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[发明专利]一种气相色谱与质谱联用系统-CN202310055897.7在审
发明人：朱伟平;黄翌敏 -专利权人：奕瑞影像科技成都有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本申请提供一种气相色谱与质谱联用系统，包括气体进样器、热解吸进样器、分流/不分流进样器、采样泵装置、载气装置、色谱系统和质谱系统。气体进样器包括气体采样口和气体进样口。热解吸进样器包括热解吸腔和进样腔，热解吸腔和进样腔通过半透膜隔开；热解吸腔设置有可开闭固体进样口；热解吸腔一端与气体进样口可通断连接，热解吸腔另一端与采样泵装置可通断连接；进样腔与质谱系统可通断连接。
一种色谱联用系统

[发明专利]晶圆解吸附方法及装置-CN202010440572.7在审
发明人：陈国动 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆解吸附方法，用于半导体设备中，半导体设备包括反应腔室和设置在反应腔室中的静电卡盘，静电卡盘包括基体和静电电极，基体用于承载晶圆，静电电极设置在基体内，晶圆解吸附方法包括：向反应腔室中通入辅助气体，直至反应腔室中的辅助气体达到预设压力；将吸附晶圆的静电电压撤离归零；向静电电极提供反向电压，反向电压与静电电压极性相反，以使辅助气体发生电离；向静电电极提供反向电压的时长达到预设时长后，停止向静电电极提供反向电压，并将辅助气体排出反应腔室，以完成静电卡盘与晶圆的解吸附。本发明还提供一种晶圆解吸附装置。本发明缩短了晶圆解吸附所需要的时间，提高了晶圆的生产效率。
解吸方法装置

[实用新型]低浓度甲烷提纯装置-CN202220350333.7有效
发明人：赵雪源 -专利权人：碳中能源科技（北京）有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B01D53/047 文献下载
摘要：本实用新型公开一种低浓度甲烷提纯装置，包括变压吸附塔、加压装置及真空解吸装置，所述变压吸附塔内形成有吸附腔，所述变压吸附塔的上端设有排空口，所述变压吸附塔的下端设有气体入口，所述变压吸附塔的侧端设有气体出口，所述变压吸附塔的吸附腔内密封设有甲烷吸附装置，所述甲烷吸附装置的吸附面呈向上凹入设置或向下凸出设置；所述加压装置的气体出口连通至所述变压吸附塔的气体入口，用以增加进气压力；所述真空解吸装置的的气体入口连通至所述变压吸附塔的气体出口，用以抽真空解吸回收所述吸附腔内的甲烷气体，解决了现有变压吸附装置对煤层气中甲烷的吸附和解吸效率低下的问题。
浓度甲烷提纯装置

[实用新型]活性炭吸附及微波解吸回收废气中的乙醇的装置-CN201320446566.8有效
发明人：宁平;马懿星;瞿广飞;林奕龙;钟东伟 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2013-07-25 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： B01D53/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种活性炭吸附及微波解吸回收废气中的乙醇的装置，其包括吸附解吸罐、废气入口、缓冲分布腔、活性炭床、气体检测器、置换冷却气出口、乙醇气出口、微波发生器、净化气体出口、氮气入口、波导管，废气入口和氮气入口设置在吸附解吸罐下部，乙醇气出口、置换冷却气出口、净化气体出口设置在吸附解吸罐上部，活性炭床设置在吸附解吸罐内，活性炭床下部设置有缓冲分布腔，微波发生器设置在吸附解吸罐上，微波发生装置与波导管连接；本装置占地面积小，易加工，装置简单易操作，可实现运行过程的自动控制，利用微波辐射加热吸附介质，可实现高效、迅速、节能地吸附质解吸和吸附剂再生。
活性炭吸附微波解吸回收废气中的乙醇装置

[发明专利]一种用于测定瓦斯解吸压力的煤样罐的设计方法-CN201610569402.2有效
发明人：文光才;赵旭生;张宪尚;刘见中;隆清明;吕贵春;任文贤;李建功;张睿;胡杰;李秋林;刘志伟;冯康武;孙臣;程广 -专利权人：中煤科工集团重庆研究院有限公司
申请日： 2016-07-19 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： G01N33/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于测定瓦斯解吸压力的煤样罐及其设计方法，包括煤样罐本体、煤样杯、盖帽及通气接嘴，该煤样罐依据罐体结构形式及所选用材料的力学特性确定结构参数，充分考虑到解吸过程中解吸热对气体温度的影响，通过双层薄壁易导热材料形成充填腔，在充填腔中充装比热容较大的物质，利用充填物质量所持的温度变化能量形成煤屑瓦斯解吸过程中的微平衡环境，从而降低了解吸过程中解吸热对气体温度的影响，避免了温度变化对压力测定影响，提高了瓦斯解吸规律数据的精确度，有效解决了现有矿井煤层瓦斯解吸吸热导致的温度降低对压力测定结果影响的问题。
一种用于测定瓦斯解吸压力煤样罐及其设计方法

[发明专利]电容耦合等离子体射频模式下晶圆解吸附方法及装置-CN202310134550.1在审
发明人：王明明;沈显青 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请提供了一种电容耦合等离子体射频模式下晶圆解吸附方法及装置。所述方法包括如下步骤：提供一等离子体刻蚀反应腔室，所述等离子体刻蚀反应腔室中设置有静电卡盘、所述静电卡盘包括第一电极，通过向所述第一电极施加第一电压，以采用静电吸附的方式将所述晶圆固定于所述静电卡盘的表面；在对所述晶圆进行解吸附的步骤中，通过向所述等离子体刻蚀反应腔室中通入氮气作为解吸附气体，并将所述第一电极上的所述第一电压降低至预设电压，从而解除所述晶圆和所述静电卡盘的静电吸附。本申请选用氮气作为解吸附气体，可以减轻晶圆解吸附过程中解吸附气体对晶圆表面的轰击，并且氮气对晶圆表面的损伤也有一定的修复作用，可以改善电容耦合等离子体射频模式下刻蚀带来的缺陷。
电容耦合等离子体射频模式下晶圆解吸方法装置

[发明专利]一种用于低浓度气相样品的富集装置及操作方法-CN201811387881.1有效
发明人：王卫国;黄卫;李海洋 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01J49/04 文献下载
摘要：本发明涉及分析仪器中的样品富集装置，具体地说是一种用于低浓度气相样品的富集解吸装置，富集解吸腔、纳米富集材料、金属滤网、加热元件、气体截止阀、气体出口和入口等构成。所述的富集解吸腔为中空密闭腔体，腔体内从下至上依次设有滤网、纳米富集材料、加热元件，富集材料将腔体内分隔成上下二个互不相通的空腔，纳米富集材料位于滤网和加热元件之间，并分别与它们相贴接。本发明所述的样品富集、解吸装置采用纳米材料和快速热解吸技术，实现了准瞬时富集、解吸，提高了分析效率，降低了分析成本；功率小，重量轻，结构紧凑，特别适合便携式仪器的应用。
一种用于浓度样品富集装置操作方法

[实用新型]热解吸处理系统-CN201921649217.X有效
发明人：金兆迪;张哲娜;林慧丽;刘鹏;梁仁刚;马江伟 -专利权人：杰瑞环保科技有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： B09B3/00 文献下载
摘要：一种热解吸处理系统，包括用于对物料进行热解吸的热解吸装置、用于向所述热解吸装置送入物料的进料装置、用于向所述热解吸装置送入高温烟气的燃烧器，所述热解吸装置包括能够进行热交换的加热腔和热解腔，所述加热腔与燃烧器相连，所述热解腔与进料装置相连；所述热解腔连接有冷凝器，所述冷凝器设置的排液口连接有油水分离器，所述冷凝器设置的排气口通过回流管道与热解腔相连。热解吸处理系统通过回流管道将冷凝器与热解腔相连，使经过冷凝器冷凝后的不凝气体回流到热解腔中，降低热解腔中热解气的浓度，防止热解气蒸汽压达到饱和，使物料中的有机物质能够充分脱附出来，提高处理效率，处理后固相有机物含量能够达标
解吸处理系统

[发明专利]一种热解吸装置的自动解析阀-CN201811645031.7在审
发明人：侯宗胜;何荣文;王绍武;黄威超;王睿 -专利权人：山东金普分析仪器有限公司
申请日： 2018-12-30 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： B09B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种热解吸装置的自动解析阀，属于热解吸技术领域，解决了现有的自动解析阀主要通过电动控制来实现开关，这样需要在自动解析阀开启前检测挥发气体的气压，增加了检测成本的问题；其技术特征是：包括壳体、排气口、排气管和导流活塞，所述壳体内腔底部设置释放腔，所述释放腔底表面中间位置设置排气口，所述排气口上方活动设置导流活塞，所述导流活塞右侧设置通孔，所述通孔右侧设置导流腔，所述导流腔右侧连通排气管；本发明能够实现对热解吸收挥发性气体进行自动的释放，且能够避免检测人员直接接触挥发性气体，保障了检测人员的生命安全健康，利于推广。
自动解析活塞排气口导流检测挥发性气体热解吸装置导流腔排气管释放腔通孔表面中间位置电动控制挥发气体活动设置壳体内腔生命安全阀开启热解吸阀本壳体热解气压连通释放吸收健康

[发明专利]具有掺杂气辅助的电离的解吸离子源-CN202110889226.1在审
发明人：克里斯多佛·豪克·曼弗雷德·布克迈耶;延斯·索尔特维奇;克劳斯·德莱塞沃德 -专利权人：布鲁克·道尔顿有限及两合公司;明斯特威斯特法伦威廉大学
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种从沉积的样品产生离子的装置，包括：腔室，其布置和设计用于将沉积的样品保持在包含掺杂气体的调节环境中；解吸装置，其布置和设计用于在腔室中使用能量爆发解吸沉积的样品；电离装置，为了电离的目的，其布置和设计用于使用相干电磁波照射腔室中解吸的样品或将其暴露于放电、等离子体或电弧放电灯的具有宽带发射光谱的光，其被选择为使得掺杂气体能够被接受；以及提取装置，其布置和设计用于从解吸的样品中提取离子并将其转移到分析仪中
具有掺杂辅助电离解吸离子源

[发明专利]基于微波等离子体的常压解吸离子源及其应用-CN201310133097.9有效
发明人：段忆翔;詹雪芳;李丹丹 -专利权人：四川大学
申请日： 2013-04-17 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微波等离子体的常压解吸离子源及其应用，离子源构成包括设计有圆柱管腔的基体件、安装在基体件圆柱管腔内用于调节微波耦合的管状结构主调节件、安装在主调节件管腔内的气体放电管和安装在气体放电管外用于将微波耦合施加到放电管内放电气体的微波天线由所述离子源构成常压解吸质谱分析仪的离子源装置，对待测样品进行微波等离子体常压解吸质谱分析，具有所需功率小，所需气体量少，不需要有毒试剂，等离子体温度相对较高，不会对环境造成污染，操作简便等多方面十分突出的优点
基于微波等离子体常压解吸离子源及其应用

[发明专利]连续精制石英粉的方法-CN201711173582.3在审
发明人：石祥祥 -专利权人：连云港浩森矿产品有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： C01B33/18 文献下载
摘要：转筒石英玻璃管中连续精制石英粉的方法，其中该管至少分成预热腔、反应腔和气体解吸腔三个腔，其特征在于石英粉连续送入预热腔预热后移入反应腔并与含氯气体接触而精制以及将石英粉转入气体解吸腔，而各腔可用带孔分段板隔开
石英粉气体解吸腔连续精制反应腔预热腔碱金属高纯石英粉石英玻璃管过渡金属含氯气体碱土金属天然石英低成本高产率预热板隔带孔后移可用去除转筒分段精制送入转入

[发明专利]连续精制石英粉的方法-CN96105535.9无效
发明人：Ｔ·佐藤;Ｈ·渡边;Ｗ·庞托 -专利权人：赫罗伊斯石英玻璃有限公司;信越石英株式会社
申请日： 1996-04-10 - 公布日： 2002-09-04 - 主分类号： C01B33/113 文献下载
摘要：转筒石英玻璃管中连续精制石英粉的方法，其中该管至少分成预热腔、反应腔和气体解吸腔三个腔，其特征在于石英粉连续送入预热腔预热后移入反应腔并与含氯气体接触而精制以及将石英粉转入气体解吸腔，而各腔可用带孔分段板隔开
连续精制石英粉方法

[发明专利]煤层气解吸装置-CN201410394726.8无效
发明人：邓泽;陈振宏;李贵中;孙斌;孙粉锦;庚勐;陈浩;陈刚;陈艳鹏 -专利权人：中国石油天然气股份有限公司
申请日： 2014-08-12 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种煤层气解吸装置，其包括：输气源，其用于输入驱替气体，所述输气源的出气口上连接有第一管线；充气管，所述充气管通过所述第一管线与所述输气源相连通；解吸罐，其具有一内腔，所述解吸罐上还开设有连接孔和出口，所述充气管通过所述连接孔伸入所述解吸罐的内腔中并与所述解吸罐相连通，所述解吸罐的出口与外界相连通。所述解吸罐具有上部敞口的罐体和用于密封所述敞口的盖体，所述连接孔和出口分别设置在所述盖体上。所述充气管伸入所述解吸罐的一端接近解吸罐的底壁。本发明所述的一种煤层气解吸测量装置，在有效保证煤层气解吸测试精度的前提下，能够提高煤层气解吸的测试效率。
煤层气解吸装置

[实用新型]一种热解吸装置的自动解析阀-CN201822258688.X有效
发明人：侯宗胜;何荣文;王绍武;黄威超;王睿 -专利权人：山东金普分析仪器有限公司
申请日： 2018-12-30 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： B09B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热解吸装置的自动解析阀，属于热解吸技术领域，解决了现有的自动解析阀主要通过电动控制来实现开关，这样需要在自动解析阀开启前检测挥发气体的气压，增加了检测成本的问题；其技术特征是：包括壳体、排气口、排气管和导流活塞，所述壳体内腔底部设置释放腔，所述释放腔底表面中间位置设置排气口，所述排气口上方活动设置导流活塞，所述导流活塞右侧设置通孔，所述通孔右侧设置导流腔，所述导流腔右侧连通排气管；本实用新型能够实现对热解吸收挥发性气体进行自动的释放，且能够避免检测人员直接接触挥发性气体，保障了检测人员的生命安全健康，利于推广。
自动解析活塞排气口导流检测挥发性气体热解吸装置导流腔排气管释放腔通孔表面中间位置本实用新型电动控制挥发气体活动设置壳体内腔生命安全阀开启热解吸阀本壳体热解气压连通释放吸收健康

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