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[实用新型]半导体工艺设备-CN202220241848.3有效
发明人：杨钦淞;郭雪娇 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体工艺设备，其包括工艺腔室、腔室加热组件、冷却管路、工艺气体输入通道和气体加热装置，其中：腔室加热组件设置于工艺腔室的外部；冷却管路设置于工艺腔室的外部，以对腔室加热组件进行冷却；工艺气体输入通道与工艺腔室连通；气体加热装置与冷却管路的出口端连通，工艺气体输入通道设置于气体加热装置中，冷却管路用于将通入的流体介质与腔室加热组件进行热交换后，流体介质进入气体加热装置内，流体介质对工艺气体输入通道中的工艺气体进行加热上述方案可以解决工艺腔室内的高温料源遇到温度较低的工艺气体时容易发生凝结而附着在工艺腔室的内壁上，从而会影响工艺腔室内的工艺环境的问题。
半导体工艺设备

[实用新型]加热装置和镀膜设备-CN202122293226.3有效
发明人：左国军;梁建军;朱海剑 -专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种加热装置和镀膜设备，加热装置包括：本体，本体上设置有加热腔；气体输送组件，设置于本体上，与加热腔相连通，用于向加热腔内输送气体；加热部，设置于本体上，用于对加热腔进行加热。本实用新型提供的加热装置，通过在本体上设置加热腔和气体输送组件，并且将气体输送组件与加热腔相连通，从而可以在加热时通过气体输送组件向加热腔内输送介质气体，进而可以通过介质气体的输入，保证加热过程中待加热物品受热的均匀性，同时也有效地避免外界环境对加热过程的影响。
加热装置镀膜设备

[发明专利]一种气溶胶生成装置及气溶胶生成系统-CN202111154012.6在审
发明人：刘荣东 -专利权人：深圳市吉迩科技有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： A24F40/46 文献下载
摘要：该气溶胶生成装置包括包括壳体、发热体、托架和气流驱动机构；壳体内设有气流通道和气体加热腔，气流通道与外界连通，气体加热腔的进气通道与气流通道连通，气体加热腔的侧壁开设有透气孔，气体加热腔通过透气孔与气流通道连通；托架的至少一部分设置在气体加热腔中，发热体设置在气体加热腔内，且位于气体加热腔的进气通道和托架之间，托架设有用于容纳气溶胶生成制品的容纳腔，容纳腔与气体加热腔连通；气流驱动机构安装在气体加热腔内。
一种气溶胶生成装置系统

[实用新型]一种气溶胶生成装置及气溶胶生成系统-CN202122391093.3有效
发明人：刘荣东 -专利权人：深圳市吉迩科技有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： A24F40/46 文献下载
摘要：该气溶胶生成装置包括包括壳体、发热体、托架和气流驱动机构；壳体内设有气流通道和气体加热腔，气流通道与外界连通，气体加热腔的进气通道与气流通道连通，气体加热腔的侧壁开设有透气孔，气体加热腔通过透气孔与气流通道连通；托架的至少一部分设置在气体加热腔中，发热体设置在气体加热腔内，且位于气体加热腔的进气通道和托架之间，托架设有用于容纳气溶胶生成制品的容纳腔，容纳腔与气体加热腔连通；气流驱动机构安装在气体加热腔内。
一种气溶胶生成装置系统

[实用新型]一种气体加热器-CN202123382358.X有效
发明人：杨建伟;林展 -专利权人：东莞市漆兄弟喷涂设备科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： F24H3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及加热装置技术领域，尤其是指一种气体加热器，包括外壳、加热管、温度探针、控制开关、控制系统及气体加热腔，外壳的内部设有容置腔，容置腔内设有隔板，隔板将容置腔分隔成控制区和加热区，控制开关和控制系统均位于控制区，加热管和温度探针均装设于隔板，气体加热腔位于加热区内，气体加热腔的开口端与隔板密封地连接，温度探针的探温主体和加热管的加热主体均突伸至气体加热腔内，加热管的两个端子位于控制区内，控制系统经由控制开关与加热管的端子电连接，温度探针与控制系统电连接，气体加热腔设有进气口和出气口。本实用新型的结构简单，操作便捷，使用和制造成本低，对气体加热的效率高，且能够对气体进行恒温加热。
一种气体加热器

[发明专利]原子层沉积设备-CN200810174825.X无效
发明人：孙文檠;钟允升;蓝崇文 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2008-11-05 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种原子层沉积设备，其包括反应腔室、第一加热器、第一气体供应系统、第二加热器、第二气体供应系统及真空系统。真空系统连接至反应腔室。反应腔室包括预热腔室及连接至预热腔室的镀膜腔室。第一加热器用以加热预热腔室。第一气体供应系统连接至预热腔室。第二加热器用以加热镀膜腔室。第二气体供应系统连接至镀膜腔室。
原子沉积设备

[实用新型]一种真空镀膜腔室的气体循环利用系统及镀膜设备-CN202120252738.2有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本实用新型实施例中提供了一种真空镀膜腔室的气体循环利用系统及镀膜设备，所述真空镀膜腔室包括嵌套设置的外腔室和内腔室，所述气体循环利用系统包括：加热组件，设置在所述内腔室内，用于对位于所述内腔室内的待加热件进行加热；以及气体循环组件，与所述外腔室和内腔室连通，用于气体在外腔室和内腔室之间循环和处理。本实用新型所提供的真空镀膜腔室的气体循环利用系统，在加热腔室外侧设置了气体循环组件，使得加热中辅助加热的气体可以循环使用，解决了现有技术中预热过程中辅助加热气体一次性使用所造成的能源的消耗，进而降低了生产成本
一种真空镀膜气体循环利用系统镀膜设备

[发明专利]一种电池材料窑炉的进气系统-CN202310822260.6在审
发明人：唐晓楠;李明哲;郑元俭 -专利权人：万华化学集团股份有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： F27D7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种电池材料窑炉的进气系统，包含进气嘴、加热腔、导流嘴、缓冲室和气体分散层，所述进气嘴一端连接外部气路，另一端与加热腔连接；加热腔与缓冲室之间设有导流嘴，缓冲室与工作内腔之间设有气体分散层；所述进气系统中，气体经进气嘴进入加热腔，经加热腔加热后经导流嘴进入缓冲室，由气体分散层散发，气体低速且均匀进入工作内腔，工作内腔内设有加热器，经工作内腔再次加热均匀分散于工作内腔。此种设计可避免常规出气口出现的气体流速高温差大导致局部温度场温差大、气体含量不均匀的情况，使得单节窑炉工作内腔的温度分布均匀，气体含量均匀分布在工作内腔，提高锂电池材料烧结的一致性，提升产品质量。
一种电池材料系统

[发明专利]一种薄膜沉积装置及沉积方法-CN201711458954.7在审
发明人：彭寿;马立云;潘锦功;殷新建;蒋猛;钱双 -专利权人：成都中建材光电材料有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开一种薄膜沉积装置及沉积方法，用于在衬底上沉积薄膜，所述沉积装置包括用于加热原料的第一加热腔和第二加热腔，所述第一加热腔设有用于将所述第一加热腔内的原料气化后的气体导出的第一气体出口，所述第二加热腔设有用于将所述第二加热腔内的原料气化后的气体到处的第二气体出口，所述第一气体出口和第二气体出口均连通至气体扩散狭缝，所述气体扩散狭缝的出口设置有喷涂盖板，所述喷涂盖板朝向衬底装置。该装置可以制备出薄厚均匀的薄膜并且可以实现掺杂气体的均匀分布，在成膜时掺杂元素可以分布均匀。
气体出口第二加热腔第一加热腔薄膜沉积装置气体扩散原料气化盖板喷涂狭缝沉积掺杂气体掺杂元素沉积薄膜沉积装置衬底装置加热原料衬底成膜导出制备薄膜连通出口

[实用新型]进气处理装置-CN202320299417.7有效
发明人：王厚权;徐志远 -专利权人：潍柴动力股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F02M31/13 文献下载
摘要：其包括箱体、加热结构和冷却结构，其中箱体具有气体处理腔室和冷却液腔室；加热结构设置于气体处理腔室内或气体处理腔室的开口处，加热结构被配置为加热气体，以对低温气体进行加热；冷却结构设置于气体处理腔室内，冷却结构包括多根冷却管，每根冷却管的两端分别与冷却液腔室连通，冷却液腔室与气体处理腔室连通以便于冷却液在多根冷却管内流动，冷却结构被配置为冷却气体，以对高温气体降温。加热结构与冷却结构二者独立且不同时工作，这样可根据发动机有无启动选择性工作。
处理装置

[实用新型]压缩热气循环加热的植物初提液浓缩系统-CN201520026732.8有效
发明人：曾新伟;曾云恒 -专利权人：云南玉溪万方天然药物有限公司
申请日： 2015-01-15 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： B01D1/12 文献下载
摘要：压缩热气循环加热的植物初提液浓缩系统，该系统的浓缩罐内分为流管加热腔和浓缩腔两个密封隔离的腔室，在流管加热腔侧面安装了两台串联的气体压缩加热泵，气体压缩加热泵从流管加热腔内吸入低温气体，经过压缩升温后再排入流管加热腔内，对流管内的初提液进行连续加热，使流管加热腔内保持持续高温，携带余热的加热的气体不外排，气体的余热得到充分利用，大大节约了加热需要的能量；由于气体压缩加热泵可以安装在浓缩罐的一旁，加热气体在浓缩罐外的循环路径可以大大缩短从浓缩腔的初提液蒸汽输出管输出的蒸汽，连通到分馏塔的下部，用分馏塔回收蒸汽中含有的浸提溶液，最大限度地回收浸提液。
压缩热气循环加热植物初提液浓缩系统

[实用新型]一种原油加热分离一体化装置-CN201420279507.0有效
发明人：王朝霞;覃文良;张硕;张冬超;李静;胡静;李凌云 -专利权人：北京迪威尔石油天然气技术开发有限公司
申请日： 2014-05-28 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： C10G53/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种原油加热分离一体化装置，包括气体预分离器、加热腔和分离腔；所述气体预分离器，其安装在所述加热腔上侧，并与所述分离腔导通，用于将原油分离成气体和液体，并将分离的液体送入加热腔，将分离的气体送入分离腔；所述加热腔，其安装在所述分离腔的前端，用于加热由所述气体预分离器送入的液体，并将加热后的液体送入分离腔；所述分离腔，其用于进行油、气和水的三相分离。本实用新型的原油加热分离一体化装置，将气体预分离器、加热腔与分离腔三个部分有机地组合在一起，同时具有原油加热和分离的功能，不但提高了加热效率、增强了油气水分离效果，还降低装置能耗、节约投资成本，且一体化集成功能易于维护和操作
一种原油加热分离一体化装置

[实用新型]植物提取生产中的热风循环烘箱-CN202221344415.7有效
发明人：张宝通;王飞 -专利权人：陕西宏达天源生物化工有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请提供一种植物提取生产中的热风循环烘箱，包括密封的箱体、设置在箱体外的进气管以及设置在箱体内的加热器、气体循环组件、均风板和风扇；箱体内部上方水平设置有带有通风孔的均风板，均风板将箱体内腔分割成上部的气体加热腔以及下部的物料放置腔；进气管的出气端延伸至箱体顶壁内并与气体循环组件的进气端相连接，气体循环组件靠近其进气端处设置有能够对气体循环组件内的气体进行加热的加热器，加热器位于气体加热腔内，气体加热腔和物料放置腔内分别设置有气体循环组件的出气端，气体循环组件在气体加热腔内的出气端处设置有水平方向旋转的风扇。
植物提取生产中的热风循环烘箱

[发明专利]一种多点燃烧式裂解设备-CN202011530251.2在审
发明人：王贵山;江艳存 -专利权人：北京汇潮云集科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： F23G5/027 文献下载
摘要：本申请公开了一种多点燃烧式裂解设备，包括：裂解筒；加热腔室，加热腔室的两端与裂解筒的外周转动密封连接，裂解筒相对固定设置的加热腔室做旋转运动，加热腔室内用于通入加热气体；多个外燃烧腔室，设置于加热腔室的外部，每个外燃烧腔室均通过单独的通气道与加热腔室连通，且至少两个外燃烧腔室分别与加热腔室轴向上的不同轴段连通，每个外燃烧腔室内用于单独燃烧产生加热气体，每个通气道上均设置有阀门。该多点燃烧式裂解设备的每个外燃烧腔室能够单独燃烧产生加热气体，产生的加热气体可以通入加热腔体内的对应不同轴段内，使得加热气体能够更有针对性地加热裂解筒的不同轴段，实现裂解设备的不同轴段加热温度的控制，更有利于裂解反应
一种多点燃烧裂解设备

[实用新型]一种多点燃烧式裂解设备-CN202023120371.3有效
发明人：王贵山;江艳存 -专利权人：北京汇潮云集科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： F23G5/027 文献下载
摘要：本申请公开了一种多点燃烧式裂解设备，包括：裂解筒；加热腔室，加热腔室的两端与裂解筒的外周转动密封连接，裂解筒相对固定设置的加热腔室做旋转运动，加热腔室内用于通入加热气体；多个外燃烧腔室，设置于加热腔室的外部，每个外燃烧腔室均通过单独的通气道与加热腔室连通，且至少两个外燃烧腔室分别与加热腔室轴向上的不同轴段连通，每个外燃烧腔室内用于单独燃烧产生加热气体，每个通气道上均设置有阀门。该多点燃烧式裂解设备的每个外燃烧腔室能够单独燃烧产生加热气体，产生的加热气体可以通入加热腔体内的对应不同轴段内，使得加热气体能够更有针对性地加热裂解筒的不同轴段，实现裂解设备的不同轴段加热温度的控制，更有利于裂解反应
一种多点燃烧裂解设备

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