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- [发明专利]基板处理方法以及基板处理装置-CN200610163667.9有效
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桥诘彰夫
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大日本网目版制造株式会社
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2006-12-01
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2007-06-06
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G03F7/42
- 本发明提供一种能够不给基板带来损伤而很好地剥离(除去)离子注入时作为掩模所使用的抗蚀膜的基板处理方法以及基板处理装置。在本发明的基板处理方法中，对基板的表面供给由有机溶剂和气体混合而得到的混合流体。然后，对基板的表面供给用于从该基板的表面剥离抗蚀膜的抗蚀膜剥离液。该基板处理装置具有：SPM喷嘴，其用于向被旋转卡盘保持的晶片的表面供给作为抗蚀膜剥离液的SPM；二流体喷嘴，其用于对被旋转卡盘保持的晶片的表面供给由有机溶剂和氮气混合而得到的混合流体。通过从二流体喷嘴向晶片的表面供给混合流体，从而在抗蚀膜表面的固化层被破坏之后，从SPM喷嘴向晶片的表面供给高温的SPM，来将抗蚀膜从晶片的表面剥离。
- 处理方法以及装置
- [实用新型]一种污水处理用清洁原料卸料车-CN202020475285.5有效
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李明华
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李明华
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2020-04-03
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2021-02-12
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B01F7/08
- 本实用新型公开了一种污水处理用清洁原料卸料车，涉及污水处理技术领域。该污水处理用清洁原料卸料车，包括底座，所述底座的顶部外表面固定安装有混合箱，所述混合箱的顶部外表面铰接安装有盖板，所述混合箱的顶部外表面固定连接有注水管，所述混合箱与注水管内部相通，所述混合箱的内部固定安装有隔板，所述隔板的顶部外表面固定安装有搅拌盒，所述搅拌盒的顶部外表面固定安装有引流块，所述搅拌盒的顶部外表面固定连接有第一出水管。该污水处理用清洁原料卸料车，可以将清洁原料和水进行充分混合搅拌，不会产生利用率不够的现象，将原本为粉状的清洁原料转换成以水为载体的清洁水，使得清洁原料可以充分利用，减少浪费。
- 一种污水处理清洁原料卸料
- [实用新型]一种油田污水腐蚀结垢处理装置-CN202122483461.7有效
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丁新燕
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榆林学院
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2021-10-14
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2022-02-18
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C02F9/04
- 本实用新型公开了一种油田污水腐蚀结垢处理装置，涉及油田污水处理技术领域，包括结垢处理装置主体，所述结垢处理装置主体的底部活动安装有支撑座，所述支撑座的上方设置有污水混合过滤装置，所述污水混合过滤装置的内部设置有除垢剂加料装置，所述污水混合过滤装置包括有电机、转轴、混合罐和残渣处理装置，所述残渣处理装置的上表面与混合罐的下表面固定连接，所述除垢剂加料装置包括有加料管道、储料网、辅助混合装置和加热装置。本实用新型通过安装污水混合过滤装置，电机带动转轴和小齿轮转动，小齿轮带动大齿轮转动使混合罐旋转，可以使除垢剂与油田污水中的结垢离子充分反应，残渣处理装置方便对过滤出来的残渣进行排出清理处理。
- 一种油田污水腐蚀结垢处理装置
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