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[发明专利]与微米级厚度的电子部件有关的激光回流焊装置-CN201910751038.5有效
发明人：金南成;崔在浚 -专利权人：镭射希股份有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B23K3/00 文献下载
摘要：本发明的激光回流焊装置用于在配置于工作台上的基板对电子部件进行软熔，上述激光回流焊装置包括：激光照射部，包括多个激光模块，上述激光模块用于向配置有上述电子部件的基板的至少一部分区域照射具有平顶功率曲线的激光束；摄像部，由至少一个摄像机模块构成，用于拍摄通过上述激光束对上述电子部件进行软熔的过程；以及激光功率调整部，根据上述摄像部的输出信号，生成用于对上述激光照射部的各激光模块进行独立控制的控制信号并施加到上述激光照射部
微米厚度电子部件有关激光回流装置

[发明专利]发光装置、车辆用前照灯、照明装置及激光元件-CN201110318848.5无效
发明人：高桥幸司;高平宜幸 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2011-10-19 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： F21S8/10 文献下载
摘要：本发明提供一种发光装置、车辆用前照灯、照明装置及激光元件，其中，所述发光装置具备：发光部，其通过被照射激光而产生荧光；光照射单元，其向发光部的光照射面照射光束直径相对于传播方向单调增加的激光。
发光装置车辆用前照灯照明激光元件

[发明专利]修理液晶屏的方法和装置-CN200610084576.6有效
发明人：川田义高;伊藤弘 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2006-06-02 - 公布日： 2006-12-06 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：一种通过用激光来照射液晶屏的缺陷像素来修复液晶屏的方法，包括：在包含灰尘的缺陷像素中，在灰尘基本不会被激光照射到的同时，用激光照射所述灰尘之外的缺陷像素的至少一部分。或者，一种通过用激光来照射液晶屏的缺陷像素来修复液晶屏的方法，包括：在含有灰尘的缺陷像素中，确定含有所述灰尘的非照射区域以及不含有所述灰尘的照射区域，并且在所述非照射区域不被所述激光照射的同时用所述激光照射所述照射区域的至少一部分一种用于修复液晶屏的装置，包括：发射激光的激光振荡器；其上安装有所述液晶屏的平台；将从所述激光振荡器中发射出的激光导向安装在所述平台上的所述液晶屏的光学部分；以及控制器，控制所述平台和所述光学部分至少之一，从而当所述液晶屏的缺陷像素中含有灰尘时，在所述灰尘基本不被所述激光照射到的同时，所述激光照射所述灰尘之外的缺陷像素的至少一部分。
修理液晶屏方法装置

[发明专利]电极片制造装置和蓄电装置的制造方法-CN201811406109.X有效
发明人：樱井贵宏 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2018-11-23 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：电极片制造装置是切断层叠体片来形成电极片的电极片制造装置，该层叠体片具有电极复合材料层和设置于电极复合材料层上的分隔件，该电极片制造装置具有激光照射装置和控制激光照射装置的驱动的控制部，该激光照射装置将具有分隔件所吸收的波长的第1激光和电极复合材料层所吸收的波长的第2激光照射到层叠体片，控制部使第1激光的照射位置相对于层叠体片移动并以通过第1激光的照射位置的轨迹的方式使第2激光的照射位置移动。
电极制造装置方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201911082504.1在审
发明人：碛本荣一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-11-07 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板处理装置具有：基板保持旋转部，其将基板保持在载置台上并使基板旋转；激光照射头，其向所述载置台的下表面照射激光光线；以及控制部，其至少控制所述基板保持旋转部的旋转和所述激光光线的照射，其中，所述激光照射头以与所述载置台分离的方式固定于所述载置台的下方，所述控制部在通过所述基板保持旋转部使所述载置台旋转时，使所述激光照射头照射所述激光光线。
处理装置方法

[发明专利]半导体制造装置及半导体装置的制造方法-CN202210020918.7在审
发明人：渡邉崇史 -专利权人：铠侠股份有限公司
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明的实施方式提供一种能够抑制在衬底外周部的修整步骤后产生的碎屑或灰尘的半导体制造装置及半导体装置的制造方法。本实施方式的半导体制造装置具备第1激光照射部、第2激光照射部及分离部。第1激光照射部在包含相互接合的第1衬底与第2衬底的接合衬底的外周部，从第1衬底侧向第1衬底的内部照射第1激光而形成改质层。第2激光照射部从第2衬底侧向位于第1衬底与第2衬底之间且设置在第2衬底的材料层照射第2激光，将第2衬底与材料层之间剥离。分离部将第1衬底的外周部及材料层的外周部从接合衬底的外周部分离。
半导体制造装置方法

[发明专利]照射模块和包括所述照射模块的基板处理设备-CN202210917317.6在审
发明人：孙源湜;尹铉;崔基熏;梁孝源;金泰熙;郑仁基 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理设备，包括：在处理空间中支撑和旋转所述基板的支撑单元；将液体供应到由所述支撑单元支撑的所述基板的液体供应单元；以及将光照射到由所述支撑单元支撑的所述基板的照射模块，其中所述照射模块包括：具有容纳空间的外壳；激光单元，其位于所述容纳空间中并且包括照射激光的激光照射单元，以及照射端，所述照射端具有从所述外壳突出的一个端部并且将从所述激光照射单元照射的所述激光照射到由所述支撑单元支撑的所述基板；以及冷却单元，其位于所述容纳空间中并冷却所述激光照射单元。
照射模块包括处理设备

[发明专利]激光加工装置和激光加工方法-CN202180024761.9在审
发明人：是松克洋 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：一种激光加工装置，其用于对于对象物照射激光而形成改性区域，所述激光加工装置包括：用于支承所述对象物的支承部；用于对由所述支承部支承的所述对象物照射所述激光的激光照射部；移动机构，其通过使所述支承部和所述激光照射部中的至少一者移动而使所述激光的聚光点相对于所述对象物进行相对移动；和控制所述激光照射部和所述移动机构的控制部。在所述对象物，从与所述激光的入射面交叉的方向观察时，设定有沿第1方向延伸的第1线、和沿与所述第1方向交叉的第2方向越过所述第1线而延伸的第2线。
激光加工装置方法

[发明专利]三维造型装置、该装置的控制方法以及其控制程序-CN201911029577.4在审
发明人：大嶋英司 -专利权人：康达智株式会社
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： B29C64/268 文献下载
摘要：一种三维造型装置，具有：光照射部，照射种类不同的第一激光和第二激光；受光部，接收从光照射部照射到物体的所述第一激光的反射光；计测部，基于反射光，对物体的形状进行计测；控制部，基于由计测部计测到的所述物体的形状，控制光照射部的第二激光对三维造型物的材料的照射，由此对三维造型物造型进行造型。
三维造型装置控制方法及其控制程序

[发明专利]电子元件输送装置以及电子元件测试装置-CN201811293376.0在审
发明人：实方崇仁 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：提供一种电子元件输送装置以及电子元件测试装置，使用例如摄像机等成像部，能够正确判断载置部上是否载置有电子元件。电子元件输送装置向测试电子元件的测试部输送电子元件，具备：载置部，载置电子元件；成像部，对载置部成像；激光照射部，向载置部照射激光；控制部，具有判断载置部是否载置有电子元件的判断部，并且在判断部进行判断时，控制成像部和激光照射部的操作；判断部在判断载置部是否载置有电子元件时，在来自激光照射部的激光照射载置部的状态下，通过成像部对载置部成像，获得载置部中的灰度图像，根据灰度图像中的亮度的边界部分，判断是否载置有电子元件
载置部载置成像部激光照射部输送装置电子元件测试装置灰度图像成像测试电子元件激光照射摄像机照射激光测试

[发明专利]激光熔接方法、激光熔接装置以及送风机用叶轮的制造方法-CN200780010546.3有效
发明人：西野久则 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2007-03-26 - 公布日： 2009-04-15 - 主分类号： B29C65/16 文献下载
摘要：本发明提供激光熔接方法、激光熔接装置以及送风机用叶轮的制造方法。在一边使照射位置移动一边进行激光照射的激光熔接方法中，即使附着在树脂部件的重叠部上的灰尘或金属粉等由于激光照射而起火的情况下，也能够极力地防止在激光的照射路径上残留燃烧痕迹。在激光熔接方法中，通过将透射树脂部件(11)和光透射率比透射树脂部件(11)的光透射率低的吸收树脂部件(12)重叠，来形成重叠部(13)，一边使照射位置相对于重叠部(13)移动，一边从透射树脂部件(11)侧进行激光照射，并且，根据激光的照射位置的移动，从透射树脂部件(11)侧对照射位置喷射不易燃气体。
激光熔接方法装置以及送风机叶轮制造

[发明专利]重叠工件的激光焊接方法-CN200880000495.0有效
发明人：西尾匡弘;附柴祐一;富士本博纪 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2008-04-08 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： B23K26/20 文献下载
摘要：在本重叠工件的激光焊接方法中，由于在2个重叠的工件(1、2)中，将照射在一方的工件表面(1)上的激光照射直径设定为焊接终端部的激光照射直径B为焊接始端部的激光照射直径A的约1.5倍以上，所以在焊接终端部，比以往范围广的材料被熔融，由此，该熔融的材料在焊接终端部凝固时被供给到焊接终端部的中央部分，能够使焊接终端部的凹部的深度变浅到能够保证各工件(1、2)的焊接质量的水平。
重叠工件激光焊接方法

[发明专利]激光照射装置-CN201980031867.4在审
发明人：许琎 -专利权人：许琎
申请日： 2019-05-14 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明公开激光照射装置。优选地，本发明公开的激光照射装置包括：反射镜，在内部形成收容空间；闪光灯，插入安装在上述反射镜，用于生成光；激光杆，使从上述闪光灯入射的光共振来释放激光；电容器，用于将所要供给于上述闪光灯的电压存储规定时间；数字可变电阻部，根据设定的电阻值输出互不相同的电压；电压升压部，使从上述数字可变电阻部接收的电压升压并向上述电容器供给；控制部，存储有与每个激光照射级别相对应的电阻值，当使用人员设定激光照射级别时，根据与设定的激光照射级别相对应的电阻值来设定上述数字可变电阻部的电阻值；以及触发电路部，通过使用人员的操作接通，用于向上述闪光灯供给上述电容器的充电电压。
激光照射装置

[发明专利]检查装置及检查方法-CN202180019931.4在审
发明人：坂本刚志;荻原孝文;佐野育 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-03-03 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01L21/301 文献下载
摘要：检查装置具备激光照射单元、对晶圆进行摄像的摄像单元、接收输入的显示器、及控制部，显示器接收：包含晶圆的信息及对该晶圆的激光加工目标的晶圆加工信息的输入，控制部执行：基于通过显示器接收到的晶圆加工信息，决定包含通过激光照射单元的激光的照射条件的配方(加工条件)；以决定的配方对晶圆照射有激光的方式，控制激光照射单元；通过以对晶圆进行摄像的方式控制摄像单元，取得通过激光的照射的晶圆的激光加工结果；及基于激光加工结果，评价配方的方式构成。
检查装置方法

[发明专利]基于激光的气溶胶生成装置及其加热控制方法-CN202280007171.X在审
发明人：郑镇哲;高京敏;裵亨镇;徐章源;张哲豪;丁民硕;郑钟成 -专利权人：韩国烟草人参公社
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： A24F40/50 文献下载
摘要：本公开提供一种基于激光的气溶胶生成装置及其加热方法。根据本公开的一些实施例的气溶胶生成装置可以包括：激光照射部，通过照射激光来加热气溶胶生成制品，从而生成气溶胶；及控制部，用于控制激光照射部。控制部通过调节激光的照射面积来精密控制对气溶胶生成制品的加热，从而在吸烟时可以限制呈现焦味，并提高吸烟满意度。
基于激光气溶胶生成装置及其加热控制方法