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[发明专利]波长可调谐的单色真空紫外光源输出装置及方法-CN202010655837.5在审
发明人：俞盛锐;李万涛;凌彩宁;杨文绍;简继文 -专利权人：浙江师范大学
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： H01S3/101 文献下载
摘要：本发明公开了一种波长可调谐的单色真空紫外光源输出装置及方法。本发明将激光系统产生的两束基频光以小角度斜入射至混频系统中的聚焦透镜的边缘，四波混频产生的真空紫外光及残留的基频光因在同一介质中的折射率不同而以不同角度从聚焦透镜中出射，从而将真空紫外光与基频光进行分离，此设计在保证真空紫外光源单色性的同时，因无需增加额外的光学元件而使真空紫外光源的能量损耗降至最小；当需要改变真空紫外光源波长之时，除改变基频光的波长之外，只需调节透镜偏离中心位置的距离，而基频光的入射方向及真空紫外光源的出射方向始终不变，从而简化了将基频光引入混频系统的光路系统，也使所输出的真空紫外光源兼具可调谐性及可准直性。
波长调谐单色真空紫外光源输出装置方法

[发明专利]一种紫外多参数校准装置-CN201310065833.1有效
发明人：孙红胜;王加朋;魏建强;张玉国;李世伟;张虎;孙广尉 -专利权人：北京振兴计量测试研究所
申请日： 2013-03-04 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明涉及紫外光参数校准技术领域，具体的讲是一种紫外多参数校准装置，旋转平台内置于所述真空仓内，单色仪与真空仓相连接，紫外探测器通过单色仪测量真空仓内的紫外光源的辐射，或者紫外光源通过单色仪向真空仓提供紫外光源的辐射；标准紫外光源，待校准光源，标准紫外探测器，待校准探测器，紫外成像器和紫外成像参数校准系统均置于所述旋转平台之上，所述旋转平台根据控制信号沿着所述旋转平台的圆心旋转，其中，所述紫外成像器和紫外成像参数校准系统处于同一光路通过上述实施例，能够在一个共用校准装置上实现紫外光源光谱辐射度校准、紫外探测器光谱响应度和紫外成像器参数的校准，节省了试验成本，提高了试验效率。
一种紫外参数校准装置

[发明专利]真空紫外光电倍增管测试装置-CN202010720528.1在审
发明人：金真;黄国瑞;司曙光;顾燕;王兴超;任玲;孙赛林;徐海洋;石梦瑶;黄之瑶 -专利权人：北方夜视技术股份有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供一种真空紫外光电倍增管测试装置，包括真空系统、测试夹具、光源系统、数据采集和控制系统以及计算机系统。真空系统为测试提供真空度要求。真空紫外光电倍增管安装于测试夹具内，并整体置于真空腔内。光源系统，用于提供真空紫外光电倍增管的测试光源，产生紫外光源并照射到位于真空腔内的紫外光电倍增管的阴极面上；数据采集和控制系统，控制系统的测试参数及测试配置，并读取系统测试数据值，传至计算机系统，分析处理数据本发明通过相对测试，测试真空紫外光电倍增管暗电流、阴极辐射灵敏度、量子效率、阳极辐射灵敏度、增益参数，完善真空紫外光电倍增管性能测试与评估系统。
真空紫外光电倍增管测试装置

[发明专利]一种真空紫外光探测器的光谱响应标定系统及测试方法-CN201911121215.8在审
发明人：郑伟;林日成;贾乐敏;黄丰 -专利权人：中山大学
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空紫外光探测器的光谱响应标定系统及测试方法，所述真空紫外光探测器的光谱响应标定系统由紫外光源、深紫外单色仪、探针台、静电计组成；紫外光源、单色仪和探针台置于真空或氮气环境中，紫外光源通过单色仪向探针台上的待测样品器件提供紫外光源辐射本发明的标定系统能够准确地测量各类真空紫外光电器件的光谱响应，利用标准硅探测器作为传输标准，测试系统操作简单方便，具有较大的应用前景。
一种真空紫外光探测器光谱响应标定系统测试方法

[实用新型]一种真空腔室静电消除结构-CN202121061749.9有效
发明人：吴纯志;周广柱 -专利权人：马鞍山市安马电子设备实业有限公司
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H05F3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空腔室静电消除结构，涉及半导体显示面板生产技术领域。该真空腔室静电消除结构，包括真空腔室、紫外光源，所述紫外光源的光路上设置有遮光装置和遮光条。该真空腔室静电消除结构采用紫外光源对真空室内的稀薄气体进行电离，避免了采用放射源这种能量高、穿透力强，可能导致损伤产品并且对设备要求高、具备危险性的电离方式；在紫外光源的光路上设置与物料平面平行且高度一致的遮光条，可以有效降低紫外光源对物料的照射，同时也能保证静电去除的效果。
一种空腔静电消除结构

[实用新型]满足空间极紫外仪器定标测试用实验室19.5nm极紫外光源系统-CN200820080370.0无效
发明人：李保权;张鑫;彭吉龙;曾智蓉 -专利权人：中国科学院空间科学与应用研究中心
申请日： 2008-05-04 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： G01J3/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及满足空间极紫外仪器定标测试用实验室19.5nm极紫外光源系统，由极紫外光源设置在真空测试室外，极紫外光源通过极紫外光源的出口法兰、真空插板阀、真空管道串连到真空测试室；多层膜反射镜和待测仪器分别设置于真空测试室内组成，其中该多层膜反射镜的中心与极紫外光源的出口法兰的轴线重合，待测仪器的视场角中心对准多层膜反射镜的中心，使反射光线能够入射到待测仪器上。本实用新型提供的高强度19.5nm实验室极紫外光源系统，用15000eV的微聚焦电子源轰击纯铝靶，激发铝原子内壳层电子跃迁，产生大量极紫外辐射，然后通过Mo/Si多层膜反射镜分光出高强度的19.5nm极紫外射线该光源系统能够在实验室条件下方便地满足空间极紫外探测仪器定标测试需要。
满足空间紫外仪器定标测试实验室 19.5 nm 光源系统

[发明专利]一种惰性气体放电真空紫外光源-CN202111336427.5有效
发明人：冯高平;洪延姬;梁健玮;饶伟;宋俊玲;朱潇潇;张佳乐 -专利权人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01J61/16 文献下载
摘要：本发明属于电子技术领域，具体涉及一种惰性气体放电真空紫外光源。本发明的惰性气体放电真空紫外光源，包括放电激发系统、气体流动控制系统、通光窗片、真空系统。通过引入氦气流降低了放电激发腔后的氪原子分压，减少了亚稳态氪原子对真空紫外光子的自吸收，提高真空紫外光输出，并能带走放电激发腔产生的污染物，避免了污染物在通光窗片上的沉积，提高了通光窗片的寿命，进而提高光源使用寿命本发明能够解决目前气体放电灯主要存在的输出光子数不高和光源寿命短两方面的问题，提高真空紫外光输出和光源寿命。
一种惰性气体放电真空紫外光源

[发明专利]高效率真空紫外光源的制作方法-CN89106035.9无效
发明人：朱绍龙;李一明;薛兴泉;诸秋林;蔡祖泉 -专利权人：复旦大学
申请日： 1989-11-11 - 公布日： 1991-08-21 - 主分类号： H01J9/24 文献下载
摘要：波长小于200毫微米的辐射为真空紫外辐射。本发明采用能透过大于115毫微米波长的氟化镁作为输出窗片，用焊料玻璃粉配成焊料玻璃粉浆，用作有极直流放电真空紫外光源的电极与氟化镁单晶片的封接，或者用作无极高频放电真空紫外光源的外壳玻璃与氟化镁单晶片的封接二种光源中均充入混合气体，使制成的真空紫外光源有较高的发光效率。本发明的封接方法简便，技术易掌握，设备简单，成品率高，并且提高了制成的真空紫外光源的机械强度和物理化学性能。
高效率真空紫外光源制作方法

[发明专利]用于卫星金属材料光电子发射的测量装置及其使用方法-CN201510072834.8在审
发明人：杨垂柏;张斌全;孔令高;张珅毅;荆涛;关燚炳;曹光伟;梁金宝 -专利权人：中国科学院空间科学与应用研究中心
申请日： 2015-02-11 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：一种卫星金属表面的光电子发射的测量装置，包括：紫外光源、真空罐、转台、电流检测仪和控制台，其中紫外光源用来输出测量过程所需要的不同波段和强度的紫外光；真空罐为测试提供真空腔体空间，且紫外光源与真空罐壁相连接；转台安装于真空罐的底部，用于为待测金属样品和光束提供适当的配合位置；电流检测仪用于检测在光照下，卫星表面发射光电子流与入射粒子电荷流的叠加电流；控制台用于对紫外光源、电流检测仪进行数据采集，并控制电流检测仪的电位
用于卫星金属材料光电子发射测量装置及其使用方法

[发明专利]一种真空紫外光源-CN202210102678.5有效
发明人：冯高平;洪延姬;梁健玮;饶伟;宋俊玲;王殿恺;叶继飞;文明 -专利权人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J61/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空紫外光源，属于激光与原子相互作用技术领域，该光源包括放电激发系统、气瓶、气体流动控制系统、通光窗片(3)、法兰(4)以及激光器，激光器提供的激光将放电激发产生的亚稳态工作气体原子激发到高能级，高能级气体原子向低能级跃迁时放出真空紫外光子，提高真空紫外光输出。该光源能够解决目前气体放电灯主要存在的输出光子数不高的问题，提高真空紫外光亮度。
一种真空紫外光源

[发明专利]用于医疗设备灭菌和储存的方法和装置-CN201480007594.7有效
发明人： M.博伊斯塞特;M.斯帕坦斯泰恩 -专利权人：斯特里乐士有限公司
申请日： 2014-02-06 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： A61L2/26 文献下载
摘要：一种放置在可闭合的气密容器中的医疗设备，尤其是手术器械的灭菌的方法，包括步骤：将这样的医疗设备放置在可闭合的气密容器内部；闭合所述容器；与所述容器的窗口对靠放置真空紫外光源，其中，这样的窗口对真空紫外光和对UVC和/或中紫外光是透明的；采用真空紫外光通过这样的窗口照射这样的闭合容器内部容积，以便在这样的容积内产生臭氧和/或臭氧物；移除所述真空紫外光源；以及等待培养时间。
用于医疗设备灭菌储存方法装置

[发明专利]一种真空紫外光辅助雾化气相沉积装置及雾化气相沉积方法-CN202310552763.6在审
发明人：母凤文;郭超 -专利权人：青禾晶元（天津）半导体材料有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明提供了一种真空紫外光辅助雾化气相沉积装置及雾化气相沉积方法。所述反应腔室开设有气体入口和气体出口，所述反应腔室通过所述气体入口连接有雾化装置；所述反应腔室的顶部设置有真空紫外透过窗，所述真空紫外透过窗远离所述反应腔室的一侧设置有真空紫外光源，所述真空紫外光源的发射端朝向所述真空紫外透过窗本发明将真空紫外光源与雾化气相沉积装置结合，以实现无损伤或低损伤的低温化学气相沉积，能大大提高沉积薄膜的质量。
一种真空紫外光辅助雾化沉积装置方法

[发明专利]一种真空紫外光谱辐照度标定方法及系统-CN201310062602.5有效
发明人：张虎;孙红胜;李世伟;王加朋;张玉国;孙广尉;魏建强 -专利权人：北京振兴计量测试研究所
申请日： 2013-02-28 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： G01J1/00 文献下载
摘要：本发明涉及紫外辐射量测量技术领域，具体的讲是一种真空紫外光谱辐照度标定方法及系统。获取紫外光源115nm-400nm波段范围的紫外光谱辐亮度L(λ)；获取该紫外光源250nm-400nm波段范围的紫外光谱辐照度E(λ)；利用Ω＝E(λ)/L(λ)，计算得到250nm-400nm波段范围的光源立体角Ω；根据所述250nm-400nm波段范围的光源立体角Ω得到115nm～250nm波段范围内的光源立体角Ω1；利用E1(λ)＝L(λ)·Ω1得到115nm～250nm波段范围内的紫外光谱辐照度E1(λ)通过本发明实施例解决了光源真空紫外光谱辐照度标定波长下限不能达到250nm以下的难题。
一种真空紫外光谱辐照标定方法系统

[发明专利]一种用于高通量气体样品分析的真空紫外光电离源-CN201010567335.3有效
发明人：李海洋;花磊;王卫国;谢园园 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2010-11-30 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：本发明涉及质谱分析仪器，具体的说是一种用于高通量气体样品分析的真空紫外光电离源，包括电离源腔体和真空紫外光源；于电离源腔体顶部设置有气体入口，气体样品通过气体入口进入到电离源腔体内部；在电离源腔体内部，沿气体样品流动方向依次设置有相互间隔、同轴、平行的离子引出电极、离子漏斗和差分接口极板；真空紫外光源设置于电离源腔体侧壁上，真空紫外光源发出的真空紫外光平行于离子引出电极的极板并穿过极板间相互间隔的区域进入到离子引出极板的通孔区域本发明的真空紫外光电离源可有效提高整个质谱仪系统的检测灵敏度，在高通量气体样品分析和环境中有机污染物痕量或超痕量检测领域有着广阔的应用前景。
一种用于通量气体样品分析真空紫外光电离

[发明专利]基于真空室的真空紫外光源测试系统-CN201510099887.9在审
发明人：张善端;韩秋漪;张豪俊 -专利权人：复旦大学
申请日： 2015-03-07 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明属于紫外光源测试技术领域，具体为一种基于真空室的真空紫外光源测试系统。本发明测试系统，包括一个真空室、真空泵、灯架和紫外辐射测试设备等。真空室采用金属材料制成，内表面进行黑化处理；真空室通过法兰与真空泵连接，同时有一个充气阀与一个放气阀，可以向真空室内填充高纯氮气、氩气等不吸收紫外和真空紫外的气体，并装配有测量低真空度的电阻规、测量高真空度的电离规和测量水蒸气、氧气含量的探头；真空室用法兰封装恒温水浴的水管以控制光源的冷端温度；采用紫外辐照度计和光纤来测量真空紫外和200nm以上紫外辐射；与真空单色仪的入射缝法兰连接，组成联合测试系统，同时测定各类真空紫外光源的相对光谱功率分布
基于真空紫外光源测试系统

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