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- [发明专利]连续的气体饱和系统及方法-CN99103021.4无效
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D·B·努密
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液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
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1999-02-26
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2000-01-26
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B01B1/00
- 本发明提供一种用液体化学品的蒸汽饱和气体的系统及方法。所说的系统包括(a)用于接收液体化学品和载气的饱和容器;(b)在饱和容器中用来将载气喷射到液体化学品中的气体喷射器;(c)用于将液体化学品在饱和容器中保持为基本上恒定含量的装置;(d)用于将液体化学品在饱和容器中的温度控制到所需值的装置,包括(i)用于冷却液体化学品的系统和(ii)位于饱和容器内部用于加热液体化学品的加热器,该加热器在液体中垂直延伸液体化学品液面高度的至少一半的距离;和(e)用于将饱和气体的压力控制到所需值的装置。本发明还涉及控制传送汽化液体化学品的新方法与系统。本发明特别适用于半导体制造工业。
- 连续气体饱和系统方法
- [发明专利]液态化学品的加热方法和装置-CN200510111677.3无效
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叶大军;李汉忠
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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2005-12-19
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2007-06-27
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F24H1/14
- 本发明公开了一种液态化学品的加热方法，所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输，所述加热方法通过液体传热介质对所述液态化学品进行加热。本发明还提供了一种液态化学品的加热装置，包括：加热器，用于加热液体传热介质；换热器，用于将所述液体传热介质的热量传递至所述液态化学品；所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输。本发明尤其适用于常温下粘度大，而随着温度升高粘度迅速下降的液态化学品，例如铜腐蚀液ST250。本发明可以满足大流量加热的需求；可以实现精确加热，避免液态化学品温度超出范围，从而提高液态化学品的使用寿命；避免电加热器件直接接触易燃易爆的溶剂类化学品，从而大大提高加热过程的安全性。
- 液态化学品加热方法装置
- [实用新型]化学品装卸装置-CN200820056564.7有效
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胡静
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2008-03-25
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2009-08-26
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C02F1/00
- 本实用新型公开了一种化学品装卸装置，用于将化学品运输车上的化学品输入到废水处理系统中。所述化学品装卸装置包括与废水处理系统连接的化学品罐、转移泵、连接化学品罐与转移泵的连接管道以及连接转移泵与化学品运输车的输入管道；所述化学品装卸装置还包括连接到输入管道的清洗液管道和压缩空气管道。本实用新型提供的化学品装卸装置通过设置清洗液管道采用清洗液将残留在管道和转移泵的化学品冲入化学品罐中，避免了对管道和转移泵的腐蚀；通过设置压缩空气管将清洗液等残余液体吹扫进化学品罐中，避免了残余液体在低温下结冻对管道和转移泵内的损伤
- 化学品装卸装置
- [实用新型]一种化学品便携存储装置-CN202121719903.7有效
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卢健;车礼东;刘宝;管晓倩
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青岛海关技术中心
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2021-07-27
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2022-02-18
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B65D25/52
- 本实用新型提供了一种化学品便携存储装置，属于化学品储存技术领域。该化学品便携存储装置，包括箱体、固体储存板和液体储存板，箱体为矩形中空结构，箱体的前侧铰接有双开门，固体储存板设置于箱体的内部，固体储存板上等距阵列分布有第一储存腔，液体储存板设置于固体储存板的下方，液体储存板与箱体的内壁固定连接，液体储存板上对称设置有第二储存腔，该装置体积适中，方便携带，前部双开门结构，使箱内化学品存放和拿取更加方便；箱内将固体和液体分开存放，防止各类化学品接触发生反应，造成污染；各储存腔内均设置有紧固机构，有效防止化学品泄漏和倾洒，且紧固机构结构简单，操作方便。
- 一种化学品便携存储装置
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