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- [发明专利]高耐热照射敏感性抗蚀剂组合物-CN98800823.8无效
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伊藤裕美;田中初幸
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克拉瑞特国际有限公司
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1998-06-18
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1999-09-22
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G03F7/022
- 本发明公开了一种照射敏感性抗蚀剂组合物,其具有很高的敏感性,能形成高度耐热的抗蚀剂图案。这种照射敏感性抗蚀剂组合物除包含一种抗蚀剂物料外,还包含一种聚合物,该聚合物是使下述物质反应制备的(a)一种亚二甲苯基化合物;(b)水杨酸;和(c)3,3,3’,3’-四甲基-2,3,2’,3’-四氢((c)的实例包括9,9’-双(4-羟苯基)芴和3,3,3’,3’-四甲基-2,3,2’,3’-四氢(1,1′)螺二茚-6,6′-二醇。
- 耐热照射敏感性抗蚀剂组合
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