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[发明专利]一种油田用驱油缓蚀两效剂及其制备方法-CN201911116605.6在审
发明人：董三宝;高敏兰;朱世东;陈世军;陈刚 -专利权人：西安石油大学
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C09K8/584 文献下载
摘要：本发明涉及一种油田用驱油缓蚀两效剂及其制备方法。其使用下述方法制备得到：常温下将多乙烯多胺和长链脂肪酸混合，加热回流2‑6小时；反应完毕后，再加入溶剂和阴离子化试剂、碱以及催化剂；加热、反应、过滤、洗涤，滤液集中后向其中加入木质素盐，蒸出溶剂，即得到驱油缓蚀两效剂所述驱油缓蚀两效剂具有良好的岩心驱替提高驱油效率和油田水中缓蚀率。
一种油田用驱油缓蚀两效剂及其制备方法

[发明专利]光致抗蚀剂组合物-CN200910208089.X无效
发明人：金柄郁;俞载元;郭恩珍;金云龙 -专利权人：株式会社东进世美肯
申请日： 2009-10-27 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供光致抗蚀剂组合物，该光致抗蚀剂组合物的电路线宽均匀性、分辨率、显影对比度、粘合性优异，特别是感光速度、残膜率和耐热性优异。本发明涉及使用在液晶显示装置电路、半导体集成电路等的精细电路制造中的光致抗蚀剂组合物，更具体地说，本发明涉及含有如下物质的光致抗蚀剂组合物：a)碱溶性树脂；b)光敏性化合物；c)胶体状无机物；和d)有机溶剂
光致抗蚀剂组合

[发明专利]动车专用环保型清洗剂-CN200910072912.9无效
发明人：姚春彪 -专利权人：姚春彪;汤德辉
申请日： 2009-09-17 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： C11D1/12 文献下载
摘要：动车专用环保型清洗剂，包括表面活性剂(40-60％)、螯合剂(20-30％)、阻蚀剂(5-10％)、无机碱(5-10％)组成。所述表面活性剂是十二烷基苯磺酸钠，螯合剂是乙二胺四乙酸二钠，阻蚀剂是乌洛托品、无机碱是偏硅酸钠。
动车专用环保洗剂

[发明专利]煲模液回收氢氧化铝和硫酸钠的氧化线系统及工艺-CN201810843468.5有效
发明人：熊映明 -专利权人：佛山市三水雄鹰铝表面技术创新中心有限公司
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：煲模液回收氢氧化铝和硫酸钠的氧化线配置及工艺，其配置中，二次滤液收集池、六号泵、煲模槽、废水导流沟和煲模液收集罐相邻连接；煲模槽用于铝材的煲模；除油槽、流动水洗槽、碱蚀槽、第一碱蚀液截留槽、第二碱蚀液截留槽、高压雾化喷淋槽和中和槽依次连接；煲模液收集罐、七号泵和碱蚀槽依次连接；第二碱蚀液截留槽、九号泵和二次滤液收集池依次连接；第一碱蚀液截留槽、八号泵和碱蚀液收集罐依次连接；碱蚀液收集罐收集碱蚀废液，并传至反应液处理系统；反应液处理系统、滤液收集系统和一次滤液分离系统依次连接；其工艺将碱蚀废液于反应液处理系统内加入氧化废液反应，通过滤液收集系统和一次滤液分离系统分离出氢氧化铝和硫酸钠。
煲模液回收氢氧化铝硫酸钠氧化系统工艺

[发明专利]负型抗蚀剂膜层叠体及图案形成方法-CN202180040680.8在审
发明人：平野祯典;浅井聪 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G03F7/038 文献下载
摘要：本发明提供负型抗蚀剂膜层叠体，其具备作为第一支承体的热塑性膜和负型抗蚀剂膜，其中，所述负型抗蚀剂膜包含：(A)具有酚羟基的碱可溶性树脂、(B)包含聚酯的增塑剂、(C)光致产酸剂、(D)在1分子中包含平均
负型抗蚀剂膜层叠图案形成方法

[发明专利]用于将厚膜成像的光致抗蚀剂组合物-CN200480007647.1有效
发明人： R·R·达米尔;S·迈耶;M·A·斯帕克 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2004-03-09 - 公布日： 2006-04-19 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及一种特别可用于将厚膜成像的光敏性光致抗蚀剂组合物，其含有成膜性碱溶性树脂，光活性化合物，和基于光致抗蚀剂总重量计的含量范围在约2000ppm～约14,000ppm的表面活性剂。优选光致抗蚀剂膜厚度大于20微米。本发明进一步提供一种本发明光敏性组合物的涂覆和成像方法。
用于将厚膜成像光致抗蚀剂组合

[发明专利]感光性树脂和微透镜的制造方法-CN200880013847.6有效
发明人：根木隆之;坂口崇洋;岸冈高广 -专利权人：日产化学工业株式会社
申请日： 2008-05-14 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： G03F7/023 文献下载
摘要：作为本发明的解决问题的方法是，提供一种正型抗蚀剂组合物，含有碱溶性聚合物(A)和化合物(B)，所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单元，所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团该正型抗蚀剂组合物具有在波长633nm下折射率为1.6以上、在波长400～730nm下透射率为80％以上的涂膜物性。本发明还提供微透镜的制造方法，该制造方法包括将正型抗蚀剂组合物涂布在基板上，并进行干燥、曝光，然后进行显影的工序。
感光性树脂透镜制造方法

[发明专利]一种光致抗蚀剂的剥离液组合物-CN202010989674.4在审
发明人：陈建平;陈亮周;刘元;尹红桥 -专利权人：珠海市丹尼尔电子科技有限公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明涉及抗蚀剂技术领域，且公开了一种光致抗蚀剂的剥离液组合物，包括以下含量的原料组成：有机碱1％‑25％，加速剂0.1‑30％，表面活性剂0.1‑15％，渗透剂0.1‑10％，护铜剂0.1‑8％，干膜收缩剂该光致抗蚀剂的剥离液组合物，可以在最短时间内促使干膜碎裂并变性，已最大限度减少对介电层攻击，甚至不攻击，适用于IC载板或是晶圆制作时厚度为100μm以上的光致抗蚀剂膜的剥离，以克服现有技术剥离方法无法完全将光致抗蚀剂膜退除干净
一种光致抗蚀剂剥离组合

[发明专利]一种光致抗蚀剂的剥离液组合物-CN201110109687.9无效
发明人：张军;常积东;李承孝 -专利权人：西安东旺精细化学有限公司
申请日： 2011-04-29 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明提供一种光致抗蚀剂的剥离液组合物，包括无机碱、有机碱、水溶性有机溶剂、防腐蚀剂和水。无机碱和有机碱的质量配比为，无机碱∶有机碱＝1∶30～30∶1。
一种光致抗蚀剂剥离组合

[发明专利]正性光致抗蚀剂和形成光致抗蚀剂的方法-CN200480020267.1无效
发明人：增田靖男;奥井俊树 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2004-07-15 - 公布日： 2006-08-23 - 主分类号： C08G8/00 文献下载
摘要：一种包含碱溶性酚醛清漆树脂(A)和光敏剂(B)的正性光致抗蚀剂组合物，所述碱溶性酚醛清漆树脂(A)含有下列通式(I)表示的结构单元(a1)和下列通式(II)表示的结构单元(a2)。
正性光致抗蚀剂形成光致抗蚀剂方法

[发明专利]正型抗蚀剂组合物及抗蚀图案的形成方法-CN200410045257.5无效
发明人：大久保和喜;萩原三雄;新田和行 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2004-06-04 - 公布日： 2005-02-02 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：一种正型抗蚀剂组合物，其中含有通过酸的作用可增大碱溶性的树脂成分(A)、和通过曝光可产生酸的酸产生剂成分(B)，其特征在于上述(A)成分中含有由羟基苯乙烯衍生的结构单元(a1)、和下记通式(I)所示的由(甲基)丙烯酸酯衍生的结构单元(a2)，上述(B)成分中作为主要成分含有重氮甲烷类酸产生剂。根据本发明可以提供一种可改善抗蚀图案侧壁的驻波态的正型抗蚀剂组合物、以及使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀图案的形成方法。
正型抗蚀剂组合图案形成方法

[发明专利]正型抗蚀剂组合物及抗蚀图案的形成方法-CN200610151829.7无效
发明人：大久保和喜;萩原三雄;新田和行 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2004-06-04 - 公布日： 2007-02-21 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：一种正型抗蚀剂组合物，其中含有通过酸的作用可增大碱溶性的树脂成分(A)、和通过曝光可产生酸的酸产生剂成分(B)，其特征在于上述(A)成分中含有由羟基苯乙烯衍生的结构单元(a1)、和下记通式(I)所示的由(甲基)丙烯酸酯衍生的结构单元(a2)，上述(B)成分中作为主要成分含有重氮甲烷类酸产生剂。根据本发明可以提供一种可改善抗蚀图案侧壁的驻波态的正型抗蚀剂组合物、以及使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀图案的形成方法。
正型抗蚀剂组合图案形成方法

[实用新型]一种金相腐蚀废液回收处理装置-CN202021365720.5有效
发明人：王宇;秦利;屈玉石;苗承义;张富亮;王周冰;冯志强 -专利权人：辽宁忠旺集团有限公司
申请日： 2020-07-13 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型属于废弃物回收处理技术领域，涉及一种金相腐蚀废液回收处理装置，包括卡设在工作台上的碱蚀槽、碱液浓度调节槽、酸洗槽和酸液浓度调节槽，碱蚀槽和碱液浓度调节槽底部连通有带排水管的碱蚀产物分解箱，碱蚀槽和酸洗槽之间连通有带排水管的废液中和槽，废液中和槽与碱蚀产物分解箱管路连通，碱蚀产物分解箱中安装有加热过滤装置，酸洗槽和酸液浓度调节槽底部连通有带双向循环水泵的双向流管，解决铝型材宏观金相腐蚀检验过程中，碱蚀槽、酸洗槽内反应所产生的废液污染环境
一种金相腐蚀废液回收处理装置

[发明专利]一种集成电路板制造用批量碱蚀系统-CN202210088987.1在审
发明人：段顺利;王景荣 -专利权人：无锡牛斗时空科技有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成电路板制造用批量碱蚀系统，包括无顶的底盒、无顶的碱蚀箱、两个振晃机构和多个加热机构，还包括底板，所述底板的顶部外壁靠近两侧边缘处均固定连接有多个支撑块，支撑块的侧壁与底盒的两侧外壁固定连接，所述底盒的四侧内壁靠近顶端内壁通过螺栓固定有同一个橡胶框，橡胶框的四侧内壁分别与碱蚀箱的四侧外壁粘接，所述碱蚀箱的两侧外壁靠近右侧端处均通过螺栓固定有侧板。本发明是一种集成电路板制造用批量碱蚀系统，可以对集成电路板的半成品进行批量碱蚀，可以对碱蚀液进行晃动，使得碱蚀液往复式的冲在电路板半成品的表面，以加速对电路板半成品的碱蚀。
一种集成电路板制造批量系统

[发明专利]正型抗蚀剂组合物的制备方法、正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法-CN200680026355.1有效
发明人：室井雅昭;厚地浩太;中村孝弘;山田雅和;最所贤介 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2006-05-18 - 公布日： 2008-07-16 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供一种正型抗蚀剂组合物的制备方法，其中，具有使正型抗蚀剂组合物通过具备尼龙制的膜的过滤器(f1)的工序(I)，所述正型抗蚀剂组合物是将因酸的作用而碱可溶性增大的树脂成分(A)和曝光下产生酸的产酸剂成分通过本发明，可以提供能够形成同时减轻了架桥系缺陷和再析出系缺陷的抗蚀图案的正型抗蚀剂组合物的制备方法、正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法。
正型抗蚀剂组合制备方法图案形成