专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]气体分离方法-CN201811079786.5有效
  • 北浦武明;宫本久照;太田雄大;中筋雄大;冈田治;寺本正明 - 株式会社新生能源研究
  • 2018-09-14 - 2022-03-11 - B01D53/22
  • 提供一种用于使用气体分离模块从包含特定气体的原料气体中分离该特定气体气体分离方法,其中,气体分离模块包括壳体以及收容在该壳体内的气体分离元件,气体分离元件包括气体分离,该气体分离具有选择性地使特定气体透过的亲水性树脂组合物层,该气体分离方法依次包括对气体分离模块的内部进行升压的升压工序、对气体分离模块的内部进行升温的升温工序、以及向气体分离模块的内部供给所述原料气体的原料气体供给工序。
  • 气体分离方法
  • [发明专利]一种气体分离的透气性检测设备-CN202210777214.4在审
  • 肖桃 - 肖桃
  • 2022-07-04 - 2022-10-18 - G01N15/08
  • 本发明涉及一种气体分离检测设备,尤其涉及一种气体分离的透气性检测设备。本发明提供一种实现自动夹紧气体分离和自动检测气体分离透气性的气体分离的透气性检测设备。一种气体分离的透气性检测设备,包括:连接框、放置板、检测仪等;连接框内壁下侧中部设有用来承载气体分离的放置板,放置板下侧中部设有用来检测气体分离透气性的检测仪。本发明通过滚桶对气体分离进行捋平,让气体分离平整的展开,方便使用者对气体分离进行检测,节省了使用者手动捋平气体分离的工作步骤,旋转夹紧板与气体分离接触后,旋转夹紧板对气体分离进行夹紧,防止气体分离发生位置偏移,增加了气体分离检测的准确率。
  • 一种气体分离透气性检测设备
  • [发明专利]装置及成方法-CN201710192799.2有效
  • 吉田武史 - 株式会社昭和真空
  • 2017-03-28 - 2020-12-15 - C23C16/455
  • 本发明提供能够减少向压力传感器附着的成物质,延长压力传感器的寿命的成装置及成方法。原料气体供给部用于成处理,向成室(10)供给含有成成分的原料气体,第二气体配管(90)用于成处理,将与原料气体不同的处理气体从蓄存该处理气体的处理气体蓄存部向成室(10)供给。对成室(10)的内部的压力进行测量的压力传感器(50)安装于第二气体配管(90)。控制部在从原料气体供给部向成室(10)供给原料气体期间,以使处理气体在第二气体配管(90)中流动而从处理气体蓄存部向成室(10)供给的方式进行控制。
  • 装置方法
  • [发明专利]装置和成方法-CN202110614529.2在审
  • 反田雄太;齐藤哲也;大仓成幸;古屋雄一;原正道 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-06-02 - 2021-12-10 - C23C16/16
  • 本公开提供一种成装置和成方法,能够进行抑制了微粒的影响的成。在基板上形成的成装置具有:腔室;基板载置台,其设置于腔室内,载置基板并且将基板保持为成温度;气体供给部,其供给包含成原料气体气体气体喷出构件,其与基板载置台相向地设置,具有用于喷出从气体供给部供给的包含成原料气体气体气体喷出区;以及过滤器,其以覆盖气体喷出构件的同与基板载置台相向的相向面相反一侧的面的至少气体喷出区的方式设置,所述过滤器使包含成原料气体气体通过来捕获包含成原料气体气体中的微粒。
  • 装置方法
  • [发明专利]的成方法-CN201610176793.1有效
  • 铃木健二;前川浩治;堀田隼史 - 东京毅力科创株式会社
  • 2016-03-25 - 2019-04-12 - C23C16/14
  • 本发明涉及钨的成方法。[课题]即使进行器件的微细化、复杂化,通过使用氯化钨气体作为原料气体的ALD法,也能够以良好的嵌入性形成具有良好的密合性的钨。[解决手段]具备如下工序:主钨工序:以间隔腔室内的吹扫的方式依次向腔室内供给氯化钨气体和还原气体来形成主钨;以及、初始钨工序:先于主钨工序,使氯化钨气体的供给量少于主钨工序,以间隔吹扫气体的供给的方式依次向腔室内供给氯化钨气体和还原气体,或者同时向腔室内供给氯化钨气体和还原气体,从而在基底上形成初始钨
  • 方法

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