吸光度的线性关系方程；2）取磷酸样品制备成样品溶液，样品溶液中加入了与步骤1）相同量的蛋白溶液和缓冲溶液；然后对样品溶液测定吸光度，将其代入步骤1）得到的线性方程中，经过换算得出磷酸样品中偏磷酸的百分含量。该方法可以快速准确的测定磷酸中的偏磷酸含量，易于操作，可实时监测偏磷酸含量并指导生产。
一种磷酸含量检测方法

[发明专利]一种磷酸溶液投料系统-CN202211185524.3在审
发明人：余孟华;黄然;祁洪福;孙杰;何中林;林硕;林平均 -专利权人：湖北融通高科先进材料有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B01F35/83 文献下载
摘要：本发明提供一种磷酸溶液投料系统，应用于磷酸铁锂正极材料生产线中，包括用以储存磷酸溶液的储存单元、计量单元及控制单元，所述储存单元与所述计量单元通过管道相连通，所述计量单元包括检测仓及计量仓，检测仓用以检测流经的磷酸溶液中的磷酸浓度，控制单元可以根据检测到的磷酸浓度计算出所需的磷酸溶液投放量，并根据磷酸溶液投放量控制储存单元中的磷酸溶液流入到计量仓中，计量仓可以检测进入其内的磷酸溶液重量。根据本发明的磷酸溶液投料系统，通过设置检测仓检测磷酸浓度，从而精确计算出磷酸溶液投放量。并通过设置计量仓，提高磷酸溶液投放量测量精确度，从而避免因材料配比失衡导致生产出的磷酸铁锂正极材料各项指标受到影响。
一种磷酸溶液投料系统

[发明专利]木屑与磷酸溶液的连续自动配料混合设备-CN201910158486.4在审
发明人：蒋应梯;庄晓伟;潘炘;王进;于海霞;张文福 -专利权人：浙江省林业科学研究院
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： C01B32/39 文献下载
摘要：木屑与磷酸溶液的连续自动配料混合设备，它由双螺旋叶、蒸汽管接口、双螺旋壳体、加热夹套、磷酸溶液贮罐、磷酸溶液控制阀门、磷酸溶液流速计、磷酸溶液淋喷头、磷酸输液管、木屑料仓、给料螺旋、计量螺旋和疏水阀所组成在双螺旋壳体中安装双螺旋叶；在双螺旋壳体外面设置水蒸汽加热夹套；双螺旋壳体的一端与计量螺旋相连，在计量螺旋上方安装给料螺旋，使木屑定量加入双螺旋壳体中；木屑料仓安装在给料螺旋一端的上方；磷酸溶液贮罐安装在双螺旋壳体上方，用磷酸输液管将磷酸溶液贮罐与磷酸溶液淋喷头相联接，在磷酸输液管上安装磷酸溶液流速计，这样就可确定木屑和磷酸的比例，实现木屑和磷酸的连续配料与捏合搅拌目的。
磷酸溶液双螺旋木屑磷酸壳体给料螺旋计量螺旋输液管贮罐混合设备自动配料淋喷头流速计料仓捏合水蒸汽加热蒸汽管接口加热夹套壳体外面控制阀门连续配料疏水阀夹套联接

[实用新型]木屑与磷酸溶液的连续自动配料混合设备-CN201920267445.4有效
发明人：蒋应梯;庄晓伟;潘炘;王进;于海霞;张文福 -专利权人：浙江省林业科学研究院
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： C01B32/39 文献下载
摘要：木屑与磷酸溶液的连续自动配料混合设备，它由双螺旋叶、蒸汽管接口、双螺旋壳体、加热夹套、磷酸溶液贮罐、磷酸溶液控制阀门、磷酸溶液流速计、磷酸溶液淋喷头、磷酸输液管、木屑料仓、给料螺旋、计量螺旋和疏水阀所组成在双螺旋壳体中安装双螺旋叶；在双螺旋壳体外面设置水蒸汽加热夹套；双螺旋壳体的一端与计量螺旋相连，在计量螺旋上方安装给料螺旋，使木屑定量加入双螺旋壳体中；木屑料仓安装在给料螺旋一端的上方；磷酸溶液贮罐安装在双螺旋壳体上方，用磷酸输液管将磷酸溶液贮罐与磷酸溶液淋喷头相联接，在磷酸输液管上安装磷酸溶液流速计，这样就可确定木屑和磷酸的比例，实现木屑和磷酸的连续配料与捏合搅拌目的。
磷酸溶液双螺旋木屑磷酸壳体给料螺旋计量螺旋输液管贮罐淋喷头流速计料仓水蒸汽加热蒸汽管接口捏合混合设备加热夹套壳体外面控制阀门连续配料自动配料疏水阀夹套联接

[发明专利]一种二氟磷酸锂联产六氟磷酸锂的制备方法-CN202310679775.5在审
发明人：王笃涛;王昊 -专利权人：东营领仕科技咨询有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C01D15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种二氟磷酸锂联产六氟磷酸锂的制备方法，包括如下步骤：1)将磷酸锂溶解在碳酸酯溶剂中，得到磷酸锂溶液，调节所述溶液的温度为5‑10℃；2)向前述磷酸锂溶液中通入五氟化磷气体逐步进行反应，生成二氟磷酸锂和氟化锂，氟化锂继续和五氟化磷反应生成六氟磷酸锂，最终磷酸锂和五氟化磷摩尔比1：2±0.1，得到二氟磷酸锂和六氟磷酸锂溶液，其中六氟磷酸锂溶解于碳酸酯溶液中形成六氟磷酸锂溶液，二氟磷酸锂微溶于碳酸酯，以晶体的形式析出形成浊液；3)分离六氟磷酸锂溶液和二氟磷酸锂浊液，晶体二氟磷酸锂干燥后得到成品，液相六氟磷酸锂调整浓度后可直接进入电解液体系。
一种磷酸联产制备方法

[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN201880073324.4在审
发明人：堀口修 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-10-09 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：向在表面露出有硅氧化膜和硅氮化膜的衬底供给含有硅的磷酸水溶液、选择性地将硅氮化膜蚀刻的衬底处理方法。该方法包括下述工序：将含有规定硅浓度范围的硅的磷酸水溶液贮存于罐的工序；将罐内的磷酸水溶液供给至喷嘴，并从喷嘴向衬底供给磷酸水溶液而对衬底进行处理的工序；将用于衬底处理的使用后的磷酸水溶液回收至罐的回收工序；将以第1浓度含有硅的第1磷酸水溶液向罐供给的第1磷酸水溶液供给工序；将以低于第1浓度的第2浓度含有硅的第2磷酸水溶液向罐供给的第2磷酸水溶液供给工序；满足规定的补充开始条件时，开始第1及第2磷酸水溶液供给工序的开始判定工序；和确定第1及第2磷酸水溶液的供给量的供给量确定工序。
衬底处理方法装置

[发明专利]基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质-CN201710899650.8有效
发明人：佐藤秀明 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-09-28 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：该基板液处理装置在设置于液处理部(39)的处理槽(34)内贮存磷酸水溶液，将基板浸于处理槽所贮存的磷酸水溶液中，由此对该基板进行处理。在基板浸于处理槽内的磷酸水溶液中的第一期间，利用磷酸水溶液排出部(43)以第一排出流量从液处理部(39)排出磷酸水溶液，并且利用磷酸水溶液供给部(40)向液处理部供给磷酸水溶液。在另外的第二期间，利用磷酸水溶液排出部以与第一排出流量不同的第二排出流量从液处理部排出磷酸水溶液，并且利用磷酸水溶液供给部向液处理部供给磷酸水溶液。
基板液处理装置方法存储介质

[发明专利]磷酸根离子基颗粒的制备方法-CN201710934415.X有效
发明人：秦伟伟;秦涛 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2017-10-10 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： C01B25/32 文献下载
摘要：本发明公开了磷酸根离子基颗粒的制备方法，包括磷酸钙颗粒和/或磷酸镁颗粒的制备方法以及磷酸钙纳米颗粒的制备方法。该磷酸钙颗粒和/或磷酸镁颗粒的制备方法包括以下步骤：1)通过将阳离子溶液与磷酸盐溶液混合，在室温下形成澄清水溶液；所述澄清水溶液的初始pH值为4.0‑10；2)使所述镁离子、钙离子和磷酸根离子通过水热法生成磷酸钙颗粒和/或磷酸镁颗粒沉淀。该磷酸钙纳米颗粒的制备方法包括以下步骤：1)将阳离子溶液加热至60‑100℃；2)将磷酸盐溶液加热至60‑100℃；3)直接混合两种溶液并立即形成磷酸钙纳米颗粒沉淀。该方法操作简单，可以有效调节磷酸钙颗粒和磷酸镁颗粒的形貌和结构。
磷酸离子颗粒制备方法

[发明专利]磷酸铁和磷酸铁锂的制备方法及磷酸铁、磷酸铁锂材料-CN201810049682.3在审
发明人：张友祥;马晓玲;郭方亚 -专利权人：林立（武汉）新能源科技有限公司
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： C01B25/37 文献下载
摘要：本发明公开了一种磷酸铁和磷酸铁锂的制备方法及磷酸铁、磷酸铁锂材料，属于无机材料技术领域。所述磷酸铁的制备方法包括：分别配制铁盐溶液和磷酸(盐)溶液；其中，铁盐溶液和磷酸(盐)溶液的浓度小于5mol/L；将所述铁盐溶液与磷酸(盐)溶液混合，搅拌形成混合溶液；其中，磷酸(盐)与铁盐的摩尔比不小于1:1；将所述混合溶液于70～90℃保温反应得到反应产物，将反应产物中的沉淀物分离并洗涤、干燥，得到单斜晶系、均匀纳米圆盘状磷酸铁。使用该方法制备的磷酸铁合成出的锂离子电池正极材料磷酸铁锂有很好的高功率性能和低温性能，利于电池的快充电和低温充放电。本发明制备方法简单，产品形貌易于调控，适于大规模化工业生产。
磷酸铁制备磷酸磷酸铁锂铁盐溶液磷酸铁锂材料混合溶液锂离子电池正极材料低温充放电保温反应产品形貌单斜晶系低温性能均匀纳米溶液混合无机材料高功率摩尔比圆盘状铁盐配制洗涤充电电池合成调控

[发明专利]一种高吸附性的磷酸铝佐剂制备方法和磷酸铝佐剂及应用-CN202210886035.4有效
发明人：陈中伟;孙述学;马浩亮;高凯;陈倩;王光彬;辛晓韵 -专利权人：北京成大天和生物科技有限公司;辽宁成大生物股份有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C01B25/36 文献下载
摘要：本申请涉及医药技术领域，具体公开了一种高吸附性的磷酸铝佐剂制备方法和磷酸铝佐剂及应用。磷酸铝佐剂制备方法包括如下步骤：S1、配制铝盐溶液、碱性磷酸盐溶液；S2、采用ÄKTA层析仪的A泵、B泵，分别将铝盐溶液、碱性磷酸盐溶液同时向ÄKTA层析仪中进料，铝盐溶液、碱性磷酸盐溶液于ÄKTA层析仪的梯度混合器进行混料，获得磷酸铝溶液；S3、将磷酸铝溶液进行置换处理，获得磷酸铝沉淀。S4、将磷酸铝沉淀进行灭菌处理，重悬处理，获得磷酸铝佐剂。该制备方法得到的磷酸铝佐剂，具有便于制备、制备稳定、粒度分散性好、粒度分散均匀且分布集中、高吸附性的优点，满足市场需求。
一种吸附性磷酸佐剂制备方法应用

[发明专利]一种利用微通道反应装置连续生产乙酰磷酸盐的方法-CN201610231291.4有效
发明人：应汉杰;朱晨杰;郭凯;沈涛;濮玲玲 -专利权人：南京工业大学
申请日： 2016-04-14 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： C07F9/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用微通道反应装置连续生产乙酰磷酸盐的方法，包括如下步骤(1)磷酸溶液、乙酸酐溶液分别同时泵入微结构混合器Ⅰ中，混合均匀后，再泵入微通道反应器Ⅰ中反应，得到乙酰磷酸溶液；(2)将乙酰磷酸溶液、碱溶液分别同时泵入微结构混合器II中，再泵入微通道反应器II中反应，得到乙酰磷酸盐溶液；(3)将乙酰磷酸盐溶液静置、析晶、过滤、干燥，得到乙酰磷酸盐。本发明对磷酸的转化率100％，乙酰磷酸盐的产率为93％以上。
一种利用通道反应装置连续生产乙酰磷酸盐方法

[发明专利]基板处理装置-CN201310055320.2有效
发明人：高桥朋宏;荒木浩之 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2013-02-21 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： G01N27/60 文献下载
摘要：本发明的基板处理装置，包括：循环路，包括贮存磷酸水溶液的处理槽、输送磷酸水溶液的循环泵、对磷酸水溶液进行加热的循环用加热器、对磷酸水溶液进行过滤的过滤器，使从处理槽排出的磷酸水溶液依次流过循环泵、循环用加热器、过滤器，并且使磷酸水溶液从过滤器返回上述处理槽中；分支管，在循环用加热器与过滤器之间从循环路分支，从循环路中提取磷酸水溶液；浓度测定部，与分支管相连通连接，通过电位差测定法测定磷酸水溶液中的硅浓度。
处理装置

[发明专利]混合装置、混合方法以及基板处理系统-CN202010134070.1在审
发明人：野中纯;稻田尊士;小仓康司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-03-02 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：高效地混合磷酸水溶液和抑制硅氧化物的沉积的添加剂。本公开的一个方式的混合装置具备磷酸水溶液供给部、添加剂供给部、罐、磷酸水溶液供给线路以及添加剂供给线路。磷酸水溶液供给部用于供给磷酸水溶液。磷酸水溶液供给线路将磷酸水溶液供给部与罐连接。添加剂供给线路将添加剂供给部与罐连接。另外，混合装置一边对从磷酸水溶液供给部供给到罐的磷酸水溶液提供流动性，一边供给添加剂。
混合装置方法以及处理系统

[发明专利]一种高纯度磷酸铁的制备方法-CN202210820483.4有效
发明人：魏东;伍思泳;魏利;李春颖;张昕昕;骆尔铭;欧阳嘉;韩汶凯 -专利权人：国环电池科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C01B25/37 文献下载
摘要：一种高纯度磷酸铁的制备方法，涉及磷酸铁制备技术领域。本发明的目的是为了解决传统的湿法制备磷酸铁技术反应过程需要调节PH和控制反应速度，参与反应的离子多导致后续洗涤除杂要求高，以及制备得到的磷酸铁材料纯度低、产率低的问题。方法：步骤S1：配制氯化铁溶液；步骤S2：配制磷酸二氢铵溶液；步骤S3：将聚合氯化铝溶液加入到磷酸二氢铵溶液中，搅拌均匀，得到溶液a；步骤S4：将溶液a加入到氯化铁溶液中，搅拌反应，得到溶液b；步骤S5：将溶液b过滤，洗涤，烘干，得到磷酸铁固体；步骤S6：将磷酸铁固体高温煅烧，得到高纯度磷酸铁。本发明可获得一种高纯度磷酸铁的制备方法。
一种纯度磷酸制备方法

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