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- [发明专利]一种凹柱面及柱面发散镜的检测方法及装置-CN201610504619.5有效
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郭培基;陈曦;范建彬
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苏州大学
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2016-07-01
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2019-01-08
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G01B11/24
- 本发明公开了一种凹柱面及柱面发散镜的检测方法及装置,涉及光学仪器检测技术领域,特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的方法,本发明的技术方案分别使用柱面汇聚镜与柱面发散镜与待测凹柱面组合,通过干涉测量分别获得柱面发散镜和待测凹柱面的组合波面误差数据以及柱面汇聚镜和待测凹柱面的组合波面误差数据,然后通过干涉测量获得柱面发散镜与柱面汇聚镜组合波面误差数据,使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测凹柱面、柱面发散镜以及柱面汇聚镜的面形误差数据,本技术方案具有检测光路简单,不需要使用高精度的实现测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测
- 一种柱面发散检测方法装置
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