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[发明专利]在颜料粒子分散液中增溶研磨介质的方法-CN201180067456.4有效
发明人：马克·奥塔兰诺 -专利权人：太阳化学公司
申请日： 2011-12-13 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： C09C3/04 文献下载
摘要：具体地，通过固体研磨剂将包含颜料、分散剂和液体载体的预混合组合物研磨至预定粒度。固体研磨剂在液体载体中被增溶，这消除了从分散液中分离固体研磨剂的需要。
颜料粒子分散液中增溶研磨介质方法

[发明专利]液体研磨剂及其制备方法-CN200810229559.6有效
发明人：卜锋;裴宇飞;彭新;王博;刘明铭;黄晨华 -专利权人：沈阳黎明航空发动机（集团）有限责任公司
申请日： 2008-12-10 - 公布日： 2009-05-06 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：一种液体研磨剂及其制备方法，属于材料技术领域，该液体研磨剂的成分按重量百分比为含白刚玉粉19～21％，硬脂酸3～5％，蜂蜡0.5～1.5％，油酸10～20％，航空汽油52～57％，航空煤油2～6％。制备方法为：将白刚玉粉、硬脂酸、蜂蜡、油酸、航空汽油和航空煤油混合，获得混合物料；将混合物料在200±5℃的条件下保温10～12h，然后冷却至室温，制备成液体研磨剂。采用本发明的同体积液体研磨剂，还具有加工数量多，加工时间短的优点；本发明制备的液体研磨剂使用方便，对设备损害小，具有良好的应用前景。
液体研磨剂及其制备方法

[发明专利]一种化学机械抛光研磨剂的制备方法及化学机械抛光方法-CN201911338227.6在审
发明人：杨鹏;周文斌;张磊 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种化学机械抛光研磨剂的制备方法及化学机械抛光方法，其中，化学机械抛光研磨剂的制备方法在获取了待处理研磨剂和预设有机硅烷后，利用预设有机硅烷对分散在有机溶剂中的待处理研磨剂进行表面改性处理，并对待分离液体进行处理，以获得表面改性的化学机械抛光研磨剂，表面改性的化学机械抛光研磨剂可以被有机化合物均匀包裹，在避免表面改性的化学机械抛光研磨剂在研磨液体中团聚，避免在化学机械抛光处理过程中团聚的研磨剂对半导体元件表面造成损伤情况的基础上另外，表面改性的化学机械抛光研磨剂与有机化合物的结合更加紧密，有利于提升在化学机械抛光的研磨过程中的缓冲效果。
一种化学机械抛光研磨剂制备方法

[发明专利]带冷却功能的防沉集中转车-CN201610558683.1在审
发明人：袁树明;韦建晶 -专利权人：苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司
申请日： 2016-07-16 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本发明涉及带冷却功能的防沉集中转车，包括车体、回收泵、过滤器、冷却管、储液罐、搅拌机，实际使用时，先将研磨剂注入储液罐，当研磨剂达到一定量时，启动回收泵，将研磨剂从储液罐中泵出至过滤器内，经过滤器过滤后，再从过滤器出液端输送至研磨设备的进液口，由于研磨剂内的大颗粒容易沉集，因此本发明在储液罐上设置搅拌机，并将搅拌机的搅拌桨部分设置在储液罐底部，这样当启动搅拌机时，可以促使研磨剂处于一个动态的状态下，避免沉集现象发生，同时，当研磨剂温度较高时，将冷却管与低温液体循环泵连接，通过低温液体在冷却管内的循环来带走研磨剂内的多余热量。
冷却功能集中转车

[实用新型]带冷却功能的防沉集中转车-CN201620749394.5有效
发明人：袁树明;韦建晶 -专利权人：苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司
申请日： 2016-07-16 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及带冷却功能的防沉集中转车，包括车体、回收泵、过滤器、冷却管、储液罐、搅拌机，实际使用时，先将研磨剂注入储液罐，当研磨剂达到一定量时，启动回收泵，将研磨剂从储液罐中泵出至过滤器内，经过滤器过滤后，再从过滤器出液端输送至研磨设备的进液口，由于研磨剂内的大颗粒容易沉集，因此本实用新型在储液罐上设置搅拌机，并将搅拌机的搅拌桨部分设置在储液罐底部，这样当启动搅拌机时，可以促使研磨剂处于一个动态的状态下，避免沉集现象发生，同时，当研磨剂温度较高时，将冷却管与低温液体循环泵连接，通过低温液体在冷却管内的循环来带走研磨剂内的多余热量。
冷却功能集中转车

[发明专利]用于钨磨光的组合物-CN201580015491.X有效
发明人：富琳;J.戴萨德;S.格拉宾 -专利权人：嘉柏微电子材料股份公司
申请日： 2015-03-20 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：用于抛光具有钨层的基板的化学机械抛光组合物，其包括水基液体载剂及分散于该液体载剂中的胶体二氧化硅研磨剂颗粒。所述胶体二氧化硅研磨剂颗粒具有至少6mV的永久正电荷。所述胶体二氧化硅研磨剂颗粒中的30%或更多包括三个或更多个聚集的初级颗粒。
用于磨光组合

[发明专利]一种研磨装置及研磨方法-CN201810759377.3在审
发明人：耿臣;耿书岭;耿涛;陈占志;李若男;韩涛;王丽梅 -专利权人：河南红桥锚机有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： B24B31/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种研磨装置及研磨方法，研磨装置包括机架，机架上转动装配有用于盛装待研磨工件并带动待研磨工件翻转研磨的盛料滚筒，所述盛料滚筒具有用于容纳待研磨工件的容纳腔，所述盛料滚筒上设有与容纳腔相连并向容纳腔内通入液体状研磨剂的研磨剂进口，盛料滚筒筒壁上还设有与容纳腔相连的研磨剂出口。使用时，在待研磨工件被研磨时会产生粉料颗粒，通过研磨剂进口和研磨剂出口能够实现研磨剂的流动，流动的过程中将粉料颗粒及时携带走，不会导致粉料颗粒在待研磨工件被带动翻滚时重新被撞击至待研磨工件的外表面上，能够提高待研磨工件的光洁度和研磨效果
研磨工件研磨剂研磨料滚筒容纳腔粉料颗粒研磨装置光洁度转动装配液体状翻转进口流动筒壁翻滚出口盛装容纳携带

[实用新型]一种研磨装置-CN201821096644.5有效
发明人：耿臣;陈占志;李若男;耿涛;耿书岭;韩涛;王丽梅 -专利权人：河南红桥锚机有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： B24B31/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种研磨装置，研磨装置包括机架，机架上转动装配有用于盛装待研磨工件并带动待研磨工件翻转研磨的盛料滚筒，所述盛料滚筒具有用于容纳待研磨工件的容纳腔，所述盛料滚筒上设有与容纳腔相连并向容纳腔内通入液体状研磨剂的研磨剂进口，盛料滚筒筒壁上还设有与容纳腔相连的研磨剂出口。使用时，在待研磨工件被研磨时会产生粉料颗粒，通过研磨剂进口和研磨剂出口能够实现研磨剂的流动，流动的过程中将粉料颗粒及时携带走，不会导致粉料颗粒在待研磨工件被带动翻滚时重新被撞击至待研磨工件的外表面上，能够提高待研磨工件的光洁度和研磨效果
研磨工件研磨剂料滚筒容纳腔粉料颗粒研磨装置研磨光洁度本实用新型转动装配液体状翻转进口流动筒壁翻滚出口盛装容纳携带

[发明专利]混合研磨剂型的钨化学机械抛光组合物-CN201580027200.9有效
发明人： S.格拉姆宾;J.戴萨德 -专利权人：嘉柏微电子材料股份公司
申请日： 2015-03-20 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：化学机械抛光组合物，其包含水基液体载剂及分散于该液体载剂中的第一和第二二氧化硅研磨剂。该第一二氧化硅研磨剂为具有至少10mV永久性正电荷的胶体二氧化硅研磨剂。该第二二氧化硅研磨剂具有中性电荷或非永久性正电荷。化学机械抛光包括钨层的基板的方法，包括使该基板与上述抛光组合物接触，相对于该基板移动该抛光组合物，及研磨该基板以从该基板移除一部分所述钨并从而抛光该基板。
混合研磨剂型化学机械抛光组合

[发明专利]混合研磨剂型的钨化学机械抛光组合物-CN201580027199.X有效
发明人： W.沃德;G.怀特纳;S.格拉姆宾;J.戴萨德 -专利权人：嘉柏微电子材料股份公司
申请日： 2015-03-20 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：用于抛光具有钨层的基板的化学机械抛光组合物，其包括：水基液体载剂；分散于该液体载剂中的第一与第二胶体二氧化硅研磨剂；以及含铁的促进剂。该第一胶体二氧化硅研磨剂与该第二胶体二氧化硅研磨剂各自具有至少10mV的永久性正电荷。该第二二氧化硅研磨剂的平均粒径比该第一二氧化硅研磨剂的平均粒径大至少20纳米。该方法可包括：使该基板与上述抛光组合物接触，相对于该基板移动该抛光组合物，以及研磨该基板以从该基板移除一部分所述钨并从而抛光该基板。
混合研磨剂型化学机械抛光组合

[发明专利]液体清洁和/或净化组合物-CN201480030411.3在审
发明人： D·A·冈萨雷斯;M·L·格鲁姆布里奇;M·麦克唐内尔 -专利权人：宝洁公司
申请日： 2014-05-28 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： C11D3/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种液体清洁和/或净化组合物，所述组合物包含由包含多个条柱的泡沫结构获得的非球形和/或非滚动研磨剂清洁颗粒，其中所述研磨剂清洁颗粒包含多个至少部分掺入其中的填料颗粒，其中所述研磨剂清洁颗粒的粒度大于所述填料颗粒的粒度，并且其中所述填料颗粒的平均面积当量直径与所述研磨剂清洁颗粒的平均面积当量直径的比率为0.01至0.2，所述面积当量直径根据ISO9276-6测量。
液体清洁净化组合

[发明专利]研磨剂再循环处理系统及研磨剂回收·再生方法-CN201980020537.5有效
发明人：月形扶美子;前泽明弘;南条崇 -专利权人：柯尼卡美能达株式会社
申请日： 2019-03-06 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供用于从加工完的研磨剂浆料中有效率地回收研磨剂、将其作为再生研磨剂浆料而再利用的研磨剂再循环处理系统及研磨剂回收·再生方法。本发明的研磨剂再循环处理系统控制用于研磨的研磨剂浆料中的研磨剂的构成成分和被研磨物的构成成分的浓度，且继续研磨加工，从加工完的研磨剂浆料中将被研磨物的构成成分除去，将研磨剂回收·再生，其特征在于，具有：研磨加工工序部；和具有浆料供给罐的研磨剂浆料回收工序部，所述浆料供给罐贮存用于研磨的研磨剂，一边进行控制以使浆料供给罐中的研磨剂的构成成分的浓度成为研磨加工工序开始时的初期浓度以下，一边向浆料供给罐中供给再生研磨剂浆料
研磨剂再循环处理系统回收再生方法

[发明专利]再生研磨剂浆料的制备方法和研磨剂浆料-CN202210485071.X在审
发明人：高桥笃;前泽明弘;月形扶美子;沟口启介 -专利权人：柯尼卡美能达株式会社
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供研磨速度的降低少且划痕、腐蚀的产生少的再生研磨剂浆料的制备方法和研磨剂浆料。本发明的再生研磨剂浆料的制备方法的特征在于，使用含有氧化铈研磨剂和分散剂的基准研磨剂浆料研磨硅为主成分的被研磨物后，由使用完毕的研磨剂浆料制备再生研磨剂浆料，其中，经过浆料回收工序、分离浓缩工序和研磨剂再生工序来制备再生研磨剂浆料，所述研磨剂再生工序是通过在该分离浓缩后的上述氧化铈研磨剂中添加pH调节剂和上述分散剂从而调整再生研磨剂浆料以使得25℃换算的pH值在6.0～10.5的范围内并使电导率的值相对于上述基准研磨剂浆料在0.10
再生研磨剂浆料制备方法

[发明专利]带冷却功能的中转车-CN201610558682.7在审
发明人：袁树明;韦建晶 -专利权人：苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司
申请日： 2016-07-16 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：实际使用时，先将研磨剂注入储液罐，当研磨剂达到一定量时，启动回收泵，将研磨剂从储液罐中泵出至过滤器内，经过滤器过滤后，再从过滤器出液端输送至研磨设备的进液口，研磨剂温度较高时，将冷却管与低温液体循环泵连接，通过低温液体在冷却管内的循环来带走研磨剂内的多余热量。
冷却功能转车

[实用新型]带冷却功能的中转车-CN201620747806.1有效
发明人：袁树明;韦建晶 -专利权人：苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司
申请日： 2016-07-16 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：实际使用时，先将研磨剂注入储液罐，当研磨剂达到一定量时，启动回收泵，将研磨剂从储液罐中泵出至过滤器内，经过滤器过滤后，再从过滤器出液端输送至研磨设备的进液口，研磨剂温度较高时，将冷却管与低温液体循环泵连接，通过低温液体在冷却管内的循环来带走研磨剂内的多余热量。
冷却功能转车

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