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[实用新型]一种石英舟焊接模具-CN201520008407.9有效
发明人：宋伟宏;沈根法 -专利权人：湖州奥博石英科技有限公司
申请日： 2015-01-07 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种石英舟焊接模具，其特征在于包括石英管件、石英板。石英管件包括两个宽面和两个窄面，宽面包括含4根石英管的宽面A和含2根石英管的宽面B。石英板包括底座、多个卡槽。石英板的底座与石英管件的宽面A通过焊接连接。本实用新型提供了一种能准确地将石英板和石英管件倒置并焊接在一起形成石英舟的模具。
一种石英焊接模具

[实用新型]一种外延工艺石英焊件组件-CN201922315396.X有效
发明人：张忠恕;王连连;赵鹤;陈强;于洋;冯继瑶;张娟;边占宁;孙云涛;李宝军;张连兴;王建立 -专利权人：北京凯德石英股份有限公司
申请日： 2019-12-21 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： C03B23/207 文献下载
摘要：本实用新型公开一种外延工艺石英焊件组件，包括第一乳白砣石英环、第一透明石英、配阶台、石英环片、第一配合沿、第二乳白砣石英、对接槽、第二配合沿，所述第一乳白砣石英环内镶嵌有第一透明石英，所述第一乳白砣石英环下端面固定设有配阶台，位于所述配阶台外设有石英环片，所述第一乳白砣石英环上固定开设有第一配合沿，所述第一乳白砣石英环与第二乳白砣石英相配合。
一种外延工艺石英组件

[发明专利]一种新型微波等离子体发生与电离装置-CN202310892386.0在审
发明人：赵高升;施月娥;姜娇娇;赵彬锋 -专利权人：苏州智谱蔚星智能科技有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明提供一种新型微波等离子体发生与电离装置，由石英中心管、石英中心管上辅助气接口、石英内管、石英外管上冷却气接口、石英外管、微波中心管、微波外管、微波接头和微波等离子体组成。石英中心与石英内管固定，石英中心管上辅助气接口位于石英内管下端，石英外管上冷却气接口位于石英外管下端，石英内管与石英外管固定，石英外管与微波中心管固定，微波中心管与微波外管固定，微波接头位于微波外管上端，微波等离子体位于石英内管和石英外管之间。
一种新型微波等离子体发生电离装置

[发明专利]一种石英大漏斗的制造方法-CN201410073952.6无效
发明人：张彩根 -专利权人：湖州东科电子石英有限公司
申请日： 2014-03-03 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英大漏斗的制造方法，将4mm壁厚的石英管材经切割后平整成厚为6mm的矩形石英板材和厚为6mm的梯形石英板材，将多块矩形石英板材加温至900℃并在900℃的条件下拼接成截面为正多边形的石英筒体，石英筒体的口径为790-810mm，将多块梯形石英板材加温至900℃并在900℃的条件下拼接成截面为正多边形的石英椎体；在900℃的条件下将石英椎体的大端与石英筒体拼接，小端拼接石英出管形成毛坯石英漏斗，毛坯石英漏斗经抛光后得成品石英大漏斗。本发明可加工口径为800mm的石英大漏斗而不影响质量，方法工艺简单，成本较低。
一种石英漏斗制造方法

[实用新型]一种应用于晶硅太阳能电池高温退火工艺的装置-CN201620918206.7有效
发明人：孙涌涛;彭兴;宋飞飞;董方 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：它包括石英片架和与石英片架相匹配的石英盖板，所述的石英片架包括石英底板、石英挡板和若干石英细杆，所述石英细杆的一部分置于石英底板的左右两侧边上，所述石英细杆的另一部分置于石英挡板上，所述的石英挡板置于石英底板的前后两侧边上，所述的石英盖板与石英片架上的石英底板相对应。
一种应用于太阳能电池高温退火工艺装置

[发明专利]用于OLED高温炉的石英卡夹装置及石英卡夹底板-CN201410357327.4在审
发明人：余威 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2014-07-24 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种用于OLED高温炉的石英卡夹装置及石英卡夹底板，所述石英卡夹装置包括一底座、固定安装于底座上的数根石英柱、位于底座上方的石英卡夹底板及数层位于石英卡夹底板上方且卡夹于石英柱上的石英卡板；所述石英卡夹底板包括上底板、下底板及连接上、下底板的石英空柱，对应每一石英空柱设有一贯穿所述石英卡夹底板的通孔，所述通孔的直径大于所述石英柱的直径；所述上底板与下底板之间设有数根第一连接柱。
用于 oled 高温石英装置底板

[发明专利]一种石英反应腔的清洗方法-CN202110560081.0有效
发明人：张哲;许正贤;刘波 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： B08B9/023 文献下载
摘要：本发明提供一种石英反应腔的清洗方法，包括以下步骤：以预设数量的保温石英封堵所述石英反应腔的炉口，所述保温石英的数量少于20片；以及以分段式时间管控方式对所述石英反应腔进行清洗。本发明通过减少保温石英的数量来减低清洗时石英反应腔的温度，使得该温度控制在目标温度范围内，避免了蚀刻气体与石英发生反应，从而避免了石英反应腔内的石英破损，提高了石英反应腔的寿命，降低设备成本，也降低了石英反应腔内的石英破损造成的颗粒残留物污染
一种石英反应清洗方法

[实用新型]石英舟表面处理炉-CN201822021326.9有效
发明人：焦雪梅;周晓霞;赵静敏;易见伟;刘宁;许兴;李万朋 -专利权人：有研光电新材料有限责任公司
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种石英舟表面处理炉，所述石英舟表面处理炉包括炉体、石英管以及惰性气体保护系统；石英管设置于炉体内，石英管具有开口端与封闭端，石英管的开口端与惰性气体保护系统连通，石英管与炉体同轴设置。本实用新型的实施方式通过将石英管与炉体同轴设置，这样石英管可以均匀受热，使得石英舟内的镓液受热均匀，从而在石英舟的内表面形成方石英球状晶体，进而实现有效的阻止砷化镓熔体与石英舟的浸润。
石英管石英舟炉体惰性气体保护系统本实用新型表面处理炉同轴设置开口端砷化镓熔体均匀受热球状晶体受热均匀方石英封闭端内表面镓液浸润连通体内

[发明专利]一种用于密封石英管的改进型石英管帽-CN201410099823.4无效
发明人：左亚兵;王钰庭;周敏华 -专利权人：宜兴市环洲微电子有限公司
申请日： 2014-03-18 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于密封石英管的改进型石英管帽，包括石英管帽本体（1），石英管帽本体（1）上的外表面上设有石英手把（2），其特征在于所述石英管帽本体（1）的内表面呈平面状态使得石英管帽本体（1）的内表面与石英管（4）的管口平面全接触；所述的石英手把（2）上设有压紧弹簧（5），该压紧弹簧（5）使得石英管帽本体（1）的内表面与石英管（4）的管口平面相互贴合。本发明通过将石英管帽与石英管的接触方式改为平面接触，并采用压紧弹簧将石英管帽压紧在石英管的端面上起到密封作用，使得石英管帽与石英管的分离更容易；具有结构简单、操作方便且密封性好的特点，提高了工作效率，适宜在半导体硅片生产中推广使用
一种用于密封石英管改进型

[实用新型]一种用于密封石英管的改进型石英管帽-CN201420121657.9有效
发明人：左亚兵;王钰庭;周敏华 -专利权人：宜兴市环洲微电子有限公司
申请日： 2014-03-18 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于密封石英管的改进型石英管帽，包括石英管帽本体（1），石英管帽本体（1）上的外表面上设有石英手把（2），其特征在于所述石英管帽本体（1）的内表面呈平面状态使得石英管帽本体（1）的内表面与石英管（4）的管口平面全接触；所述的石英手把（2）上设有压紧弹簧（5），该压紧弹簧（5）使得石英管帽本体（1）的内表面与石英管（4）的管口平面相互贴合。本实用新型通过将石英管帽与石英管的接触方式改为平面接触，并采用压紧弹簧将石英管帽压紧在石英管的端面上起到密封作用，使得石英管帽与石英管的分离更容易；具有结构简单、操作方便且密封性好的特点，提高了工作效率
一种用于密封石英管改进型

[实用新型]一种扩散用石英舟-CN201220566492.7有效
发明人：胡海平;班群;方结彬;何达能;陈刚 -专利权人：广东爱康太阳能科技有限公司
申请日： 2012-10-31 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散用石英舟，包括石英舟架和设于所述石英舟架之间的三根石英横杆，所述石英横杆互相平行并垂直于所述石英舟架正面，所述石英横杆在所述石英舟架上呈倒等腰直角三角形分布，所述石英横杆上设有卡槽，三根所述石英横杆上的所述卡槽的宽度和间距一一对应。本实用新型所述的石英舟采用三根石英横杆固定所述硅片，比现有的石英舟采用四根石英横杆固定的方案节省一根石英横杆，不但降低了制作成本，节省原料，而且减小了石英横杆对待反应气体的阻挡，使硅片与待反应气体接触更充分此外，所述石英横杆与所述硅片接触面减少了四分之一，减少了卡点导致的掺杂不均匀，提高了扩散均匀性。
一种扩散石英

[实用新型]一种单晶炉二次加料的石英锥装置-CN201821911092.9有效
发明人：邹昌盛;樊同帅;豆欣妍;王小伟 -专利权人：新疆晶科能源有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了单晶炉二次加料设备技术领域的一种单晶炉二次加料的石英锥装置，包括副室，所述副室内腔底部水平放置有坩埚，所述副室左侧壁通过合页安装有推拉门，所述副室顶部插接有石英筒，所述石英筒外侧套接有卡盘，所述卡盘通过螺栓固定于石英筒外侧，所述卡盘底部与副室顶部接触，所述石英筒内腔底部设有石英锥，所述石英锥与石英筒内侧壁接触，所述石英锥顶部插接有拉杆，所述石英锥通过拉杆与石英筒内侧壁滑动连接。该单晶炉二次加料的石英锥装置的设置，将石英锥的高度减小，石英锥变得更加平缓，本设计的石英锥高度为由140mm缩小为70mm，同等距离下，石英锥下降过程中与石英筒下口空间更大，满足原料顺利下落。
石英锥石英筒二次加料单晶炉副室卡盘内侧壁插接拉杆设备技术领域本实用新型合页安装滑动连接螺栓固定下降过程室内腔推拉门左侧壁减小内腔套接下口坩埚

[发明专利]套棒熔缩保持架-CN201710116583.8有效
发明人：刘涛;赵旭 -专利权人：长飞光纤光缆股份有限公司
申请日： 2017-02-28 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： C03B37/012 文献下载
摘要：本发明公开了一种套棒熔缩保持架，用于石英芯棒与石英套管的对中，石英芯棒与石英套管组成对中件；该套棒熔缩保持架包括两组对中机构，分别位于对中件两端；所述对中机构通过膨胀方式将石英芯棒与石英套管进行对中固定，使石英芯棒、石英套管的中轴线重合；所述对中机构上设有导流孔，以保持石英芯棒外表面和石英套管内面之间的间隙流通。本发明能使石英芯棒和石英套管在烧结熔缩时，其中轴线始终保持重合，也能使石英芯棒外表面和石英套管内面之间的间隙保持流通。
套棒熔缩保持

[实用新型]梁膜结构石英压力谐振元件-CN201120353938.3有效
发明人：姚东媛;谢胜秋;王长虹;张莉新;谌福华;雷刚;刘亚娟;程颖 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十九研究所
申请日： 2011-09-21 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： G01L1/10 文献下载
摘要：梁膜结构石英压力谐振元件，它涉及一种压力谐振元件。解决目前无法消除结构和材料间的应力的问题。所述元件包括石英盖、石英音叉谐振器和石英膜片，石英膜片的上端面上开有一个凹槽，石英膜片的上端面上沿凹槽的外部开有一个与凹槽形状一致的环槽，石英音叉谐振器设在石英膜片的上端面上且石英音叉谐振器的外边缘与环槽的内边缘相吻合，环槽的底部开有导角，石英盖的底端面与石英膜片的上端面连接，石英盖、石英音叉谐振器和石英膜片之间构成真空腔。
膜结构石英压力谐振元件

[实用新型]一种高强度光纤耦合器用石英基板-CN201921160207.X有效
发明人：张泳翔 -专利权人：南通永明光纤材料有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： G02B6/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高强度光纤耦合器用石英基板，包括石英主体，其特征在于：所述石英主体为圆柱形，所述石英主体水平放置，所述石英主体的上表面开设有与光纤耦合器相匹配的凹槽，所述石英主体下方设有石英基座，所述石英基座下表面为平面，且石英基座与石英主体整体成型。本实用新型的一种高强度光纤耦合器用石英基板通过石英基座的设置，使得用于光纤耦合器的石英基板下表面放置平稳。本实用新型的石英基座的上表面设置凹槽，使得光纤点胶对准率高，间接使得装配后的耦合器合格率高。
一种强度光纤耦合器用石英