|
钻瓜专利网为您找到相关结果 1017342个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]形状测量方法、形状测量装置、及程序-CN202111464059.2在审
-
萩原一希
-
铠侠股份有限公司
-
2021-12-03
-
2023-01-17
-
G01B15/04
- 实施方式的形状测量方法中,通过第1拟合处理来计算第1参数群中所包含的参数的收敛值,所述第1拟合处理使用了散射强度曲线及第1推想散射强度曲线,所述散射强度曲线与照射在具有特定图案的衬底上的电磁波的散射强度有关,所述第1推想散射强度曲线与对第1虚拟构造进行第1模拟而算出的散射强度有关,其中第1虚拟构造是基于由包含重点参数在内的多个参数所组成的第1参数群而构成。通过第2拟合处理来计算第2参数群中所包含的参数的收敛值,所述第2拟合处理使用了散射强度曲线及第2推想散射强度曲线,所述第2推想散射强度曲线与对第2虚拟构造进行第2模拟而算出的散射强度有关,其中第2虚拟构造是基于由包含重点参数在内的多个参数所组成的第2参数群而构成且重点参数中收敛值被设定为常数。
- 形状测量方法测量装置程序
|