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- [发明专利]一种录波仪用散热防尘装置-CN202210254487.0在审
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王小玲;沈华慧;贺军;田军
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南京瑞贻电子科技有限公司
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2022-03-15
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2022-06-28
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H05K5/02
- 本发明公开了一种录波仪用散热防尘装置，涉及录波仪领域，包括录波仪主体、多组散热调节部件和多组除尘清洁部件；录波仪主体上开设有多组用于通风散热的散热孔组；多组散热调节部件安装于录波仪主体上且与散热孔组对应设置；多组除尘清洁部件对应连接于散热调节部件靠近录波仪主体的一面，用于配合散热调节部件对录波仪主体进行清洁防尘。通过在录波仪机壳上开设多组散热孔组，可以便于录波仪内部部件通风散热，并对应设置散热调节部件和防尘清洁部件，用于调节散热孔组的开放数量，实现不同散热需求下对散热孔组的调节功能，同时可以对散热孔组和录波仪机壳进行清洁，避免灰尘杂质堵塞散热孔组，影响录波仪主体后续的正常散热。
- 一种录波仪用散热防尘装置
- [发明专利]一种偏振纯化装置-CN201410289361.2无效
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范真节;邢廷文;林妩媚;廖志杰;张海波
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中国科学院光电技术研究所
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2014-06-24
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2014-09-10
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G02B27/28
- 本发明提供一种偏振纯化装置，解决了NA1.35浸没式光刻技术中光束传输因材料双折射和镀膜等因素导致光束偏振度下降的问题，所述的偏振纯化装置偏振纯化装置包括前组波片堆和后组波片堆；前组波片堆倾斜放置，前组波片堆的表面法线与入射光线呈布儒斯特角放置；后组波片堆与前组波片堆呈八字对称形放置；且后组波片堆表面法线也与入射光线呈布儒斯特角放置，后组波片堆用于补偿前组波片堆在提高光束偏振度过程中引起的光束偏离，保证输入输出光束同向且光束偏离为0。本发明的偏振纯化装置，利用波片堆的原理，获得了高偏振度、高光束透过率、无光束偏离的线偏振光束。
- 一种偏振纯化装置
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