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[发明专利]用于光刻设备的载物台轴承-CN201880073599.8有效
发明人：黄仰山;P·C·J·德杰格;R·瑞立克;C·L·瓦伦汀;J·L·J·舒尔滕;A·H·维尔魏;E·范霍恩 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种载物台承载系统可以包括：载物台、耦接到载物台的空心轴、以及耦接到空心轴和载物台的内真空气体轴承组件。内真空气体轴承组件可以包括气体轴承、扫气槽和真空槽。气体轴承沿内真空气体轴承组件的内壁和空心轴的外壁设置。扫气槽沿所述内壁设置，使得扫气槽与气体轴承隔离。真空槽沿所述内壁设置，使得真空槽与扫气槽及气体轴承隔离。
用于光刻设备载物台轴承

[发明专利]一种便携式的烟气分析装置-CN202011577950.2有效
发明人：谢凯;邹嫣嫣;张佳庆;刘睿;过羿;黄玉彪;尚峰举;苏文;吴旭娟;李开源 -专利权人：武汉理工大学;国网安徽省电力有限公司电力科学研究院
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：便携式的烟气分析装置包括设有酸性气体吸收装置、集气装置、电化学气体传感器检测装置、气体收集罐和真空气泵的测量箱体，测量箱体连接有用于选择性地与酸性气体吸收装置、集气装置和真空气泵连通的进气部件，酸性气体吸收装置与集气装置连通，集气装置、电化学气体传感器检测装置和真空气泵依次连通，真空气泵还连接有真空气泵排气管，气体收集罐还连接有至少一个用于对其内部气体进行检测的气体检测管检测装置，真空气泵和气体检测管检测装置分别与气体收集罐连通便携式的烟气分析装置具有气体成分检测种类多、取样精确、误差小、对气体浓度变化过程进行实时监测、对挥发性物质进行精确定量等优点。
一种便携式烟气分析装置

[发明专利]一种真空气泵的降噪控制方法及可降噪的真空气泵结构-CN201910287289.2在审
发明人：贺新建;胡懿 -专利权人：东莞市森旺电机有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： F04B39/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空气泵的降噪控制方法，包括以下步骤：(1)在真空气泵上设置一真空气泵的降噪结构，所述降噪结构包括设置于真空气泵出气口处的左右间隔分布的栅栏；(2)当真空气泵处于工作状态时，通过真空气泵对气泵内的气体进行压缩、膨胀形成真空，在气泵的出气口处于外界大气压形成压力差，在压力差的作用下，将外界的气体从气泵的进气口中压入气泵内，再从气泵的出气口中排出；(3)当真空气泵排出气泵内的空气时，设置于真空气泵出气口处的栅栏对排出的气体进行阻挡，能够有效隔离泵体内部件的机械运动产生的噪音，另外能够减缓气体的流速，使出气更加平缓流畅，降低因气体冲击出气口所产生的噪音。
一种真空气泵控制方法可降噪结构

[发明专利]一种晶片吸盘的真空发生装置-CN201210231299.2在审
发明人：顾军;刘波;尹绂聿 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2012-07-05 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片吸盘的真空发生装置，包含：通过管道相连的真空发生器和压缩空气管道，该真空发生器给晶片吸盘提供真空，还包含：气体阀，所述的气体阀设置在真空发生器与压缩空气管道之间；所述的气体阀的控制端通过管道与外部的晶片吸盘的工作阀的供气管道相连，当供气管道向工作阀提供压缩空气时，从供气管道分出部分压缩空气进入气体阀的控制端，导通气体阀以向真空发生器输入压缩空气。本发明保证了晶片吸盘和真空发生器的同步；在真空发生器无需工作时，节省了大量的压缩空气，节约了生产成本，提高了经济效益。
一种晶片吸盘真空发生装置

[实用新型]一种电厂燃油系统抽真空装置-CN202220551688.2有效
发明人：杨亚设;曹新宇;杨大卫 -专利权人：河南辰帆机电环保设备有限公司
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电厂燃油系统抽真空装置，本实用新型涉及电厂技术领域，包括底座，所述底座的上表面固定连接有降温箱和水箱，所述降温箱的上表面固定连接有固定筒，所述降温箱的上表面开设有排气口，所述固定筒的内侧壁固定连接有活性碳板和精密滤网该电厂燃油系统抽真空装置，通过设置有精密滤网，利用精密滤网对真空气体中的粉尘以及颗粒进行过滤，紧接着使真空气体不断渗透多个空气过滤棉，同时使空气过滤棉对真空气体中的有害物质进行过滤，随后利用活性炭板净化真空气体中的气味，通过活性碳板、精密滤网和空气过滤棉的配合，从而能够对真空气体进行处理，避免直接排放污染外界空气，防止影响周围环境。
一种电厂燃油系统真空装置

[发明专利]方块电阻测量设备及吸盘-CN201310631418.8有效
发明人：叶青;刘玮;徐伯山;周峻晨;倪战平;冯君;吕杰;黄磊 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-11-29 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： G01R27/02 文献下载
摘要：测量设备包括：吸盘，所述吸盘的内腔中设置有多条真空气路，所述吸盘吸附晶圆的表面设置有真空孔，多个所述真空气路与所述真空孔连通，在所述真空气路中有选择性的设置气体控制机构；真空气管，所述真空气管与所述吸盘内腔中的真空气路相通，再通过所述气体控制机构控制所述真空气路的真空气压，维持所述吸盘吸附晶圆时需要的真空气压。本发明的下述实施例中，通过在真空气路中有选择性的设置气体控制机构比如一气动阀，用于通过开关状态，控制所述真空气路的真空气压，维持吸盘吸附晶圆所需的真空气压，使得晶圆可以牢固的吸附在吸盘上，避免了在晶圆的量测过程中报警现象的发生
方块电阻测量设备吸盘

[实用新型]一种真空气流控制系统-CN202020927698.2有效
发明人：乔文韬;郑华 -专利权人：上海精谱科技有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室外，包括：气体流速控制装置以及空气过滤系统；当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室本申请在保持分析仪器现有结构的优点下直接外接于真空室，降低进入和流出真空室内的气体的流速，并且保证真空室内的真空度和洁净度，从而起到保护真空室内电器元件的作用。
一种真空气流控制系统

[实用新型]一种双锥回转真空干燥机-CN202220805652.2有效
发明人：张立东;李跃;张雪元;王德广;刘树年;徐淑倩 -专利权人：山东青科农牧发展有限公司
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空干燥机领域，具体为一种双锥回转真空干燥机，包括真空泵支架、真空罐与真空罐支架，真空泵支架的上端面固定安装有真空泵，真空泵后端面固定安装有真空管道，真空管道的内表面设置有脉冲气体管道，脉冲气体管道远离真空管道的一端固定安装有脉冲空气压缩机，脉冲气体管道远离真空泵的一端设置有充气阀，本实用新型通过设置脉冲空气压缩机，脉冲空气压缩机通过压缩空气获得较高的气压，配合充气阀形成封闭空间，通过脉冲空气压缩机的不断脉冲工作，再利用充气阀达到一定气体压力便对外释放气压的原理，可以实现高压气体将真空过滤器上的物料吹除干净，防止物料将真空过滤器堵住，影响真空泵的正常运行以及真空罐内的真空状态。
一种回转真空干燥机

[实用新型]真空镀膜装置-CN202122613751.9有效
发明人：宗坚;王志军 -专利权人：江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型提供一种真空镀膜装置，利用化学单体气体的聚合在待镀膜工件的表面形成聚合物膜层。所述真空镀膜装置包括：反应腔室，用于容纳待镀膜工件；以及管路组件，用于将所述反应腔室和真空泵组相连通，以通过所述真空泵组对所述反应腔室抽真空；其中，所述管路组件设有单体收集装置，用于使真空气体中的单体气体液化，从而对真空气体中的单体气体进行收集。通过所述单体收集装置来收集真空气体中的单体气体，防止单体因沉积聚合堵塞管路组件中的阀门组件而损坏真空泵组，从而延长了真空泵的使用寿命，提高了设备使用效率和可靠性。
真空镀膜装置

[发明专利]真空处理装置-CN201580001457.7有效
发明人：小川芳文;角谷匡规;矶崎真一;布村畅英 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2015-01-30 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： B01J3/02 文献下载
摘要：本发明提供一种具备具有一对气阀的硬件互锁的气体供给单元的真空处理装置。本发明的真空处理装置具备气体供给部，该气体供给部使用常闭型的空气驱动阀来将用于进行真空处理的气体供给到进行所述真空处理的处理室中，该真空处理装置的特征在于，所述气体供给部具有在一对所述空气驱动阀中的一方开启的情况下一对所述空气驱动阀中的另一方关闭的互锁功能，且具备对用于驱动所述空气驱动阀的空气进行控制的空气电路，使用具有与一对所述空气驱动阀分别对应的螺线管的电磁阀来构成所述空气电路。
真空处理装置

[实用新型]真空喷涂室压缩空气净化软化入气装置-CN201220349796.8有效
发明人：谭青明 -专利权人：东莞百进五金塑料有限公司
申请日： 2012-07-07 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空喷涂室压缩空气净化软化入气装置，包括气体减压阀、气体过滤器、空气干燥机、缓冲罐、气体流量计、电动比例球阀、手动球阀和出气扇形口。压缩空气经过气体减压阀减压后，经过气体过滤器进入空气干燥机去除水分，再经过气体过滤器进一步净化后，从螺旋管壁的气孔流入缓冲罐。气体在缓冲罐中压力和流速都下降到预定的技术指标后，从缓冲罐上部侧壁软化空气出口流出，经过电动比例球阀调节气体，气体流量计、出气扇形口进入真空喷涂室内。本实用新型压缩空气经过干燥机及过滤器后，无油无水，洁净度高。软化后的气流压力略高于常压，开门时在真空室内形成一个正压系统，避免真空室外的尘点飞入到真空室内对喷涂造成影响。
真空喷涂压缩空气净化软化装置

[实用新型]提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置-CN201420235037.8有效
发明人：刘雪峰;张辉;李小光;王鹏;赵大伟 -专利权人：沈阳洪生气体有限公司
申请日： 2014-05-09 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： F04B39/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，该装置由内而外主要分为液氮层、被抽真空气体走气层和绝热层，液氮层设置在整个装置的最内层，绝热层设置在三层的最外层，液氮层与绝热层之间形成的空腔为被抽真空气体走气层，被抽真空气体走气层与抽真空进口和抽真空出口连通。本实用新型在抽真空的过程中可以很好的去除水汽，又不增加气体的阻力，大大提高了抽真空效率的同时，提高了真空泵油的使用寿命。
提高高纯气体处理真空泵效率装置

[发明专利]低真空气体的快速无损采样装置及采样方法-CN202010403129.2在审
发明人：罗艳;吴晓斌;王魁波;谢婉露;李慧 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： G01N1/24 文献下载
摘要：本申请实施例中提供了低真空气体的快速无损采样装置及采样方法，无损采样装置包括：真空获得组件，用于获取一定气压的真空；采样组件，用于对待测气体进行减压采样得到采样气体；气体分析组件，用于在真空内对采样气体进行气体分析；以及连接真空获得组件、采样组件以及气体分析组件的控制模块；其中，气体分析组件设置开口与所述真空获得组件相连通。通过本申请的低真空气体的快速无损采样装置及采样方法可以使采样得到的气体含量比例与原有工艺腔室中的气源一致，实现无损采样，使最后的气体成分分析更加准确。
真空气体快速无损采样装置方法

[实用新型]一种利用空气喷射抽真空的装置-CN202222413862.X有效
发明人：康才林 -专利权人：唐山联鼎蒸汽节能技术开发有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： F04F5/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种利用空气喷射抽真空的装置，包括：喷射抽真空组件，所述喷射抽真空组件包括压缩空气腔，所述压缩空气腔前端固定连接有喷嘴，所述喷嘴外部固定连接有混合室，所述混合室前端固定连接有扩散管。本实用新型所需抽取真空的容器内介质向上吸入时，压缩空气会与所需抽取真空的容器的介质混合，并进行能量交换从而两种气体达到同一速度，同时混合后的气体会进入混合室前端焊接的扩散管，当混合后的气体进入扩散管内部时，混合后的气体速度会降低，同时压力进一步上升，从而到达扩散管前端焊接的出口管时，会将气体通过向外排放的连接管道排出，从而实现了通过空气喷射抽真空的作用。
一种利用空气喷射真空装置

[实用新型]一种带真空泵冷却结构的真空干燥箱-CN202222558988.6有效
发明人：徐勇 -专利权人：重庆威尔震昌科技股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带真空泵冷却结构的真空干燥箱，包括箱体，箱体的上部设置有工作室，工作室内设置有加热器，对应工作室设置有箱门，箱体的下部设置有真空泵室，箱体上设置有高温空气出口管线，高温空气出口管线与真空阀相连，真空阀通过气体管路与真空泵相连，高温空气出口管线与真空阀之间设置有高温气体冷却结构，高温气体冷却结构为螺旋形的盘管，或高温气体冷却结构为一段直管，或高温气体冷却结构为翅片冷却器。本实用新型通过简单的冷却结构的设置，能起到降低进入真空阀和真空泵的气体的温度，提高真空泵、真空阀件的使用寿命，从而提高真空干燥箱的整体寿命，减少维修率。
一种真空泵冷却结构真空干燥箱

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