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- [发明专利]临界入射干涉仪-CN201010265566.9有效
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栗山丰;大峠怜也
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株式会社三丰
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2010-08-05
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2011-03-30
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G01B9/02
- 本发明涉及一种临界入射干涉仪，其包括：光束分离部分，被构造成将来自光束源部分的光束分离为出射到测量表面的测量光束和作为测量参考的参考光束，并且被构造为使得测量光束倾斜地出射到测量表面；光束组合部分，被构造成组合参考光束和在测量表面反射的测量光束，以获得组合光束；探测部分，被构造成基于组合光束产生的干涉条纹探测测量表面轮廓；以及图像反转元件，被构造成反转测量光束或参考光束的波阵面取向，图像反转元件被设置在从光束分离部分到光束组合部分的测量光束或参考光束的光路中
- 临界入射干涉仪
- [发明专利]光学相干断层扫描设备-CN201880100315.X在审
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中村滋
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日本电气株式会社
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2018-12-20
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2021-08-06
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G01N21/17
- 提供了一种光学相干断层扫描设备，其以最少的配置修改实现大范围测量和流动部分区分测量的功能。该光学相干断层扫描设备设置有：分离光束生成装置，该分离光束生成装置将从单个光源发射的光束分离成至少四个分离光束并且输出这些光束；测量光束照射装置，该测量光束照射装置通过可以改变所述测量光束在测量目标上的位置的机构，将作为至少四个分离光束中的至少两个的测量光束照射到测量目标的不同位置上；参考光束照射装置，该参考光束照射装置将至少四个分离光束中的不是测量光束的至少两个作为参考光束照射到参考光束镜上；以及光谱数据生成装置，该光谱数据生成装置从通过使由参考光束镜反射的参考光束中的一个与由测量目标反射或散射的测量光束中的每个干涉而获取的干涉光中，获取关于测量目标的深度方向结构数据。
- 光学相干断层扫描设备
- [发明专利]一种光栅测量系统-CN201511025782.5在审
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吴萍;张志平
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上海微电子装备有限公司
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2015-12-30
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2017-07-07
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G01B11/00
- 本发明公开了一种光栅测量系统，包括测量装置和光栅，所述测量装置设置有测量光束和参考光束，所述测量光束沿光束传播方向，依次经过光源、分光单元、所述光栅、第一回射单元、所述光栅、所述分光单元后，入射至信号接收单元，所述参考光束沿光束传播方向，依次经过光源、所述分光单元、扩束单元、第二回射单元、所述分光单元入射至所述信号接收单元。本发明采用扩束元件对第二光束即参考光束进行扩束，增大参考光束的直径尺寸，使第一光束即测量光束能够偏移更大距离，参考光束与测量光束能够部分重合产生被探测器探测的干涉光信号，在测量光束偏移更大距离的情况下光栅测量系统依然能正常工作，从而实现大行程光栅尺测量。
- 一种光栅测量系统
- [实用新型]一种投光灯光束角测量装置-CN202022855893.1有效
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于跃;齐洪海;徐冰;刘敏;刘丞
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北京远瞻照明设计有限公司
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2020-12-03
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2021-09-17
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G01B11/26
- 本实用新型涉及一种投光灯光束角测量装置，设有光束角测量尺，光束角测量尺设有测量弧面，测量弧面是圆弧弧面，测量弧面设有测量原点。测量方法包括，使投光灯面对所述测量弧面，投光灯的光束中心对向测量原点；使用照度计在测量弧面测量投光灯的光束中心区域的照度；当照度值为所述照度最大值的一半时，读取照度计所在位置的所述角度指示刻度，即获得投光灯的光束角本实用新型采用设有角度指示刻度的弧形光束角测量尺，测定投光灯的光束角，可适合于较大光束角的测量，并满足较小光束角测量的精度要求，同时缩减了光束角测量尺长度；装置结构简单，易于制作和携带，可方便地进行量化操作
- 一种灯光测量装置
- [发明专利]长度测量装置-CN200880017428.X无效
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高桥显
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株式会社尼康
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2008-05-23
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2010-03-24
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G01B9/02
- 本发明涉及一种使用激光束的光学长度测量装置，并提出能实现高度精确测量。所述长度测量装置包括：长度测量部分，该长度测量部分测量到被测物的距离并具有测量激光束源；校准激光束源，该校准激光束源发射激光束，该激光束的波长稳定性高于所述测量激光束源的激光束的波长稳定性；干涉光学系统，该干涉光学系统使得所述测量激光束源的激光束与所述校准激光束源的激光束干涉；以及运算处理部分，该运算处理部分基于所述干涉光学系统的输出和所述长度测量部分的输出来进行所述距离的计算。
- 长度测量装置
- [发明专利]测量系统及测量结构-CN201711448769.X有效
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贾宇航;卢宏军;职连杰;李建强;贾治国
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河南中原光电测控技术有限公司
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2017-12-27
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2020-08-04
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G01B11/02
- 本发明涉及激光技术领域，提供一种测量系统及测量结构。该测量系统包括柱面镜装置、成像装置以及运算处理装置，能够测量激光器所发射的点状光束的光束宽度。测量时，激光器、柱面镜装置以及成像装置的连线为一直线，运算处理装置与成像装置连接。激光器发射的点状光束入射至柱面镜装置后，柱面镜装置将点状光束展开为条状光束，并使条状光束出射至成像装置，该条状光束与点状光束的光束宽度相同。在成像装置生成与条状光束对应的成像信号后，运算处理装置从成像装置获取成像信号，并基于成像信号计算获得条状光束的光束宽度。该光束宽度可以用于指导激光器光束直线度的调节。该测量系统测量精度高，测量过程简单快速，无需人工介入。
- 测量系统结构
- [发明专利]干涉仪-CN201510453259.6有效
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M.迈斯纳
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约翰内斯·海德汉博士有限公司
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2015-07-29
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2019-09-20
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G01B9/02
- 本发明给出一个干涉仪，它包括一光源、一分光器、一参考反射器、一测量反射器、一检测单元以及至少两个透明的平板。通过分光器将光束分裂成至少一测量光束和一参考光束。直到再联合所述测量光束在测量臂中传播，所述参考光束在参考臂中传播。所述参考光束至少三次入射到设置在参考臂上的参考反射器上。所述测量反射器设置在测量臂里面并且与测量目标连接，所述测量目标沿着测量方向相对于参考反射器运动，所述测量光束至少三次入射到测量反射器上。通过检测单元可以检测来自干涉的测量和参考光束相对于测量目标位置的至少一距离信号。所述平板相互平行地在光程中设置在光源与检测单元之间。至少测量反射器相对于平板沿着测量方向运动。所述平板分别包括多个光学元件，它们施加这样的光学作用在测量光束和参考光束上，使所述测量光束和参考光束分别相互平行地在测量和参考反射器的方向上传播。
- 干涉仪
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