专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]高精度光刻套刻精度测量单元-CN202111134570.6在审
  • 满博文;刘宏喜;陈文静;曹凯华;王戈飞 - 北京超弦存储器研究院
  • 2021-09-27 - 2023-03-31 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种高精度光刻套刻精度测量单元及方法,测量单元包括在两个相邻层的对应位置设置纵向标尺和横向标尺,所述横向标尺包括呈横向均匀间隔排列的多个标记图形,所述纵向标尺包括呈纵向均匀间隔排列的多个标记图形,同行或者同列中选择其中一个标记图形作为基准刻度,不同层标记图形的图块间距的间距差值等于标尺的分辨率精度。方法包括采用上述高精度光刻套刻精度测量单元,观察两个相邻层的对应纵向标尺和横向标尺中完全重叠的标记图形相对于基准刻度的方向以及相差的标记图形数量,相差的标记图形数量与设计精度的乘积即为套刻误差。
  • 高精度光刻精度测量单元
  • [实用新型]一种在晶圆光刻工艺中与接触式光刻机配合使用的光刻板-CN201621101052.9有效
  • 孙丞;杨国文 - 西安立芯光电科技有限公司
  • 2016-09-30 - 2017-04-26 - G03F1/42
  • 本实用新型提出一种与接触式光刻机配合使用的新的光刻板,利用该光刻板能够精确地计算晶圆平边和光刻图形的偏差角度。该光刻板上对应于晶圆平边的区域设置有标尺图形,所述标尺图形包括若干条平行标尺,其中有两条平行标尺分别作为对准基线和平行对准标示;所述对准基线位于整个标尺图形的中部,是标尺图形中最长的一条平行标尺;所述平行对准标示与对准基线之间的距离用于标示晶圆平边与对准基线可允许的最大偏差按照上述方案在平边对应的光刻板区域制作标尺图形。光刻时,通过精确地控制晶圆平边与标尺图形中对准基线的距离,既可以实现左右两侧平行对准,也可以通过计算将偏转角度转化成距离,实现精确的平边补偿对准。
  • 一种圆光刻工接触光刻配合使用刻板
  • [发明专利]反射型编码器、其标尺以及标尺的制造方法-CN200780024862.6有效
  • 夜久亨;富永淳 - 株式会社三丰
  • 2007-06-01 - 2009-07-15 - G01D5/30
  • 本发明提供一种反射型编码器、其标尺以及标尺的制造方法。该反射型编码器具有光源、形成从该光源照射光的多个图形标尺、以及分别接收由上述多个图形各自反射的光的受光元件,从单个标尺得到多个受光信号,该反射型编码器在上述标尺的单一轨道上,使用电介质形成厚度不同的多个图形,并且从上述光源,照射根据电介质厚度的差而明暗不同的多个波长的光,得到按每个电介质厚度的受光信号,由此将多个图形叠加在同一轨道上来使标尺小型化。
  • 反射编码器标尺以及制造方法
  • [发明专利]一种参数输入方法及系统-CN201310563547.8有效
  • 卜洋 - 上海联影医疗科技有限公司
  • 2013-11-13 - 2019-06-28 - G06F3/0481
  • 本发明提供了一种参数输入方法及系统,涉及人机交互技术领域,本发明的参数输入方法,以一图形标尺刻度区间表示参数有效输入区间,在该图形标尺上设置有滑块,所述滑块指示刻度为参数当前值,滑动所述滑块对参数进行修改,所述滑动所述滑块对参数进行修改包括以下步骤:设置所述图形标尺为第一视图比例,滑动所述滑块至期望值附近位置;放大所述图形标尺至第二视图比例,滑动所述滑块至期望值。对于值域区间大的参数,利用本发明提供的参数输入方法及系统,通过放大图形标尺的视图比例,可以实现在一个较小的区间内对参数进行精确设定。
  • 一种参数输入方法系统
  • [实用新型]新型标尺-CN201020172831.4无效
  • 熊浩翔 - 熊浩翔
  • 2010-04-28 - 2011-02-02 - B43L13/20
  • 本实用新型提供新型标尺标尺上开设一卡槽,一铆钉铆设在卡槽内,铆钉连接一指针,标尺上镂空设置有几何图形。本实用新型的有益效果是:指针可以制定长度刻度用于定位,提高画图准确度,还可以利用镂空的几何图形画出多种几何图形
  • 新型标尺
  • [实用新型]一种数学绘图工具-CN201720061390.2有效
  • 孙秀江;孙鹏杰 - 孙秀江
  • 2017-01-13 - 2018-05-25 - B43L13/00
  • 本实用新型涉及一种数学绘图工具,包括第一标尺、第二标尺和固定块,所述第一标尺设置在固定块上,并可绕所述固定块旋转;所述固定块设置在第二标尺上;所述固定块可绕第二标尺上下移动;通过所述第一标尺绕设置在第二标尺上的固定块旋转,使所述第一标尺和第二标尺呈现任意距离,从而方便的绘制任何角度的图形。包括第一标尺、第二标尺和固定块。所述第一标尺和第二标尺之间的距离可以通过所述固定块任意调节,使所述绘图工具能够绘制任意角度的图形
  • 标尺固定块绘图工具本实用新型数学绘制任意调节上下移动
  • [外观设计]形位公差速查尺-CN90301171.9无效
  • 宋砚朋 - 宋砚朋
  • 1990-06-14 - 1991-01-23 - 19-08-C0034
  • 1.本速查尺由一游标尺和一拉尺组成,拉尺插在游标尺中间,二者均可互相移动;2.省略左视图、右视图、俯视图和仰视图。游标尺主视图游标尺后视图拉尺主视图拉尺后视图形位公差速查尺主视图形位公差速查尺后视图
  • 公差速查尺
  • [外观设计]显示屏幕面板的信息展示图形用户界面-CN202130564138.5有效
  • 黄殿鑫;杨柏生;张岩 - 北京完美知识科技有限公司
  • 2021-08-27 - 2022-07-01 - 14-04
  • 1.本外观设计产品的名称:显示屏幕面板的信息展示图形用户界面。3.本外观设计产品的设计要点:在于显示屏幕面板中的图形用户界面的界面内容。4.最能表明设计要点的图片或照片:设计1主视图。7.图形用户界面的用途:产品的图形用户界面用于展示信息。8.图形用户界面的变化状态说明:设计1主视图为初始界面,设计1主视图中部位置为标尺区域,标尺区域上方为第一显示区,标尺区域下方为第二显示区,第一显示区和第二显示区内均显示有信息标识,在标尺区域或第一显示区实施交互动作(例如:在标尺处双击或者双指在标尺上同时反向滑动)可使其显示粒度(即标尺每一格所代表的单位大小)变化,对标尺区域或第一显示区进行拖动可使该区域和标尺发生变化,点击信息标识可对相关信息进行展示。
  • 显示屏幕面板信息展示图形用户界面

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