|
钻瓜专利网为您找到相关结果 1270617个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]使用了质量流量控制装置的流量控制-CN200780028922.1有效
-
后藤崇夫;田中诚
-
日立金属株式会社
-
2007-08-02
-
2009-08-05
-
G05D7/06
- 一种质量流量控制器,在产品(质量流量控制器)出厂后,可对与多种实际使用气体和多个流量范围对应的质量流量控制器进行规格变更。在质量流量控制装置的初始状态下,采用校正气体来测量与流量设定信号相对的实际流量,由此求出校正气体特性数据,并将该校正气体特性数据存储在控制单元中。另一方面,按照多种实际气体来测量与流量设定信号相对的实际流量,由此求出实际气体特性数据,并将该实际气体特性数据保存在存储介质中,然后在质量流量控制装置运转前,从上述存储介质中读出实际使用气体的实际气体特性数据,另外,读出存储在上述控制单元中的校正气体特性数据。并且以上述实际气体特性数据为基础,将上述校正气体特性数据转换为控制流量补正数据,并将控制流量补正数据写入控制单元。根据该控制流量补正数据补正实际气体流量。
- 使用质量流量控制装置
- [发明专利]一种气体浓度测量方法-CN201410629803.3在审
-
华玉叶
-
华玉叶
-
2014-11-10
-
2015-02-18
-
G01N27/04
- 本发明公开了一种气体浓度测量方法,分别测出对应于每个气体传感器内部电阻及每种气体浓度的负荷电阻两端输出电压,在计算的随时间变化的输出电压变动率中找出最大电压变动率,进而提取气体传感器输出特性数据的过程;测量进入和排出空气污染防治工序的气体的浓度值,将二者作差,用其差值对上述气体传感特性数据积分,利用获取的气体传感器输出特性数据得出气体浓度、气体传感器内部电阻和最大电压变动率之间的特性关系式的过程;利用所述最大电压变动率的特性关系式测出气体浓度
- 一种气体浓度测量方法
|