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- [发明专利]洗净方法及洗净液供给装置-CN201110303742.8有效
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沼波恒夫
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信越化学工业株式会社
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2009-10-09
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2012-02-22
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G03F1/00
- 本发明涉及一种掩模相关基板的洗净方法，当根据纯水来洗净从被硫酸离子污染后的掩模用基板、空白掩模、掩模及这些物品的制造中间体中选择出来的掩模相关基板时，对在该洗净中所使用的纯水预先将溶解气体脱气。本发明还涉及一种洗净液供给装置和一种洗净方法，该方法是将洗净液供给至洗净装置中来洗净被洗净基板，当利用用以除去异物的过滤器来过滤洗净液并将过滤后的洗净液通过供给管供给至洗净装置中来洗净被洗净基板时，至少在将过滤后的洗净液往洗净装置供给之前，先使过滤后的洗净液通过排出管往系统外部排出，之后才将过滤后的洗净液通过供给管供给至洗净装置中。本发明能简便地提高硫酸离子的洗净效率，进而能极度地减少微小异物的发生量。
- 洗净方法供给装置
- [发明专利]蔬菜洗净方法及蔬菜洗净装置-CN200710185189.6无效
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林文雄;中村守男
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皇友科技股份有限公司
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2007-11-01
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2008-12-17
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A23N12/02
- 本发明涉及一种蔬菜洗净方法及蔬菜洗净装置，该装置具备：洗净槽，用以收容蔬菜；洗净及供排水系统，具有从该洗净槽的底面朝垂直方向喷射洗净水的底部吐出口、及从该洗净槽的对向的内侧面，沿水平方向喷射洗净水的侧部吐出口，并在该洗净槽内放满洗净水，于洗净动作中形成溢流；蔬菜压下机构，具有将该洗净槽内的蔬菜压下的压下网，并反复进行该压下网的升降动作；及控制手段，执行指定的蔬菜洗净序列，此蔬菜洗净序列至少用以特定来自上述洗净及供排水系统的上述底部吐出口、上述侧部吐出口的洗净水的喷射动作、及上述蔬菜压下机构的上述压下网的升降动作。
- 蔬菜洗净方法装置
- [实用新型]洗净装置及洗净装置用开关-CN97204209.1无效
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高须弘安
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华英工业股份有限公司;共和制作所股份有限公司
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1997-01-06
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1999-02-24
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B05B15/00
- 一种洗净装置和洗净装置用压力开关。洗净装置包括洗净水供给箱,对洗净水施加高压的泵,通过防止泵逆流用的止逆阀而配管连接的、附有洗净水喷出之开闭控制的洗净喷枪,通过洗净喷枪之开闭操作,使电流流入泵控制回路,远距离控制泵之运转。压力开关具备有配管连接于止逆阀及洗净喷枪之间的接连配管的接连管体,具有回水管的唧筒,开闭接连管体的阀垫片之接连配管用活门,活动杆,压力检出保持装置,以及一对开闭触点。随洗净喷枪的开闭操作,使接连配管内所定的压力变动,导致其接连配管用活门开闭动作,开闭控制泵控制回路。
- 洗净装置开关
- [发明专利]洗净装置-CN201980055806.1在审
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辰己良昭;平野信介;多原主哲
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创意科技股份有限公司
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2019-08-23
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2021-04-09
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H01L21/02
- 本发明提供一种洗净装置，可抑制真空状态下的静电吸附力的减少，并去除半导体制造装置的真空处理室内的异物。所述洗净装置包括：异物吸附部4，在绝缘体的内部设置有包含一对电极的吸附电极3；以及吸附控制部5，将控制开关接通来使所述吸附电极带电，使绝缘体的表面显现静电吸附力而可吸附异物；且所述吸附控制部5的控制开关是可进行外部操作的远程操作型的开关，针对在真空状态下被封闭的真空封闭空间内的所述洗净装置，将控制开关接通，由此可通过在真空状态下显现的静电吸附力来去除真空处理室内的异物。
- 洗净装置
- [发明专利]洗净剂-CN201110411923.2有效
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梁天赐;本多秀夫
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横浜油脂工业株式会社
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2011-12-07
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2013-06-12
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A61K8/97
- 本发明提供一种洗净剂，其以植物性化学成分所构成，能在常温下保存，而且不包含美国或日本禁止使用的成分，此外，在所包含的限制使用的成分未超过最大调配量的状态下，可兼顾洗净力与防腐性者。的比例进行调配，通过以丙三醇萃取包含在无患子果皮的皀苷，可制得：由植物性化学成分所制成，能在常温下保存，而且在不包含美国或日本禁止使用的成分，此外在所包含的限制使用的成分未超过最大调配量的状态下，可兼顾洗净力与防腐性的洗净剂
- 洗净
- [发明专利]消洗净-CN92103514.4无效
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张瑞祥
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张瑞祥
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1992-05-18
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1993-12-01
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C11D1/66
- 消冼净是一种涉及消毒洗涤类的产品，具有消毒灭菌和清洗的双重作用。本发明的产品主要由二氯异氰尿酸钠及非离子型表面活性剂组成。产品为浅黄或棕红色粘稠液体，易溶于水，稀释倍数达500倍时仍具有消毒清洗效率。可用于去油、除垢、地毯及地板清洗，餐具、食品、橱柜、宾馆、饭店、医院的消毒清洗，使用方便、经济实惠。
- 洗净
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