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[实用新型]单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉-CN201420326967.4有效
发明人：马少林;李侨;周锐;毛静;李定武 -专利权人：西安隆基硅材料股份有限公司
申请日： 2014-06-18 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开的单晶炉热场，包括位于坩埚上方的热屏以及独立于热屏、同轴设置于热屏内侧的热屏冷却件，热屏冷却件可相对于坩埚升降。本实用新型还公开具有该单晶炉热场的单晶炉，包括单晶炉壳体、坩埚和上述的单晶炉热场，坩埚和单晶炉热场均容置于单晶炉壳体内。本实用新型的单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉中的热屏冷却件，可吸收单晶生长时释放的结晶潜热、有效地提高单晶生长速度，一旦发生损坏，也便于维修，并且，该热屏冷却件可相对于坩埚升降，在加料时升起该热屏冷却件
单晶炉热场具有单晶炉

[发明专利]高温真空石墨烧结炉-CN202210000262.2在审
发明人：张小元;张亚;郝国奇;陈永强 -专利权人：昇力恒（宁夏）真空科技股份公司
申请日： 2022-01-03 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： F27B21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种高温真空石墨烧结炉，属于真空烧结设备技术领域。该温真空石墨烧结炉包括炉筒及设置在炉筒两端的炉盖，炉筒内设置有热屏主体，炉盖内侧设置有热屏端盖组件，热屏端盖组件包括前屏、滑轨及驱动件，滑轨固定设置在炉盖上，前屏滑动设置于滑轨上，驱动件的输出端连接前屏，当炉盖盖合于炉筒时，驱动件能够驱动盖合于热屏主体的端部的前屏与热屏主体分离。烧结完成后，自然降温至适合的温度后，驱动件向前屏施加一个远离热屏主体的端部的力，使得前屏与热屏主体分离，形成气体交换通道，加速热屏内均热区的降温速率，从而有利于缩短降温时间，加快降温速率。
高温真空石墨烧结炉

[发明专利]一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏-CN201410311347.8在审
发明人：徐建 -专利权人：安徽旭特电子科技有限公司
申请日： 2014-07-02 - 公布日： 2016-02-10 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏，它包括外热屏、内热屏和保温层。所述外热屏、内热屏和保温层以炉热屏中心轴为中心均匀设置；所述炉热屏由外向内设有外热屏、保温层和内热屏；所述内热屏的中心位置设有冷却管道；所述冷却管道贯穿整个保温层且在炉热屏的顶端两侧位置分别设有冷却水管入口和冷却水管出口本发明单晶炉用涂层热屏具有操作简单、使用方便和控温效果好等优点。
一种带有内部水冷单晶炉用涂层

[实用新型]单晶炉可提升水冷热屏装置-CN201721214789.6有效
发明人：傅林坚;曹建伟;孙明;倪军夫;沈兴潮 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2017-09-21 - 公布日： 2018-04-24 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅生产设备领域，旨在提供一种单晶炉可提升水冷热屏装置。该种单晶炉可提升水冷热屏装置包括热屏提升装置、水冷热屏、热屏上环、热屏下环、热屏外环、热场上保温盖、快卸螺母、浸液保护装置，用于设置在单晶炉炉体内石英坩埚的上方。本实用新型采用水冷热屏替换原单晶炉中的热屏内环，水冷热屏底部能与液面之间形成比较小的距离空间，在距离液面较近的区域带走热量；且其余水冷热屏和原先石墨热屏内环尺寸一致，不会对其气流等产生影。
单晶炉可提升水冷装置

[发明专利]单晶生长炉热屏及其制造方法-CN201610959752.X在审
发明人：赵向阳;陈强;肖祥凯 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2016-10-28 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：在本发明提供了一种单晶生长炉热屏及其制造方法，所述单晶生长炉热屏包括屏体，所述屏体内形成有容置空间，所述屏体的材料用石英玻璃，避免引入钼、碳等污染源，可以有效减少单晶生长炉热屏对晶体的污染。
生长炉热屏及其制造方法

[发明专利]单晶炉热场装置、单晶炉及单晶生长控制方法-CN202010043383.6在审
发明人：邓浩;严立新;付泽华;马少林;王建波;马宝;文永飞;谢志宴 -专利权人：华坪隆基硅材料有限公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开单晶炉热场装置、单晶炉及单晶生长控制方法。该单晶炉热场装置，包括：热屏，所述热屏在其中心形成有气流通道；换热部件，所述换热部件设置在所述气流通道内，并围合地形成提拉通道；所述热屏用于设置在坩埚的上方；所述热屏具有底部，所述底部至少部分地阻挡在所述换热部件与所述坩埚内的硅熔体液面之间该单晶炉热场装置在热屏形成的气流通道内，设置换热部件，快速带走结晶释放的潜热；热屏的底部至少部分地阻挡在所述换热部件与硅熔体液面之间，改善热屏的效能；增加晶体纵向温度梯度，提高晶体生长速度。
单晶炉热场装置单晶炉生长控制方法

[实用新型]单晶炉热场装置及单晶炉-CN202020086870.6有效
发明人：邓浩;严立新;付泽华;马少林;王建波;马宝;文永飞;谢志宴 -专利权人：华坪隆基硅材料有限公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开单晶炉热场装置及单晶炉。该单晶炉热场装置，包括：热屏，所述热屏在其中心形成有气流通道；换热部件，所述换热部件设置在所述气流通道内，并围合地形成提拉通道；所述热屏用于设置在坩埚的上方；所述热屏具有底部，所述底部至少部分地阻挡在所述换热部件与所述坩埚内的硅熔体液面之间该单晶炉热场装置在热屏形成的气流通道内，设置换热部件，快速带走结晶释放的潜热；热屏的底部至少部分地阻挡在所述换热部件与硅熔体液面之间，改善热屏的效能；增加晶体纵向温度梯度，提高晶体生长速度。
单晶炉热场装置单晶炉

[实用新型]一种热屏对中装置及单晶炉-CN202222823013.1有效
发明人：相鹏飞;文永飞;成路;郭瑞波;程磊;马少林;张朝光;王莎莎;丁彪;马宝 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，特别是涉及一种热屏对中装置及单晶炉。热屏对中装置中悬挂组件的一端与热屏连接；悬挂组件的另一端穿设于竖直导向组件，并与竖直导向组件活动连接；竖直导向组件用于调整悬挂组件的竖直高度；竖直导向组件与水平导向组件固定连接；水平导向组件与单晶炉或单晶炉内的工作件连接本实用新型实施例的热屏对中装置，可以在水平方向和竖直方向调整热屏在单晶炉内的位置，使得热屏与单晶炉的对中性及一致性相对较好，进而保证热屏在单晶炉热场中的位置准确，避免出现热场漏热、气流不稳等问题，而影响拉晶品质
一种装置单晶炉

[发明专利]单晶炉的热屏-CN201110455273.1无效
发明人：汤仁兴 -专利权人：汤仁兴
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶炉的热屏，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种单晶炉的热屏，其特征在于：它内热屏层（1）和外热屏层（2），所述内热屏层（1）和外热屏层（2）之间设有保温层（3）。这种单晶炉的热屏在内热屏层和外热屏层之间增设了保温层，该保温层的材料为软毡，其导热系数小，隔热性能好，使得内热屏层的温度不易传到外热屏层上，从而提高了热屏的保温性能，保证了单晶硅的正常生产。
单晶炉

[实用新型]一种单晶炉用热屏支撑架-CN201120204631.7有效
发明人：钮应喜 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2011-06-17 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，特别是一种单晶炉用热屏支撑架，分为左右两块支撑板，两块支撑板架设在炉筒上，两块支撑板的内侧具有热屏外形相适应的支撑热屏外沿的内凹。本单晶炉用热屏支撑架可以使热屏挂起，使得装料量从70kg提高到85～90k，可以使非硅成本降低13％，实现了成本的降低。
一种单晶炉用热屏支撑架

[实用新型]一种单晶炉投料装置-CN201120482659.7有效
发明人：王文华;白喜军;刘贤;陈立军;周小渊 -专利权人：宁夏隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;银川隆基硅材料有限公司;无锡隆基硅材料有限公司
申请日： 2011-11-29 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公布了一种单晶炉投料装置，包括单晶炉上轴，在单晶炉上轴的下端连接有热屏挂架，热屏挂架上挂接有多个热屏吊臂，每个热屏吊臂的下端为向外径方向伸出的挂钩；该弯钩端可从热屏下方与热屏实现活动式直接连接，形成从下方托举热屏的态势。本实用新型的单晶炉投料装置，结构简单，使用效果好，在加料时通过升降装置提升热屏，增加热屏和炉内硅料之间的距离，从而实现多装硅料，并可与水冷夹套兼容，无需设置挂钩从而可以避免挂钩在高温下对硅料的污染，热屏受力结构良好而不会导致热屏寿命的下降
一种单晶炉投料装置

[实用新型]一种单晶炉用涂层热屏-CN201120135579.4有效
发明人：钮应喜 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2011-04-30 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶炉热屏装置技术领域，特别是一种单晶炉用涂层热屏，包括热屏外层、热屏内层以及热屏内外层之间的保温层，在热屏内、外层表面覆盖热解碳层。本实用新型的有益效果是：1)本热屏表面涂覆的热解碳，极大地增大热场纵向温度梯度，相比现有热屏相比，可使得长晶速度提高20％。2)大大降低了能耗，与现有热场相比能耗降低10％。
一种单晶炉用涂层

[实用新型]一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构-CN202022467092.8有效
发明人：刘丁;弋英民;张晶;张新雨;黄伟超 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构，包括热屏，热屏上活动设置有炉盖，热屏与炉盖之间设置有热屏提升机构，热屏提升机构具体结构为：包括一对平行竖直设置的提升杆，提升杆的下端安装有扇形的旋片挂钩，热屏杆的上端连接有旋转拧手，提升杆的上下运动是通过提升电机带动丝杠的旋转，从而驱动与提升杆上部连接的热屏运动支座实现提升和下降的动作，热屏运动支座通过下方安装的波纹管与热屏连接底座法兰连接为一个整体，整个热屏提升机构就是通过热屏连接底座法兰安装固定在炉盖的对应窗口位置。本实用新型解决了现有技术中存在的高温对热屏提升杆的影响以及热屏提升杆对温度梯度影响的问题。
一种半导体级单晶生长设备可分离式热屏提升机构

[实用新型]具有散热翼片空冷式热屏的炉水泵电机-CN200920142822.8无效
发明人：王松年;姚荣祥;刘龙海 -专利权人：合肥皖化电机技术开发有限责任公司
申请日： 2009-01-21 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： H02K9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及具有散热翼片空冷式热屏的炉水泵电机，解决了现有空冷式热屏的炉水泵电机冷却效率不高的问题。在炉水泵与电机之间的电机输出轴上套设有带散热翼片的空冷式热屏；空冷式热屏中部为管状热颈，管状热颈的外圆柱面上均布设有散热翼片；其一端为上法兰，上法兰与泵壳连接，其另一端为下法兰，下法兰与电机壳体连接。本实用新型热屏从高温法兰传递到炉水泵电机壳体的热量与传统的空冷式热屏相比可减少50％～60％。
具有散热翼片空冷式热屏水泵电机

[发明专利]热屏组件及单晶提拉炉热场结构-CN201610728299.1在审
发明人：邓先亮;赵向阳;陈强 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2016-08-25 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种热屏组件及单晶提拉炉热场结构，所述热屏组件包括热屏及位于所述热屏外围的排气管。本发明的热屏组件通过在热屏的外围设置一组排气管，将所述热屏组件用于单晶提拉炉热场结构时，所述排气管可以作为新增的氩气出口，可以改变氩气在热场结构内流动的路径，使得氩气在热场结构内不易形成涡旋。同时可以将从熔体中挥发的SiO及时排出，减少氩气流中的SiO进入熔体及与坩埚下方的高温石墨元件反应，从而延长各石墨组件的使用寿命，降低晶体中的氧含量和碳含量，并降低长晶结束后清炉的难度；同时，所述热屏组件还可以通过改变排气管中的流速，调节热屏附近的温度梯度。
组件单晶提拉炉热场结构

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