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[发明专利]一种气相沉积反应装置-CN201910168300.3在审
发明人：张迎春;刘洁雅 -专利权人：北京捷造光电技术有限公司
申请日： 2019-03-06 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明公开一种气相沉积反应装置，包括：真空外腔室，真空内腔室，加热装置，加热引流结构，加热源；其中，所述真空外腔室及所述真空内腔室均包括围合成相应腔室的腔壁，所述真空内腔室设置于所述真空外腔室的腔室内；所述加热装置设置于所述真空内腔室腔壁外侧，并通过所述加热引流结构延伸至真空外腔室腔壁之外，与所述加热源相连接；所述真空外腔室和所述真空内腔室设置有与抽真空装置连接的通道。所述真空内腔室设置于所述真空外腔室的腔室内，由于真空环境中不存在热量传递介质，真空内腔室腔壁外侧的加热装置的引入可以避免真空内腔室的热量散失，从而保证PECVD反应腔的恒温绝热状态。
真空内腔外腔室加热装置沉积反应装置引流结构加热源腔壁室腔加热热量传递介质室内抽真空装置绝热状态热量散失真空环境反应腔围合成腔室延伸引入保证

[发明专利]一种物料的快速真空干燥的方法和装置-CN200810156272.5无效
发明人：王敬达 -专利权人：王敬达
申请日： 2008-09-26 - 公布日： 2009-04-15 - 主分类号： F26B7/00 文献下载
摘要：物料的真空干燥装置，包括热风加热装置、真空除湿装置、上料装置、进料管、包括一个热风加热工作室、一个或m个真空除湿工作室构成，由一个热风加热工作室围绕或包裹真空除湿工作室，或由一个或m个真空除湿工作室围绕着热风加热工作室构成干燥设备主体，真空工作室上下均设有进料阀和出料阀，热风加热工作室设有进出料管，热风加热工作室和真空除湿工作室分别通过管道与热风发生装置和真空除湿装置相连接，上料装置与热风加热工作室和多个真空除湿室通过阀门相连接，上料装置在热风加热工作室和真空除湿工作室的上部
一种物料快速真空干燥方法装置

[实用新型]太阳能选择性涂层法向发射率测试装置-CN201320781953.7有效
发明人：邓金雁;沈剑山;周福云;谭卓鹏;贺冬枚 -专利权人：康达新能源设备股份有限公司
申请日： 2013-12-03 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： G01N25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能选择性涂层法向发射率测试装置，包括真空加热室、探测结构、黑体、温控结构和处理结构。探测结构位于真空加热室的上方，黑体位于探测结构的一侧，温控结构电性连接于真空加热室，探测结构和温控结构分别电性连接于处理结构。真空加热室包括真空室和加热台，加热台设于真空室的内部，真空室的一侧设有真空接口和电气接口，真空接口连接有真空抽气机组。本实用新型结构设计合理、简单、使用方便，加热均匀，提高了测量精度和稳定性。真空加热室为水冷结构，防止室壁过热，其内壁经抛光处理，减少了环境杂散辐射。
太阳能选择性涂层发射测试装置

[实用新型]一种真空镀膜机-CN201620075227.7有效
发明人：邱海峰 -专利权人：邱海峰
申请日： 2016-01-27 - 公布日： 2016-06-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括真空镀膜室、用于对真空镀膜室进行抽真空的抽真空装置、用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置、用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具；所述抽真空装置通过真空管道与真空镀膜室连通，所述蒸发加热装置设置在真空镀膜室的底部，所述样品夹具设置在真空镀膜室的顶部；该真空镀膜机还包括用于提高抽真空效率的电磁加热机构，所述电磁加热机构设置在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上。通过在抽真空装置的真空管道上设置一个电磁加热机构，使抽真空装置的进口室与出口室的温度升高，使抽真空放大气过程中所排出的水气不会冷冻抽真空装置抽气管道端部的进口室与出口室，从而提高了抽真空效率。
一种真空镀膜

[发明专利]一种真空感应化学气相沉积炉-CN202110372054.0有效
发明人：于方;张建宏;周国达;王姗姗;郭秋艳;孟爽;刘铎;曹月 -专利权人：锦州同创真空冶金科技有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空感应化学气相沉积炉，涉及化工设备技术领域，包括炉体、真空系统和充气系统，所述炉体内设置有加热室，所述加热室外侧设置有感应加热装置，所述加热室内设置有沉积室，所述沉积室与所述充气系统连通，所述加热室与所述炉体之间为真空室，所述加热室和所述真空室分别通过管路与所述真空系统连通。本发明将真空室和沉积室设置成两个相互独立的结构，真空室和沉积室不相通，沉积气体仅通入沉积室，不仅减少了沉积气体的浪费，还便于控制沉积室内沉积气体的压力和密度；真空系统分别对真空室和沉积室进行抽真空，沉积室内排出的污染性废气可以直接排出炉体之外，避免了对真空室的污染和损坏。
一种真空感应化学沉积

[发明专利]一种真空炉-CN201610380708.3有效
发明人：向勇;傅绍英;杨小军 -专利权人：成都西沃克真空科技有限公司
申请日： 2016-05-31 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： F27B5/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空炉，包括固定在操作箱的侧壁上的第一真空腔室、固定在操作箱的侧壁上的第二真空腔室、用于盖设第二真空腔室的腔盖。第二真空腔室容置于所述第一真空腔室内部；在第二真空腔室的内部设置有载物台，所述载物台上放置工件；而在所述第二真空腔室的外壁覆盖有密闭的加热腔室，在所述加热腔室内部设置有加热组件，所述加热组件沿所述第二真空腔室的外壁依次排列，用于对所述第二真空腔室进行加热，此结构可将加热组件和工件区分，进而避免加热组件对工件的污染，提高工件的质量。
一种真空炉

[发明专利]有抽气口的钢化真空玻璃的连续式生产炉-CN201510245160.7在审
发明人：戴长虹 -专利权人：戴长虹
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： C03B23/24 文献下载
摘要：一种有抽气口的钢化真空玻璃的连续式生产炉，包括上料台、预热室、加热室、合片室、预抽室、真空室、预冷室、冷却室和下料台，以及加热系统、真空系统、传输系统和控制系统，真空室上有用于封闭钢化真空玻璃抽气口的封口装置；本发明的有抽气口的钢化真空玻璃的连续式生产炉其加热室不抽真空、真空室不加热，采用先加热、后合片的生产工艺，将钢化真空玻璃的封边与抽真空工序连接在一起，一步法完成钢化真空玻璃的封边、抽真空和封口，解决了连续式真空炉制作难度大、制作成本高和现有真空玻璃产能低、成本高、无法生产钢化真空玻璃等问题。
气口真空玻璃连续生产

[发明专利]钢化真空玻璃的连续式生产炉-CN201510245162.6在审
发明人：戴长虹 -专利权人：戴长虹
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： C03B27/012 文献下载
摘要：一种钢化真空玻璃的连续式生产炉，包括上料台、预热室、加热室、合片室、预抽室、真空室、预冷室、冷却室和下料台，以及加热系统、真空系统、传输系统和控制系统，真空室上有用于封闭钢化真空玻璃抽气口的封口装置；本发明的钢化真空玻璃的连续式生产炉其加热室不抽真空、真空室不加热，采用先加热、后合片的生产工艺，将钢化真空玻璃的封边与抽真空工序连接在一起，一步法完成钢化真空玻璃的封边、抽真空和封口，解决了连续式真空炉制作难度大、制作成本高和现有真空玻璃产能低、成本高、无法生产钢化真空玻璃等问题。
真空玻璃连续生产

[发明专利]一种水冷壁式真空加热炉-CN202011196624.7在审
发明人：汪威;李吉敏;林纬;张艳 -专利权人：武汉工程大学;武汉恒隆胜科技有限公司
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： F27D11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种水冷壁式真空加热炉，包括真空加热室体和设置在其内的炉体；该真空加热炉还包括水冷管道装置，其是由管道成排布置而构成的气密式结构，铺设在真空加热室体的外表面。本发明的水冷壁式真空加热炉设有水冷管道装置，其是由管道成排布置而构成的气密式结构，铺设在真空加热室体的外表面；该气密式水冷结构可减轻真空加热室的结构载荷，降低真空加热室成本，实现燃烧室水冷，在强化燃烧的情况下有利于防止结焦，蓄热能力小，燃烧室升温快，冷却也快，可缩短加热室启动和冷却时间，方便加热与散热，大大提高效率。
一种水冷真空加热炉

[发明专利]一种用于微型核磁共振陀螺仪的气室加热集成单元结构-CN201810417615.2有效
发明人：王妍;刘院省;李新坤;赵连洁;黄伟;王风娇;贺宇;王学锋 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2018-05-04 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G01C19/60 文献下载
摘要：本发明一种用于微型核磁共振陀螺仪的气室加热集成单元结构，该结构包括真空室体、气室压盖、气室、加热体、加热片、温度传感器、底座和真空室盖。其中，加热片和温度传感器构成加热温控小单元，通过加热体给气室加热，气室压盖和底座均采用无磁、耐高温的聚酰亚胺材料，作为中心加热单元与外界的温度隔离，底座与真空室盖通过高温真空胶粘合在一起。真空室体与真空室盖利用玻璃熔融的方式粘合，形成整体后对腔室内抽真空就得到了其实加热集成单元结构。本发明与现有技术相比保温和抗扰动性能更好，结构更为紧凑，工艺性好，易于安装和使用。
一种用于微型核磁共振陀螺仪加热集成单元结构

[实用新型]真空炉-CN201120215871.7有效
发明人：喻彦奎 -专利权人：深圳市腾达工业自动设备有限公司
申请日： 2011-06-22 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空炉，涉及烘干设备；它包括真空室及供热室，其改进之处在于，所述真空室包括多个子真空室，每个子真空室在供热室各自单独设置有运风装置、加热装置及管道，每个子真空室还各自设置有门框及与门框对应的密封门；其中，每个子真空室对应的运风装置，其进风口设置于供热室的侧壁，其出风口通过管道与该子真空室对应的加热装置的进风口连通，该子真空室对应的加热装置的出风口通过管道与该子真空室的进风口连通；其有益效果在于：与现有的多个真空室共用一个加热装置相比较，本实用新型结构的真空室热风分布均匀，真空室内升温速度快，烘干效果更好；其次，还可以对每个真空室单独进行温度和加热时间的控制。
真空炉

[实用新型]一种真空炉-CN201620523344.5有效
发明人：向勇;傅绍英;杨小军 -专利权人：成都西沃克真空科技有限公司
申请日： 2016-05-31 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： F27B5/05 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空炉，包括固定在操作箱的侧壁上的第一真空腔室、固定在操作箱的侧壁上的第二真空腔室、盖设第二真空腔室的腔盖。在第二真空腔室的内部设置有载物台，所述载物台上放置工件；而在所述第二真空腔室的外壁覆盖有密闭的加热腔室，在所述加热腔室内部设置有加热组件，所述加热组件沿所述第二真空腔室的外壁依次排列，对所述第二真空腔室进行加热，此结构可将加热组件和工件区分，进而避免加热组件对工件的污染，提高工件的质量。
一种真空炉

[实用新型]一种卧式三室连续真空炉设备-CN201220420125.6有效
发明人：金广福;富海军;刘扬 -专利权人：爱发科中北真空（沈阳）有限公司
申请日： 2012-08-23 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： F27B5/02 文献下载
摘要：一种卧式三室连续真空炉设备，属于真空炉技术领域。包括平移气缸、升降气缸、炉门、料叉、连杆、料叉轨道、准备室、插板阀、炉床、加热室和冷却室；本实用新型与现有技术相比有益效果是：三个真空室可以同时进行工作，极大的提高了设备的生产效率，生产效率是原有单室真空炉的4—5倍；在工作时，加热室一直处于真空加热状态，使设备的能耗大大减小，使加热室的寿命大大提高。采用三个独立的真空室，准备室只做真空排气，加热室只做真空加热，冷却室只做快速冷却，每个室的工作状况单一，使设备的故障率大大降低，设备维护也很简单方便。
一种卧式连续真空炉设备

[发明专利]真空玻璃的连续式生产炉-CN201510245161.1在审
发明人：戴长虹 -专利权人：戴长虹
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： C03C27/06 文献下载
摘要：一种真空玻璃的连续式生产炉，包括上料台、预热室、加热室、预抽室、真空室、预冷室、冷却室和下料台，以及加热系统、真空系统、传输系统和控制系统，真空室上有用于封闭真空玻璃抽气口的封口装置；本发明的真空玻璃的连续式生产炉其加热室不抽真空、真空室不加热，将真空玻璃的封边与抽真空工序连接在一起，一步法完成真空玻璃的封边、抽真空和封口，解决了连续式真空炉制作难度大、制作成本高和现有真空玻璃产能低、成本高等问题。
真空玻璃连续生产

[发明专利]一种真空淬火方法-CN201410851002.1在审
发明人：马卫东;戴煜;彭泽云;刘红军 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： C21D1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空淬火方法，该真空淬火方法基于一种包含加热室、装料室和淬火室的真空淬火装置，包括步骤：S01，外部加料至装料室，装料室抽真空；S02，加热室抽真空；S03，加热室物料进出口与装料室物料进出口连接，物料从装料室提升至加热室；S04，将装料室从加热室下方移开，将已抽取至规定真空度的淬火室移动至加热室正下方；S05，将加热室物料进出口与淬火室物料进出口连接，物料从加热室移动至淬火室内，关闭淬火室密封门，物料下降至淬火区，使用淬火介质对物料进行淬火；S06，开启淬火室密封门，启动淬火室内设的物料升降装置将已完成淬火的物料移出淬火室。该真空淬火方法既能保证物料的淬火质量，还能实现物料的批量淬火。
一种真空淬火方法

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