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- [发明专利]液体原料气化器及使用该液体原料气化器的成膜装置-CN200880126474.3有效
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冈部庸之;大仓成幸
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东京毅力科创株式会社
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2008-12-08
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2011-01-05
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H01L21/31
- 本发明提供一种液体原料气化器以及使用该液体原料气化器的成膜装置,在使液体原料的液滴通过通气性部件而气化时,能够使整个通气性部件的温度变得均匀,能够防止因气化不完全引起的网眼堵塞。液体原料气化器(300)具有:使液体原料成为液滴状并向气化空间(350)喷出的液体原料供给部(300A);气化部(300B);将来自液体原料供给部的液滴状的液体原料向气化部内导入的导入口(338);配置在气化部内且由通气性部件该通气性部件由通过辐射热被加热的材料构成;辐射热加热器(370),对通气性部件的整个外侧表面照射热射线,并通过该辐射热对通气性部件进行加热;送出口(340),其将原料气体送出到外部,原料气体是通过使液滴状的液体原料通过被加热的通气性部件而气化生成的
- 液体原料气化使用装置
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